① Плёнканын калыңдыгынын жакшы башкарылуучулугу жана кайталануучулугу
Плёнканын калыңдыгын алдын ала аныкталган мааниде көзөмөлдөөгө болобу же жокпу, бул плёнканын калыңдыгын башкаруу деп аталат. Плёнканын талап кылынган калыңдыгын көп жолу кайталоого болот, бул плёнканын калыңдыгын кайталоо деп аталат. Анткени вакуумдук чачыратуучу каптаманын разряддык тогу жана максаттуу тогу өзүнчө башкарууга болот. Ошондуктан, чачыратылган плёнканын калыңдыгын башкарууга болот жана алдын ала аныкталган калыңдыгы бар плёнканы ишенимдүү түрдө жабууга болот. Мындан тышкары, чачыратуучу каптама чоң бетке бирдей калыңдыктагы плёнканы алууга мүмкүндүк берет.
② Плёнка менен субстраттын ортосундагы күчтүү адгезия
Чачыраган атомдордун энергиясы бууланган атомдордукуна караганда 1-2 эсе жогору. Субстратка жайгаштырылган жогорку энергиялуу чачыраган атомдордун энергия конверсиясы бууланган атомдордукуна караганда бир топ жогору, бул жогорку жылуулукту пайда кылат жана чачыраган атомдор менен субстраттын ортосундагы адгезияны күчөтөт. Мындан тышкары, кээ бир жогорку энергиялуу чачыраган атомдор ар кандай деңгээлдеги инъекцияны пайда кылып, субстратта псевдодиффузиялык катмарды түзөт. Мындан тышкары, пленканы түзүү процессинде субстрат плазма аймагында ар дайым тазаланып, активдешет, бул алсыз адгезиялуу чачыраган атомдорду жок кылат жана субстраттын бетин тазалайт жана активдештирет. Ошондуктан, чачыраган пленка субстратка күчтүү адгезияга ээ.
③ Максаттуудан айырмаланган жаңы материалдык пленка даярдалышы мүмкүн
Эгерде чачыратуу учурунда реактивдүү газ киргизилип, аны бута менен реакцияга киргизсе, анда бутадан таптакыр башкача жаңы материалдык пленка алынышы мүмкүн. Мисалы, кремний чачыратуу бута катары колдонулат, ал эми кычкылтек менен аргон вакуумдук камерага чогуу коюлат. Чачыратуудан кийин SiOz изоляциялык пленкасын алууга болот. Чачыратуу бута катары титанды колдонуп, азот менен аргон вакуумдук камерага чогуу коюлат, ал эми чачыратуудан кийин фазалык TiN алтын сымал пленка алынышы мүмкүн.
④ Плёнканын жогорку тазалыгы жана сапаты
Чачыратуучу пленканы даярдоочу түзүлүштө тигель компоненти жок болгондуктан, тигель жылыткыч материалынын компоненттери чачыратуучу пленка катмарына аралашпайт. Чачыратуучу каптоонун кемчиликтери - пленканын пайда болуу ылдамдыгы буулануу каптоосуна караганда жайыраак, субстраттын температурасы жогору, аралашма газынын таасирине оңой кабылат жана түзүлүштүн түзүлүшү татаалыраак.
Бул макаланы өндүрүүчүсү Гуандун Чжэньхуа жарыялаган.вакуумдук каптоо жабдуулары
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 9-марты