אינדיום צין אקסייד (אינדיום צין אקסייד, באצייכנט אלס ITO) איז א ברייט-באנד-גאפ, שווער דאפיצירטע n-טיפ האלב-קאנדוקטאר מאטעריאלן, מיט הויכער זעבארער ליכט טראנסמיטענס און נידעריגע קעגנשטאנד אייגנשאפטן, און דעריבער ברייט גענוצט אין זונ - צעלן, פלאַך-פאנעל דיספּלייז, עלעקטראָכראָמישע פֿענצטער, ינאָרגאַנישע און אָרגאַנישע דין-פילם עלעקטראָלומינעסענס, לאַזער דייאָדן און אולטראַוויאָלעט דעטעקטאָרן און אנדערע פאָטאָוואָלטאַיק דעוויסעס, אאז"וו. עס זענען פילע מעטאָדן פון צוגרייטונג פון ITO פילמען, אַרייַנגערעכנט פּולסעד לאַזער דעפּאָזיציע, ספּאַטערינג, כעמישע פארע דעפּאָזיציע, שפּריץ טערמישע דעקאָמפּאָזיציע, סאָל-געל, פארדאַמפּונג, אאז"וו. צווישן די פארדאַמפּונג מעטאָד, די מערסט אָפט גענוצט איז עלעקטראָן שטראַל פארדאַמפּונג.
עס זענען דא אסאך וועגן צו צוגרייטן ITO פילם, אריינגערעכנט געפולסטע לייזער דעפאזיציע, שפריצן, כעמישע פארע דעפאזיציע, שפריץ פּיראָליזיס, סאָל-געל, פארדאַמפּונג און אזוי ווייטער, פון וועלכע די מערסט גענוצטע פארדאַמפּונג מעטאָדע איז עלעקטראָן שטראַל פארדאַמפּונג. פארדאַמפּונג צוגרייטונג פון ITO פילמען האט געוויינטלעך צוויי וועגן: איינער איז די נוצן פון הויך-ריינקייט In,Sn צומיש ווי דער מקור מאַטעריאַל, אין דער זויערשטאָף אַטמאָספער פֿאַר די רעאַקציע פארדאַמפּונג; די צווייטע איז די נוצן פון הויך-ריינקייט In2O3:,SnO2 געמיש ווי דער מקור מאַטעריאַל פֿאַר דירעקט פארדאַמפּונג. כּדי צו מאַכן דעם פילם מיט הויך טראַנסמיטאַנס און נידעריק קעגנשטעל, דאַרף בכלל אַ העכערע סאַבסטראַט טעמפּעראַטור אָדער די נויט פֿאַר דערנאָכדעם אַנילינג פון דעם פילם. HR Fallah et al. האָבן גענוצט די עלעקטראָן שטראַל פארדאַמפּונג מעטאָדע ביי נידעריקע טעמפּעראַטורן צו דעפּאָזיטירן ITO דין פילמען, צו שטודירן די ווירקונג פון די דעפּאָזיציע קורס, אַנילינג טעמפּעראַטור און אנדערע פּראָצעס פּאַראַמעטערס אויף די סטרוקטור פון דעם פילם, עלעקטרישע און אָפּטישע אייגנשאַפטן. זיי האָבן ארויסגעוויזן אַז נידעריקער די דעפּאָזיציע קורס קען פאַרגרעסערן די טראַנסמיטאַנס און פאַרקלענערן די קעגנשטעל פון די נידעריק-טעמפּעראַטור-געוואַקסן פילמען. די טראַנסמיטאַנס פון זעבאר ליכט איז מער ווי 92%, און די קעגנשטעל איז 7X10-4Ωcm. זיי האָבן אויסגעגליען די ITO פילמען וואָס זענען געוואַקסן ביי צימער טעמפּעראַטור ביי 350~550℃, און געפונען אַז ווי העכער די אויסגליען טעמפּעראַטור איז, אַלץ בעסער די קריסטאַלינע אייגנשאַפט פון ITO פילמען. די זעבאר ליכט טראַנסמיטאַנס פון די פילמען נאָך אויסגליען ביי 550℃ איז 93%, און די קערל גרייס איז וועגן 37 נאַנאָמעטער. די פּלאַזמע-געשטיצטע מעטאָדע קען אויך רעדוצירן די סאַבסטראַט טעמפּעראַטור בעת פילם פאָרמירונג, וואָס איז דער וויכטיקסטער פאַקטאָר אין דער פאָרמירונג פון דעם פילם, און די קריסטאַליניטי איז אויך די וויכטיקסטע. די פּלאַזמע-געשטיצטע מעטאָדע קען אויך רעדוצירן די סאַבסטראַט טעמפּעראַטור בעת פילם פאָרמירונג, און דער ITO פילם באַקומען פון דער דעפּאָזיציע האט גוטע פאָרשטעלונג. די קעגנשטעל פון דעם ITO פילם צוגעגרייט דורך ס. לאָקס און אַנדערע. איז זייער נידעריק, 5*10-”Ωcm, און די אַבזאָרפּציע פון ליכט ביי 550nm איז ווייניקער ווי 5%, און די קעגנשטעל פון די פילם און די אָפּטישע באַנדווידט ווערן אויך געביטן דורך ענדערן די זויערשטאָף דרוק בעת די דעפּאָזיציע.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 23סטן מערץ 2024