Процес іонного покриття порожнистого катода виглядає наступним чином:
1. Помістіть злитки Чін у руйнування.
2. Кріплення заготовки.
3. Після вакуумування до 5×10⁻³Па, аргоновий газ подається в камеру покриття зі срібної трубки, і рівень вакууму становить близько 100 Па.
4. Увімкніть живлення зміщення.
5. Після ввімкнення дугового розряду для запалювання розряду з порожнистим катодом. У трубці з ґудзиком генерується тліючий розряд. Напруга розряду становить 800~1000 В, струм виникнення дуги становить 30~50 А. Завдяки ефекту тліючого розряду з порожнистим катодом, висока щільність струму тліючого розряду призводить до високої щільності іонів іонів у срібній трубці, що призводить до швидкого нагрівання стінки трубки, що призводить до випромінювання потоку електронів. Режим розряду раптово змінюється з тліючого розряду на дуговий. Напруга становить 40~70 В, струм - 80~300 А. Температура срібної трубки сягає понад 2300 К. Лампа розжарювання випромінює з трубки потік електронів дуги високої щільності, які вилітають до анода.
6. Регулювання рівня вакууму. Рівень вакууму для тліючого розряду з гармати з порожнистим катодом становить близько 100 Па, а ступінь вакууму для покриття становить 8×10⁻¹~2 Па. Тому після запалювання дугового розряду якомога швидше зменшіть подачу аргону та встановіть рівень вакууму до діапазону, придатного для покриття.
7. Базовий шар з титановим покриттям. Потік електронів на анодно зруйнований злиток металу Chin, перетворення кінетичної енергії в теплову, випаровування металу Chin шляхом нагрівання, атоми пари досягають заготовки, утворюючи титанову плівку.
8. Осадження TiN. Газоподібний азот подається в камеру покриття. Газоподібний азот та випаровані атоми іонізуються на іони азоту та титану. Над тиглем вища ймовірність непружних зіткнень атомів пари титану з щільними потоками низькоенергетичних електронів. Швидкість дисоціації металу сягає 20%~40%. Іони титану більш схильні до хімічної реакції з реакційним газоподібним азотом. Осадження призводить до утворення шару нітридної мантійної плівки. Порожниста катодна гармата є джерелом випаровування та ще одним джерелом іонізації. Під час нанесення покриття також слід регулювати струм електромагнітної котушки навколо тигля. Фокусуйте електронний промінь на центр колапсу. Таким чином, збільшується щільність потужності електронного потоку.
9. Вимкнення живлення. Після досягнення заданої товщини плівки вимкніть джерело живлення дуги, джерело живлення зміщення та подачу повітря.
Час публікації: 08 липня 2023 р.