کھوکھلی کیتھوڈ آئن کوٹنگ کا عمل

کھوکھلی کیتھوڈ آئن کوٹنگ کا عمل مندرجہ ذیل ہے:

1، ٹھوڑی کے انگوٹھے کو گرنے میں ڈالیں۔

2، ورک پیس کو بڑھانا۔

3、5×10-3Pa پر خالی کرنے کے بعد، آرگن گیس سلور ٹیوب سے کوٹنگ چیمبر میں داخل کی جاتی ہے، اور ویکیوم لیول تقریباً 100Pa ہے۔

4، تعصب کی طاقت کو آن کریں۔

5، کھوکھلی کیتھوڈ ڈسچارج کو بھڑکانے کے لیے آرک پاور کو آن کرنے کے بعد۔ بٹن ٹیوب میں گلو ڈسچارج پیدا ہوتا ہے، ڈسچارج وولٹیج 800 ~ 1000V ہے، آرک اٹھانے والا کرنٹ 30 ~ 50A ہے۔ گلو ڈسچارج کے کھوکھلے کیتھوڈ اثر کی وجہ سے، ہائی ڈیسچارج کی تیز رفتاری سلور ٹیوب میں آئن وینٹیج ٹیوب کی دیوار پر بمباری کرتے ہیں، الیکٹران کے بہاؤ کے اخراج تک ٹیوب کی دیوار کو تیزی سے گرم کرتے ہیں، گلو ڈسچارج سے ڈسچارج موڈ اچانک آرک ڈسچارج میں تبدیل ہوتا ہے، وولٹیج 40~70V ہے، موجودہ 80~300A ہے، سلور ٹیوب کا درجہ حرارت 20 سینٹی میٹر سے اوپر ہے، ٹیوب سے آرک الیکٹران کی ندی، اور انوڈ پر گولی مار دی.

6、ویکیوم لیول کی ایڈجسٹمنٹ۔ کھوکھلی کیتھوڈ گن سے گلو ڈسچارج کے لیے ویکیوم لیول تقریباً 100 Pa ہے، اور کوٹنگ کی ویکیوم ڈگری 8×10-1~2Pa ہے۔ اس لیے، آرک ڈسچارج کے اگنیشن کے بعد، جلد سے جلد آنے والی آرگن کی سطح کو کم کریں، جتنی جلدی ممکن ہو مناسب آرگن کی سطح کو کم کریں۔ کوٹنگ کے لئے.

7، ٹائٹینیم چڑھایا بیس پرت۔ الیکٹران کا بہاؤ انوڈیکل طور پر منہدم ہونے والی چن میٹل انگوٹ پر، حرکی توانائی کو تھرمل توانائی میں تبدیل کرنا، گرم کرنے سے چن دھات کا بخارات، بخارات کے ایٹم ٹائٹینیم فلم بنانے کے لیے ورک پیس تک پہنچتے ہیں۔

8、TiN کا ذخیرہ۔ نائٹروجن گیس کوٹنگ چیمبر کو فراہم کی جاتی ہے، نائٹروجن گیس اور بخارات سے بنی ہوئی ایٹموں کو نائٹروجن اور ٹائٹینیم آئنوں میں آئنائز کیا جاتا ہے۔ کروسیبل کے اوپر، ٹائٹینیم وانپ ایٹموں کے غیر لچکدار تصادم کا زیادہ امکان، الیکٹرو سینس کی کم شرح کے ساتھ۔ زیادہ سے زیادہ 20%~40% ہے۔، ٹائٹینیم آئنوں کا رد عمل گیس نائٹروجن کے ساتھ کیمیائی طور پر رد عمل کا امکان زیادہ ہوتا ہے، نائٹرائڈ مینٹل فلم کی تہہ حاصل کرنے کے لیے جمع ہوتا ہے۔ کھوکھلی کیتھوڈ گن دونوں بخارات کا ذریعہ ہے，آئنائزیشن کا ایک اور ذریعہ ہے۔ گرنے کے مرکز تک، اس طرح، الیکٹران کے بہاؤ کی طاقت کی کثافت بڑھ جاتی ہے۔

9، پاور آف۔ فلم کی موٹائی پہلے سے طے شدہ فلم کی موٹائی تک پہنچنے کے بعد، آرک پاور سپلائی بند کریں، بائیس پاور سپلائی اور ایئر سپلائی۔