① Добрая кіравальнасць і паўтаральнасць таўшчыні плёнкі
Ці можна кантраляваць таўшчыню плёнкі на загадзя зададзеным значэнні, называецца кантраляванасцю таўшчыні плёнкі.Неабходную таўшчыню плёнкі можна паўтараць шмат разоў, што называецца паўтаранасцю таўшчыні плёнкі. Паколькі разрадны ток і мэтавы ток пакрыцця вакуумнага напылення можна кантраляваць асобна.Такім чынам, таўшчыню напыленай плёнкі можна кантраляваць, і плёнка з загадзя вызначанай таўшчынёй можа быць надзейна асаджана.Акрамя таго, напыленне дазваляе атрымаць плёнку з аднастайнай таўшчынёй на вялікай паверхні.
② Моцнае счапленне паміж плёнкай і падкладкай
Энергія распыленых атамаў на 1-2 парадку вышэй, чым у выпараных атамаў.Пераўтварэнне энергіі высокаэнергетычных распыленых атамаў, асаджаных на падкладку, значна вышэй, чым у выпараных атамаў, што стварае больш высокую тэмпературу і ўзмацняе адгезію паміж распыленымі атамамі і падкладкай.Акрамя таго, некаторыя высокаэнергетычныя распыленыя атамы ствараюць розную ступень ін'екцыі, утвараючы псеўдадыфузійны пласт на падкладцы.Акрамя таго, падкладка заўсёды ачышчаецца і актывуецца ў вобласці плазмы падчас працэсу фарміравання плёнкі, што выдаляе распыленыя атамы са слабой адгезіяй, а таксама ачышчае і актывізуе паверхню падкладкі.Такім чынам, напыленая плёнка мае моцную адгезію да падкладкі.
③ Можна падрыхтаваць плёнку з новага матэрыялу, адрозную ад мэты
Калі рэактыўны газ уводзіць падчас распылення, каб ён уступіў у рэакцыю з мішэнню, можа быць атрымана плёнка новага матэрыялу, цалкам адрозная ад мішэні.Напрыклад, у якасці мішэні для распылення выкарыстоўваецца крэмній, а кісларод і аргон падаюць у вакуумную камеру разам.Пасля напылення можна атрымаць ізаляцыйную плёнку SiOz.Выкарыстоўваючы тытан у якасці мішэні для распылення, азот і аргон разам змяшчаюцца ў вакуумную камеру, і пасля распылення можна атрымаць плёнку, падобную на золата TiN.
④ Высокая чысціня і добрая якасць плёнкі
Паколькі ў прыладзе для падрыхтоўкі плёнкі для распылення няма кампанентаў тыгля, кампаненты матэрыялу награвальніка тыгля не будуць змешвацца ў пласце плёнкі для распылення.Недахопы напылення пакрыцця заключаюцца ў тым, што хуткасць утварэння плёнкі ніжэйшая, чым у нанясення пакрыцця выпарваннем, тэмпература падкладкі вышэй, на яе лёгка ўздзейнічае прымесны газ, а структура прылады больш складаная.
Гэты артыкул апублікаваны Guangdong Zhenhua, вытворцамабсталяванне для вакуумнага нанясення пакрыццяў
Час публікацыі: 9 сакавіка 2023 г