ئىندىي قەلەي ئوكسىد (ئىندىي قەلەي ئوكسىد ، ITO دېيىلىدۇ) كەڭ بەلۋاغ پەرقى بولۇپ ، ئېغىر دەرىجىدىكى كۆپەيتىلگەن n تىپلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال بولۇپ ، يورۇقلۇقنىڭ تارقىلىشچانلىقى ۋە قارشىلىق دەرىجىسى تۆۋەن ، شۇڭا قۇياش ئېنېرگىيىسى ھۈجەيرىسى ، تەكشى تاختاي ئېكرانى ، ئېلېكتىرو خىروم دېرىزىسى ، ئانئورگانىك ۋە ئورگانىك نېپىز پەردە ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ، لازېرلىق دىئود ۋە باشقا ئۇلترا بىنەپشە نۇر قاتارلىقلار. تومۇر سوقۇلغان لازېر چۆكۈش ، پۈركۈش ، خىمىيىلىك ھور چۆكۈش ، پۈركۈش ئىسسىقلىق پارچىلىنىش ، ئېرىتقۇچ ، پارغا ئايلىنىش قاتارلىقلار. پارغا ئايلىنىش ئۇسۇلى ئىچىدە ئەڭ كۆپ قوللىنىلىدىغان ئېلېكترون نۇرنىڭ پارلىنىشى.
ITO پىلاستىنكىسىنى تەييارلاشنىڭ نۇرغۇن ئۇسۇللىرى بار ، مەسىلەن تومۇر سوقۇلغان لازېر چۆكۈش ، پۈركۈش ، خىمىيىلىك ھور چۆكۈش ، پۈركۈش پىرولىز ، ئېرىتقۇچ گېلى ، پارغا ئايلىنىش قاتارلىقلار ، بۇنىڭ ئىچىدە ئەڭ كۆپ قوللىنىلىدىغان پارغا ئايلىنىش ئۇسۇلى ئېلېكترونلۇق نۇرنىڭ پارلىنىشىدۇر. ITO فىلىملىرىنىڭ پارغا ئايلىنىش تەييارلىقى ئادەتتە ئىككى خىل بولىدۇ: بىرى يۇقىرى ساپلىقتىكى In ، Sn قېتىشمىسىنى مەنبە ماتېرىيالى ، ئوكسىگېن ئاتموسفېراسىدا رېئاكسىيەنىڭ پارغا ئايلىنىشى. ئىككىنچى ، يۇقىرى ساپلىقتىكى In2O3 :, SnO2 ئارىلاشمىسىنى بىۋاسىتە پارغا ئايلاندۇرۇشنىڭ مەنبەسى سۈپىتىدە ئىشلىتىش. يۇقىرى سۈرەتلىك ۋە قارشىلىق كۈچى تۆۋەن بولغان فىلىمنى ئىشلەش ئۈچۈن ، ئادەتتە تېخىمۇ يۇقىرى يەر ئاستى تېمپېراتۇرىسى ياكى كېيىنكى فىلىمنىڭ ئۇلىنىشىنىڭ ئېھتىياجىنى تەلەپ قىلىدۇ. HR Fallah قاتارلىقلار. تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا ئېلېكترون نۇرنىڭ پارغا ئايلىنىش ئۇسۇلىنى ئىشلىتىپ ، ITO نېپىز پەردىلەرنى ئامانەت قويدى ، چۆكۈش نىسبىتى ، تېمپېراتۇرا ۋە باشقا جەريان پارامېتىرلىرىنىڭ فىلىم قۇرۇلمىسى ، ئېلېكتر ۋە ئوپتىكىلىق خۇسۇسىيىتىگە بولغان تەسىرىنى تەتقىق قىلدى. ئۇلار چۆكمە نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىشنىڭ تارقىلىشچانلىقىنى ئاشۇرۇپ ، تۆۋەن تېمپېراتۇرا ئۆسكەن كىنولارنىڭ قارشىلىق كۈچىنى تۆۋەنلىتىدىغانلىقىنى كۆرسەتتى. كۆرۈنىدىغان نۇرنىڭ تارقىلىش نىسبىتى% 92 تىن يۇقىرى ، قارشىلىق كۈچى 7X10-4Ωcm. ئۇلار ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا 350 ~ 550 at ئەتراپىدا ئۆسكەن ITO پىلاستىنكىسىنى چاپلىدى ، ھەمدە تۇتاشتۇرۇش تېمپېراتۇرىسى قانچە يۇقىرى بولسا ، ITO فىلىملىرىنىڭ كىرىستال خۇسۇسىيىتىنىڭ شۇنچە ياخشى بولىدىغانلىقىنى بايقىدى. 550 at غا چاپلانغاندىن كېيىن كىنولارنىڭ كۆرۈنەرلىك يورۇتۇش نىسبىتى% 93 ، داننىڭ چوڭلۇقى تەخمىنەن 37nm. پلازما ياردەم بېرىش ئۇسۇلى يەنە فىلىم شەكىللىنىش جەريانىدا يەر ئاستى تېمپېراتۇرىسىنى تۆۋەنلىتىدۇ ، بۇ فىلىمنىڭ شەكىللىنىشىدىكى ئەڭ مۇھىم ئامىل ، كىرىستاللىقمۇ ئەڭ مۇھىم. پلازما ئارقىلىق ياردەم بېرىش ئۇسۇلى يەنە كىنو شەكىللىنىش جەريانىدا يەر ئاستى تېمپېراتۇرىسىنى تۆۋەنلىتىدۇ ، چۆكۈشتىن ئېرىشكەن ITO فىلىمىنىڭ ئىپادىسى ياخشى. S. Laux قاتارلىقلار تەييارلىغان ITO فىلىمىنىڭ قارشىلىق كۈچى. ئىنتايىن تۆۋەن ، 5 * 10- »Ωcm ، 550nm دىكى نۇرنىڭ سۈمۈرۈلۈشى% 5 كىمۇ يەتمەيدۇ ، چۆكۈش جەريانىدا ئوكسىگېن بېسىمىنى ئۆزگەرتىش ئارقىلىق فىلىمنىڭ قارشىلىق كۈچى ۋە ئوپتىكىلىق كەڭلىكمۇ ئۆزگىرىدۇ.
–بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
يوللانغان ۋاقتى: 23-مارتتىن 20-مارتقىچە