Bo'shliq katod ionlarini qoplash jarayoni quyidagicha:
1, Chin ingotlarini yiqilish joyiga qo'ying.
2, Ish qismini o'rnatish.
3, 5 × 10-3Pa ga evakuatsiya qilingandan so'ng, argon gazi kumush naychadan qoplama kamerasiga kiritiladi va vakuum darajasi 100Pa atrofida bo'ladi.
4, Tarmoqli quvvatni yoqing.
5 、Katodning ichi bo'sh deşarjni yoqish uchun yoy quvvatini yoqqandan so'ng. Yorqin razryad tugma trubkasida hosil bo'ladi, Bo'shatish kuchlanishi 800 ~ 1000V, yoyni ko'tarish oqimi 30 ~ 50A. Yonilg'i razryadning ichi bo'sh katod ta'siri tufayli, yuqori nurlanish oqimi, yuqori nurlanish oqimi, Kumush trubka ustunli trubaning devorini bombardimon qiladi, Quvur devorini elektron oqimining emissiyasiga qadar tez qizdiring, nurli razryaddan tushirish rejimi to'satdan yoy zaryadiga o'zgaradi, Voltaj 40 ~ 70V, Oqim 80 ~ 300A. Kumush trubaning harorati 2300K dan yuqori, cho'g'lanma nurlari, yuqori trubkalar va Emitentlar. anodga o'q uzildi.
6, Vakuum darajasini sozlash. Bo'shliq katodli tabancadan porlash uchun vakuum darajasi taxminan 100 Pa ni tashkil qiladi va qoplamaning vakuum darajasi 8 × 10-1 ~ 2 Pa ni tashkil qiladi. Shuning uchun, yoy zaryadsizlanishi alangalangandan so'ng, kiruvchi argon gazini vakuum darajasini imkon qadar qisqa vaqt ichida kamaytiring.
7、Titan bilan qoplangan taglik qatlami. Anod tarzda yiqilgan Chin metall ingotiga elektron oqimi, Kinetik energiyani issiqlik energiyasiga aylantirish, Chin metallining isitish orqali bug'lanishi, Titan plyonka hosil qilish uchun bug' atomlari ish qismiga etib boradi.
8, TiN ning cho'kishi. Azot gazi qoplama kamerasiga etkazib beriladi, Azot gazi va bug'langan atomlar azot va titan ionlariga ionlanadi. Titanning yuqori qismida titan bug'lari atomlarining zich oqimlari bilan elastik bo'lmagan to'qnashuvi ehtimoli yuqori, chunki metall past energiya distilatsiyasi. 20% ~ 40%., Titan ionlari gaz azot bilan kimyoviy reaksiyaga kirishishi ehtimoli ko'proq, Nitridli mantiya plyonka qatlamini olish uchun cho'kish. Bo'shliq katod tabancasi ham bug'lanish manbai, ionlanishning yana bir manbai. Qoplash paytida, titan atrofidagi elektromagnit bobinning oqimi ham elektromagnit markazga sozlanishi kerak. qulashi,Shunday qilib, elektron oqimining quvvat zichligi ortadi.
9, Quvvatni o'chiring. Plyonka qalinligi oldindan belgilangan plyonka qalinligiga yetgandan so'ng, yoy quvvat manbaini o'chiring, quvvat manbai va havo ta'minotini o'chiring.
Yuborilgan vaqt: 2023 yil 08-iyul