① Жакшы контролдоо жана пленканын калыңдыгын кайталоо
Пленканын калыңдыгын алдын ала белгиленген мааниде көзөмөлдөө мүмкүнбү же жокпу, пленканын калыңдыгын контролдоо мүмкүнчүлүгү деп аталат.Талап кылынган пленканын калыңдыгы көп жолу кайталанышы мүмкүн, бул тасманын жоондугу кайталануучулугу деп аталат. Себеби вакуумдук чачыратуу каптоосунун разряддык агымы жана максаттуу агымы өзүнчө башкарылышы мүмкүн.Демек, чачыратылган пленканын калыңдыгы көзөмөлдөнүп турат жана алдын ала белгиленген калыңдыгы бар пленканы ишенимдүү жайгаштырууга болот.Мындан тышкары, чачыратуучу каптоо чоң бетинде бирдей калыңдыгы менен пленканы ала алат.
② Пленка менен субстраттын ортосунда күчтүү адгезия
Чачылган атомдордун энергиясы бууланган атомдордон 1-2 эсе жогору.Субстратка жайгаштырылган жогорку энергиялуу чачыранды атомдордун энергияга айлануусу буулануучу атомдорго караганда алда канча жогору, бул жогорку жылуулукту жаратат жана чачылган атомдор менен субстраттын ортосундагы адгезияны күчөтөт.Мындан тышкары, кээ бир жогорку энергиялуу чачыранды атомдор инъекциянын ар кандай даражасын жаратып, субстратта псевдодиффузия катмарын түзөт.Мындан тышкары, пленканы түзүү процессинде субстрат ар дайым тазаланып, плазма аймагында активдештирилет, ал начар адгезиясы бар чачыраган атомдорду жок кылат жана субстраттын бетин тазалап, активдештирет.Демек, чачыратылган пленка субстратка күчтүү адгезияга ээ.
③ Максаттан айырмаланган жаңы материал пленкасы даярдалышы мүмкүн
Эгерде реактивдүү газ чачыратуу учурунда аны бутага реакция кылуу үчүн киргизилсе, бутадан таптакыр башкача жаңы материал пленкасын алууга болот.Мисалы, кремний чачыратуучу максат катары колдонулат, ал эми кычкылтек менен аргон вакуумдук камерага чогуу салынат.Чачырагандан кийин SiOz изоляциялык пленканы алууга болот.Чачыратуучу максат катары титанды колдонуп, азот менен аргон вакуумдук камерага чогуу салынып, чачыратуудан кийин TiN алтын сымал фазалык пленканы алууга болот.
④ Жогорку тазалык жана тасманын жакшы сапаты
Чачыратуучу пленканы даярдоочу түзүлүштө тигель компоненти жок болгондуктан, тигель жылыткыч материалынын компоненттери чачыраткыч пленка катмарында аралашпайт.Чачыратуу каптоонун кемчиликтери буулануу каптоосуна караганда пленканы түзүү ылдамдыгы жайыраак, субстраттын температурасы жогору, газ аралашмасынан оңой таасирленет жана түзүлүш структурасы татаалыраак.
Бул макаланы өндүрүүчү Гуандун Чжэнхуа жарыялаганвакуумдук каптоо жабдуулары
Посттун убактысы: Мар-09-2023