Quy trình phủ ion catốt rỗng

Quá trình phủ ion catốt rỗng như sau:

1、Đặt thỏi Chin vào chỗ sụp đổ.

2、Lắp ráp chi tiết gia công.

3、Sau khi chân không đến 5×10-3Pa, khí argon được đưa vào buồng phủ từ ống bạc, mức chân không khoảng 100Pa.

4、Bật nguồn phân cực.

5、Sau khi bật nguồn hồ quang để đốt cháy phóng điện catốt rỗng. Phóng điện phát sáng được tạo ra trong ống nút, Điện áp phóng điện là 800 ~ 1000V, Dòng điện tăng hồ quang là 30 ~ 50A. Do hiệu ứng catốt rỗng của phóng điện phát sáng, Mật độ dòng phóng điện phát sáng cao, Mật độ ion chuột cao trong ống bạc bắn phá thành ống vantage, Làm cho thành ống nhanh chóng nóng lên để phát ra luồng electron, chế độ phóng điện từ phóng điện phát sáng thay đổi đột ngột thành phóng điện hồ quang, Điện áp là 40 ~ 70V, Dòng điện là 80 ~ 300A. Nhiệt độ ống bạc đạt trên 2300K, Sợi đốt, Phát ra luồng electron hồ quang mật độ cao từ ống và bắn vào cực dương.

6、Điều chỉnh mức chân không. Mức chân không cho quá trình phóng điện phát sáng từ súng catốt rỗng là khoảng 100 Pa, và mức chân không của lớp phủ là 8×10-1~2Pa. Do đó, sau khi đánh lửa phóng điện hồ quang, hãy giảm khí argon đi vào càng sớm càng tốt, điều chỉnh mức chân không đến phạm vi phù hợp để phủ.

7、Lớp nền mạ titan. Dòng electron chảy vào thỏi kim loại Chin được anot hóa, Chuyển đổi động năng thành nhiệt năng, Kim loại Chin bốc hơi bằng cách nung nóng, Các nguyên tử hơi tiếp cận phôi để tạo thành màng titan.

8、Bám lắng TiN. Khí nitơ được cung cấp cho buồng phủ, khí nitơ và các nguyên tử bay hơi được ion hóa thành các ion nitơ và titan. Phía trên nồi nấu, Xác suất va chạm không đàn hồi cao hơn của các nguyên tử hơi titan với các luồng electron năng lượng thấp dày đặc, Tỷ lệ phân ly kim loại cao tới 20% ~ 40%. Các ion titan có nhiều khả năng phản ứng hóa học với khí phản ứng nitơ, Bám lắng để thu được lớp màng manti nitride. Súng catốt rỗng vừa là nguồn bốc hơi, vừa là nguồn ion hóa khác. Trong quá trình phủ, Dòng điện của cuộn dây điện từ xung quanh nồi nấu cũng cần được điều chỉnh, Tập trung chùm tia điện tử vào tâm của sự sụp đổ, Do đó, mật độ công suất của dòng điện tử được tăng lên.

9、Tắt nguồn. Sau khi độ dày màng đạt đến độ dày màng được xác định trước, hãy tắt nguồn cung cấp điện hồ quang, nguồn cung cấp điện phân cực và nguồn cung cấp khí.