İçi boş katot iyon kaplama işlemi

İçi boş katot iyon kaplamanın prosesi şu şekildedir:

1、Çin külçelerini çöküşe yerleştirin.

2、İş parçasının montajı.

3、5×10-3Pa'ya boşaltıldıktan sonra, gümüş tüpten kaplama odasına argon gazı verilir ve vakum seviyesi yaklaşık 100Pa'dır.

4、Önyargı gücünü açın.

5、Içi boş katot deşarjını ateşlemek için ark gücünü açtıktan sonra. Düğme tüpünde kızdırma deşarjı üretilir. Deşarj voltajı 800 ~ 1000 V'dur. Ark yükseltme akımı 30 ~ 50 A'dır. Kızdırma deşarjının içi boş katot etkisi nedeniyle, Yüksek kızdırma deşarj akım yoğunluğu, Gümüş tüpteki yüksek yoğunluklu sıçan iyonları, avantajlı tüpün duvarını bombalar, Tüp duvarının elektron akışının yayılmasına hızla ısınmasını sağlar, kızdırma deşarjından gelen deşarj modu ani olarak ark deşarjına dönüşür, Voltaj 40 ~ 70 V'dur, Akım 80 ~ 300 A'dır. Gümüş tüp sıcaklığı 2300 K'nin üzerine çıkar, Akkor, Tüpten yüksek yoğunluklu bir ark elektron akışı yayar ve anoda atılır.

6、Vakum seviyesinin ayarlanması. İçi boş katot tabancasından kızdırma deşarjı için vakum seviyesi yaklaşık 100 Pa'dır ve kaplamanın vakum derecesi 8×10-1~2Pa'dır. Bu nedenle, ark deşarjının ateşlenmesinden sonra, gelen argon gazını mümkün olan en kısa sürede azaltın, Vakum seviyesini kaplama için uygun bir aralığa ayarlayın.

7、Titanyum kaplamalı taban katmanı. Anodize edilmiş çökmüş Çin metal külçesine elektron akışı, Kinetik enerjinin termal enerjiye dönüştürülmesi, Çin metalinin ısıtılarak buharlaştırılması, Buhar atomları iş parçasına ulaşarak titanyum filmi oluşturur.

8、TiN birikimi. Kaplama odasına azot gazı verilir, Azot gazı ve buharlaştırılmış atomlar azot ve titanyum iyonlarına iyonize edilir. Pota üstünde, Düşük enerjili elektronların yoğun akımlarıyla titanyum buhar atomlarının elastik olmayan çarpışma olasılığı daha yüksektir, Metal ayrışma oranı %20~%40 kadar yüksektir. Titanyum iyonlarının reaksiyon gazı azotuyla kimyasal olarak reaksiyona girme olasılığı daha yüksektir, Bir nitrür manto film tabakası elde etmek için birikim. İçi boş katot tabancası hem bir buharlaşma kaynağıdır, hem de başka bir iyonizasyon kaynağıdır. Kaplama sırasında, Pota etrafındaki elektromanyetik bobinin akımı da ayarlanmalıdır, Elektron ışınını çöküşün merkezine odaklayın, Böylece elektron akışının güç yoğunluğu artar.

9、Gücü Kapatın. Film kalınlığı önceden belirlenen film kalınlığına ulaştıktan sonra, ark güç kaynağını, önyargı güç kaynağını ve hava beslemesini kapatın.