① Plenkanyň galyňlygynyň gowy dolandyrylyp bilinmegi we gaýtalanyp bilinmegi
Plýonkanyň galyňlygyny öňünden kesgitlenen bahada gözegçilik edip boljakdygyna plýonkanyň galyňlygyny dolandyrmak mümkinçiligi diýilýär. Zerur bolan plýonkanyň galyňlygyny köp gezek gaýtalap bolýar, bu bolsa plýonkanyň galyňlygyny gaýtalap bolýar diýilýär. Sebäbi wakuum püskürtme örtüginiň boşalma akymy we maksatly akymy aýratynlykda gözegçilik edip bolýar. Şonuň üçin püskürtme plýonkasynyň galyňlygyny gözegçilik edip bolýar we öňünden kesgitlenen galyňlykdaky plýonka ygtybarly ýerleşdirilip bilner. Mundan başga-da, püskürtme örtügi uly ýüzde deň galyňlykdaky plýonka alyp bilýär.
② Plenka bilen substratyň arasynda güýçli ýelmeşme
Püsküren atomlaryň energiýasy bugarylan atomlaryň energiýasyndan 1-2 esse ýokarydyr. Substrata ýerleşdirilen ýokary energiýaly püsküren atomlaryň energiýa öwrülişi bugarylan atomlaryňkydan has ýokarydyr, bu bolsa has ýokary ýylylyk döredýär we püsküren atomlar bilen substrat arasyndaky ýelmeşmäni güýçlendirýär. Mundan başga-da, käbir ýokary energiýaly püsküren atomlar dürli derejeli inýeksiýany öndürýär we substratda ýalan diffuziýa gatlagyny emele getirýär. Mundan başga-da, plyonka emele getirmek prosesinde substrat hemişe plyonka sebitinde arassalanýar we işjeňleşdirilýär, bu bolsa gowşak ýelmeşýän püsküren atomlary aýyrýar we substratyň ýüzüni arassalaýar we işjeňleşdirýär. Şonuň üçin püsküren plyonka substrata güýçli ýelmeşýär.
③ Nyşanadan tapawutly täze material plyonkasy taýýarlanyp bilner
Eger püskürtme wagtynda reaktiv gaz goşulyp, nyşana bilen reaksiýa girse, nyşanadan düýbünden başga täze material plyonkasy alnyp bilner. Mysal üçin, püskürtme nyşany hökmünde kremniý ulanylýar we kislorod we argon wakuum kamerasyna bilelikde goýulýar. Püskürtmeden soň, SiOz izolýasiýa plyonkasy alnyp bilner. Püskürtme nyşany hökmünde titan ulanylyp, azot we argon wakuum kamerasyna bilelikde goýulýar we püskürtmeden soň fazaly TiN altyn ýaly plyonkasy alnyp bilner.
④ Plenkanyň ýokary arassalygy we gowy hili
Püskürtme plýonkasyny taýýarlamak enjamynda tigel bölegi ýok bolany üçin, tigel gyzdyryjy materialynyň bölekleri püskürtme plýonka gatlagynda garyşmaz. Püskürtme örtüginiň kemçilikleri, plýonka emele getirme tizliginiň bugarma örtüginiňkiden has haýal bolmagy, substratyň temperaturasynyň ýokary bolmagy, garyndy gazynyň täsirine düşmegiň aňsat bolmagy we enjamyň gurluşynyň has çylşyrymly bolmagydyr.
Bu makala öndüriji Guangdong Zhenhua tarapyndan çap edildiwakuum örtük enjamlary
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 9-njy marty