Буш катод ион каплау процессы түбәндәгечә:
1 Chin Чин инготларын җимерегез.
2 work Эш кисәген монтажлау.
3 5 5 × 10-3Pa эвакуацияләнгәннән соң, аргон газы көмеш трубадан каплау камерасына кертелә, вакуум дәрәҗәсе 100Pa тирәсе.
4 a Күрсәткеч көчен кабызыгыз.
5 the Буш катод агызуны кабызу өчен дуга аркасын кабызганнан соң. Ялкын агызу төймә трубасында барлыкка килә, Агызу көчәнеше 800 ~ 1000В, дуга аркасын күтәрү токы 30 ~ 50А. ялтыравык агымы кинәт үзгәрү аркасында үзгәрү, көчәнеш 40 ~ 70В, ток 80 ~ 300А.
6 uc Вакуум дәрәҗәсен көйләү. Буш катод мылтыгыннан ялтыравык вакуум дәрәҗәсе якынча 100 Па, ә вакуум каплау дәрәҗәсе 8 × 10-1 ~ 2Па. Шуңа күрә, дуга аркасын чыгарганнан соң, керә торган аргон газын мөмкин кадәр тизрәк киметегез, вакуум дәрәҗәсен каплау өчен яраклы диапазонга көйләгез.
7 、 Титан белән капланган төп катлам. Электрон анодик җимерелгән Чин металл инготына агыла, кинетик энергияне җылылык энергиясенә әверелдерү, Чин металлын җылыту белән парга әйләндерү, пар атомнары титан пленкасын формалаштыру өчен эш өлешенә барып җитәләр.
8 T TiN. Азот газы каплау камерасына китерелә, азот газы һәм парга әйләнгән атомнар азот һәм титан ионнарына ионлаштырыла. Титан пар парларының атомлы бәрелешү ихтималлыгы түбән энергияле электроннарның тыгыз реакцияләре, металлның аерылу дәрәҗәсе 20% ~ 40% га кадәр. азот, нитрид мантия пленка катламын алу өчен чокыр. Буш катод мылтыгы парлану чыганагы ion Ионлаштыруның тагын бер чыганагы. Каплау вакытында, электромагнит кәтүк токы шулай ук көйләнергә тиеш, Электрон нурны таркалу үзәгенә юнәлтегез, Шулай итеп, электрон агымның көч тыгызлыгы арта.
9 、 Электр энергиясен сүндерү.
Пост вакыты: Июль-08-2023