Ion سىرماشىنا ئالدىنقى ئەسىرنىڭ 60-يىللىرىدا DM Mattox ئوتتۇرىغا قويغان نەزەرىيەدىن كەلگەن بولۇپ ، مۇناسىپ سىناقلار ئەينى ۋاقىتتا باشلانغان. 1971-يىلغا قەدەر ، چامبېرس ۋە باشقىلار ئېلېكترونلۇق نۇر ئىئون تاختا تېخنىكىسىنى ئېلان قىلدى. رېئاكتىپ پارغا ئايلىنىش تاختىسى (ARE) تېخنىكىسى 1972-يىلى Bunshah دوكلاتىدا كۆرسىتىلدى ، ئەينى ۋاقىتتا TiC ۋە TiN قاتارلىق دەرىجىدىن تاشقىرى قاتتىق فىلىم تىپلىرى ئىشلەپچىقىرىلدى. 1972-يىلى ، سىمىس بىلەن موللېي سىرلاش جەريانىدا كاۋاك كاتود تېخنىكىسىنى قوللانغان. ئالدىنقى ئەسىرنىڭ 80-يىللىرىغا كەلگەندە ، جۇڭگودىكى ئىئون تاختىلىرى ئاخىرى سانائەت قوللىنىش سەۋىيىسىگە يەتتى ، ۋاكۇئۇملۇق كۆپ ئوقلۇق ئىئون تاختىلىرى ۋە ئوق چىقىرىش ئىئون تاختىلىرى قاتارلىق سىرلاش جەريانى ئارقا-ئارقىدىن پەيدا بولدى.
ۋاكۇئۇم ئىئون تاختىسىنىڭ پۈتكۈل خىزمەت جەريانى تۆۋەندىكىچە: بىرىنچى ،پومپاۋاكۇئۇم ئۆي ، ئاندىنساقلاپ تۇرۇڭۋاكۇئۇم بېسىمى 4X10 ⁻ ³ Paياكى ياخشى، يۇقىرى بېسىملىق توك بىلەن تەمىنلەشنى بىرلەشتۈرۈپ ، يەر ئاستى سۈمۈرگۈچ بىلەن پارغا ئايلاندۇرغۇچ ئوتتۇرىسىدا تۆۋەن بېسىملىق قويۇپ بېرىش گازىنىڭ تۆۋەن تېمپېراتۇرىلىق پلازما رايونى بەرپا قىلىش كېرەك. 5000V DC مەنپىي يۇقىرى بېسىملىق يەر ئاستى ئېلېكترودنى ئۇلاپ ، كاتودنىڭ پارقىراقلىقىنى ھاسىل قىلىڭ. مەنپىي پارقىراق رايونغا يېقىن ئىنېرت گازى ئىئونلىرى ھاسىل بولىدۇ. ئۇلار كاتود قاراڭغۇ رايونىغا كىرىدۇ ۋە ئېلېكتر مەيدانى ئارقىلىق تېزلىشىدۇ ۋە يەر ئاستى يۈزىنى بومباردىمان قىلىدۇ. بۇ بىر تازىلاش جەريانى ، ئاندىن سىرلاش جەريانىغا كىرىڭ. بومبا پارتىلىتىشنىڭ تەسىرىدە ، بىر قىسىم تەخسە ماتېرىياللىرى ھورغا ئايلىنىدۇ. پلازما رايونى پروتونغا كىرىدۇ ، ئېلېكترون ۋە ئىنېرت گازى ئىئونلىرى بىلەن سوقۇلۇپ كېتىدۇ ، ئۇلارنىڭ ئاز بىر قىسمى ئىئونلىنىدۇ ، يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك بۇ ئىئونلانغان ئىئونلار كىنو يۈزىنى بومباردىمان قىلىپ ، كىنو سۈپىتىنى مەلۇم دەرىجىدە ئۆستۈرىدۇ.
ۋاكۇئۇم ئىئون تاختىسىنىڭ پرىنسىپى: ۋاكۇئۇم كامېردا ، گاز قويۇپ بېرىش ھادىسىسى ياكى پارغا ئايلانغان ماتېرىيالنىڭ ئىئونلانغان قىسمىنى ئىشلىتىپ ، پارغا ئايلانغان ماتېرىيال ئىئونلىرى ياكى تەبىئىي گاز ئىئونلىرىنىڭ بومبا ھۇجۇمىدا ، بىرلا ۋاقىتتا بۇ ھورلانغان ماددىلارنى ياكى ئۇلارنىڭ رېئاكتورلىرىنى يەر ئاستىغا قويۇپ ، نېپىز پەردە ھاسىل قىلىڭ. ئىئون قاپلاشماشىناۋاكۇئۇمنىڭ پارغا ئايلىنىشى ، پلازما تېخنىكىسى ۋە گازنىڭ پارقىراقلىقىنى بىرلەشتۈرگەن بولۇپ ، بۇ فىلىمنىڭ سۈپىتىنى ئۆستۈرۈپلا قالماي ، يەنە فىلىمنىڭ قوللىنىش دائىرىسىنى كېڭەيتىدۇ. بۇ جەرياننىڭ ئەۋزەللىكى كۈچلۈك دىففراكسىيە قىلىش ، ياخشى چاپلاشما چاپلاش ۋە ھەر خىل سىر ماتېرىياللىرى. ئىئون چاپلاش پرىنسىپىنى ئالدى بىلەن DM Mattox ئوتتۇرىغا قويدى. ئىئون تاختىسىنىڭ نۇرغۇن تۈرلىرى بار. ئەڭ كۆپ ئۇچرايدىغان تىپ پارغا ئايلىنىش بىلەن ئىسسىنىش بولۇپ ، قارشىلىق بىلەن ئىسسىنىش ، ئېلېكترونلۇق نۇرنى قىزىتىش ، پلازما ئېلېكترونلۇق نۇر بىلەن ئىسسىتىش ، يۇقىرى چاستوتىلىق ئىندۇكسىيە قىزىتىش ۋە باشقا ئىسسىنىش ئۇسۇللىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
يوللانغان ۋاقتى: 2-ئاينىڭ 14-كۈنىدىن 20-كۈنىگىچە

