① ফিল্মের পুরুত্বের ভালো নিয়ন্ত্রণযোগ্যতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা
ফিল্মের পুরুত্ব একটি পূর্বনির্ধারিত মানে নিয়ন্ত্রণ করা যায় কি না, তাকে ফিল্মের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণযোগ্যতা বলা হয়। প্রয়োজনীয় ফিল্মের পুরুত্ব বহুবার পুনরাবৃত্তি করা যায়, যাকে ফিল্মের পুরুত্ব পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা বলা হয়। কারণ ভ্যাকুয়াম স্পাটারিং কোটিং-এর ডিসচার্জ কারেন্ট এবং টার্গেট কারেন্ট আলাদাভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যায়। তাই, স্পাটার করা ফিল্মের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণযোগ্য এবং পূর্বনির্ধারিত পুরুত্বের ফিল্ম নির্ভরযোগ্যভাবে জমা করা যায়। এছাড়াও, স্পাটার কোটিং-এর মাধ্যমে একটি বৃহৎ পৃষ্ঠতলে অভিন্ন পুরুত্বের ফিল্ম পাওয়া যায়।
২ ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে শক্তিশালী আনুগত্য
স্পাটার্ড পরমাণুগুলোর শক্তি ইভাপোরেটেড পরমাণুগুলোর শক্তির চেয়ে ১-২ মাত্রা বেশি। সাবস্ট্রেটের উপর জমা হওয়া উচ্চ-শক্তির স্পাটার্ড পরমাণুগুলোর শক্তি রূপান্তর ইভাপোরেটেড পরমাণুগুলোর তুলনায় অনেক বেশি, যা অধিক তাপ উৎপন্ন করে এবং স্পাটার্ড পরমাণু ও সাবস্ট্রেটের মধ্যে আসঞ্জন বৃদ্ধি করে। এছাড়াও, কিছু উচ্চ-শক্তির স্পাটার্ড পরমাণু বিভিন্ন মাত্রার ইনজেকশন তৈরি করে, যা সাবস্ট্রেটের উপর একটি সিউডোডিফিউশন স্তর গঠন করে। অধিকন্তু, ফিল্ম তৈরির প্রক্রিয়ার সময় প্লাজমা অঞ্চলে সাবস্ট্রেটকে সর্বদা পরিষ্কার ও সক্রিয় করা হয়, যা দুর্বল আসঞ্জনযুক্ত স্পাটার্ড পরমাণুগুলোকে অপসারণ করে এবং সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠকে বিশুদ্ধ ও সক্রিয় করে। ফলে, স্পাটার্ড ফিল্মটির সাবস্ট্রেটের সাথে দৃঢ় আসঞ্জন থাকে।
③ লক্ষ্যমাত্রা থেকে ভিন্ন নতুন উপাদান ফিল্ম প্রস্তুত করা যেতে পারে।
স্পাটারিং-এর সময় যদি টার্গেটের সাথে বিক্রিয়া ঘটানোর জন্য বিক্রিয়াশীল গ্যাস প্রবেশ করানো হয়, তবে টার্গেট থেকে সম্পূর্ণ ভিন্ন একটি নতুন পদার্থের ফিল্ম পাওয়া যেতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, স্পাটারিং টার্গেট হিসেবে সিলিকন ব্যবহার করা হয় এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারে একসাথে অক্সিজেন ও আর্গন প্রবেশ করানো হয়। স্পাটারিং-এর পরে SiOz ইনসুলেটিং ফিল্ম পাওয়া যেতে পারে। স্পাটারিং টার্গেট হিসেবে টাইটানিয়াম ব্যবহার করে, ভ্যাকুয়াম চেম্বারে একসাথে নাইট্রোজেন ও আর্গন প্রবেশ করানো হলে, স্পাটারিং-এর পরে TiN ফেজের সোনার মতো ফিল্ম পাওয়া যেতে পারে।
④ ফিল্মের উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং ভালো গুণমান
যেহেতু স্পাটারিং ফিল্ম তৈরির ডিভাইসে কোনো ক্রুসিবল উপাদান থাকে না, তাই ক্রুসিবল হিটার উপাদানের অংশগুলো স্পাটারিং ফিল্ম স্তরে মিশ্রিত হয় না। স্পাটারিং কোটিং-এর অসুবিধাগুলো হলো, এর ফিল্ম তৈরির গতি ইভাপোরেশন কোটিং-এর চেয়ে ধীর, সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা বেশি থাকে, এটি সহজেই অপদ্রব গ্যাস দ্বারা প্রভাবিত হয় এবং ডিভাইসের গঠন আরও জটিল।
এই নিবন্ধটি গুয়াংডং ঝেনহুয়া নামক একটি প্রস্তুতকারক সংস্থা দ্বারা প্রকাশিত।ভ্যাকুয়াম কোটিং সরঞ্জাম
পোস্ট করার সময়: ০৯ মার্চ, ২০২৩