פּראָצעס פון ליידיק קאַטאָדע יאָן קאָוטינג

דער פּראָצעס פון ליידיק קאַטאָדע יאָן קאָוטינג איז ווי גייט:

1. לייגט אריין די טשין שטאנגען אין די קאלאפס.

2. אינסטאַלירן די ווערקפּיס.

3. נאכדעם וואס עס ווערט ארויסגעלאזט ביז 5×10⁻³Pa, ווערט ארגאן גאז אריינגעפירט אין דער באדעק-קאמער פון דער זילבערנער רער, און דער וואקיום-לעוועל איז ארום 100Pa.

4. צינדט אן די בייאַס מאַכט.

5. נאכדעם וואס מען אנצינדט די בויגן-קראפט וועט מען אנצינדן די ליידיגע קאטאדע-אויסלאדונג. די גלאנץ-אויסלאדונג ווערט געשאפן אין דער קנעפל-רער, די אויסלאדונג וואלטאזש איז 800~1000V, דער בויגן-פארגרעסערנדיקער שטראם איז 30~50A. צוליב דעם לעדיגן קאטאדע-עפעקט פון דער גלאנץ-אויסלאדונג, א הויכע גלאנץ-אויסלאדונג שטראם-געדיכטקייט, די הויכע געדיכטקייט פון ראץ-יאנען אין דער זילבערנער רער באמבארדירט ​​די וואנט פון דער וואנטאזש-רער, מאכט אז די רער-וואנט זאל זיך שנעל ווארים מאכן ביזן עלעקטראן-פלוס, דער אויסלאדונג-מאדע פון ​​דער גלאנץ-אויסלאדונג טוישט זיך פלוצלינג צו בויגן-אויסלאדונג, די וואלטאזש איז 40~70V, דער שטראם איז 80~300A. די טעמפעראטור פון דער זילבערנער רער דערגרייכט העכער 2300K, גלייכגילטיג, עס שיסט ארויס א הויכע געדיכטקייט שטראם פון בויגן-עלעקטראנען פון דער רער, און שיסט צו דער אנאד.

6. אַדזשאַסטמענט פון וואַקוום לעוועל. דער וואַקוום לעוועל פֿאַר גלאָו דיסטשאַרדזש פון ליידיק קאַטאָדע ביקס איז וועגן 100 פּאַ, און דער וואַקוום גראַד פון קאָוטינג איז 8×10-1~2 פּאַ. דעריבער, נאָך אנצינדונג פון די באָגן דיסטשאַרדזש, רעדוצירן די ינקאַמינג אַרגאָן גאַז ווי באַלד ווי מעגלעך, אַדזשאַסטינג די וואַקוום לעוועל צו אַ קייט פּאַסיק פֿאַר קאָוטינג.

7、טיטאניום באדעקטע באזע שיכט. עלעקטראן פליסן אויף די אנאדיש צוזאמגעפאלענע טשין מעטאל שטאנגען, קאנווערזיע פון ​​קינעטישע ענערגיע צו טערמישע ענערגיע, פארדאמפונג פון טשין מעטאל דורך הייצן, פארע אטאמען דערגרייכן די ווערקפיסק צו פארמירן א טיטאניום פילם.

8、אפזעצונג פון TiN. שטיקשטאף גאז ווערט צוגעשטעלט צו דער באדעקונג קאמער, שטיקשטאף גאז און פארדאמפטע אטאמען ווערן ייאניזירט אין שטיקשטאף און טיטאניום יאנען. העכער דעם קרוציבל, העכערע ווארשיינליכקייט פון נישט-עלאסטישע קאליזיעס פון טיטאניום פארע אטאמען מיט געדיכט שטראמען פון נידעריג-ענערגיע עלעקטראנען, די מעטאל דיסאסאציאציע ראטע איז אזוי הויך ווי 20%~40%., טיטאניום יאנען זענען מער מסתבר צו רעאגירן כעמיש מיטן רעאקציע גאז שטיקשטאף, אפזעצונג צו באקומען א ניטריד מאנטל פילם שיכט. די ליידיגע קאטאד ביקס איז ביידע א פארדאמפונג מקור, נאך א מקור פון ייאניזאציע. בעתן באדעקן, זאל מען אויך צופאסן דעם שטראם פון דער עלעקטראגנאמאגנעטישער שפּול ארום דעם קרוציבל, פאקוסירן דעם עלעקטראן שטראל צום צענטער פון דעם קאלאפס, אזוי, פארגרעסערט זיך די מאכט געדיכטקייט פון עלעקטראן שטראם.

9. אויסלעשן. נאכדעם וואס די פילם גרעב דערגרייכט די פארגעגעבענע פילם גרעב, אויסלעשן די בויגן-קראפט צושטעל, די בייאַס-קראפט צושטעל און לופט צושטעל.