① Kontrollueshmëri e mirë dhe përsëritshmëri e trashësisë së filmit
Nëse trashësia e filmit mund të kontrollohet me një vlerë të paracaktuar quhet kontrollueshmëri e trashësisë së filmit.Trashësia e kërkuar e filmit mund të përsëritet shumë herë, e cila quhet përsëritshmëri e trashësisë së filmit. Për shkak se rryma e shkarkimit dhe rryma e synuar e veshjes me spërkatje me vakum mund të kontrollohen veçmas.Prandaj, trashësia e filmit të spërkatur është e kontrollueshme, dhe filmi me trashësi të paracaktuar mund të depozitohet në mënyrë të besueshme.Përveç kësaj, veshja me spërkatje mund të marrë një film me trashësi uniforme në një sipërfaqe të madhe.
② Ngjitje e fortë ndërmjet filmit dhe nënshtresës
Energjia e atomeve të spërkatura është 1-2 rend magnitudë më e lartë se ajo e atomeve të avulluara.Konvertimi i energjisë i atomeve të spërkatura me energji të lartë të depozituara në substrat është shumë më i lartë se ai i atomeve të avulluara, gjë që gjeneron nxehtësi më të lartë dhe rrit ngjitjen midis atomeve të spërkatura dhe nënshtresës.Përveç kësaj, disa atome të spërkatura me energji të lartë prodhojnë shkallë të ndryshme injektimi, duke formuar një shtresë pseudodifuzioni në substrat.Përveç kësaj, substrati pastrohet dhe aktivizohet gjithmonë në rajonin e plazmës gjatë procesit të formimit të filmit, i cili heq atomet e spërkatjes me ngjitje të dobët dhe pastron dhe aktivizon sipërfaqen e nënshtresës.Prandaj, filmi i spërkatur ka ngjitje të fortë me nënshtresën.
③ Mund të përgatitet film i ri material i ndryshëm nga objektivi
Nëse gazi reaktiv futet gjatë spërkatjes për ta bërë atë të reagojë me objektivin, mund të merret një film i ri material krejtësisht i ndryshëm nga objektivi.Për shembull, silikoni përdoret si objektiv i spërkatjes, dhe oksigjeni dhe argoni futen së bashku në dhomën e vakumit.Pas spërkatjes, mund të merret film izolues SiOz.Duke përdorur titanin si objektiv të spërkatjes, azoti dhe argoni futen së bashku në dhomën e vakumit dhe filmi i ngjashëm me floririn në fazën TiN mund të merret pas spërkatjes.
④ Pastërti e lartë dhe cilësi e mirë e filmit
Meqënëse nuk ka asnjë përbërës të prerjes në pajisjen e përgatitjes së filmit për spërkatje, përbërësit e materialit të ngrohësit të enës nuk do të përzihen në shtresën e filmit të spërkatjes.Disavantazhet e veshjes me spërkatje janë se shpejtësia e formimit të filmit është më e ngadaltë se ajo e veshjes së avullimit, temperatura e nënshtresës është më e lartë, është e lehtë të ndikohet nga gazi i papastër dhe struktura e pajisjes është më komplekse.
Ky artikull është botuar nga Guangdong Zhenhua, një prodhues ipajisje për veshjen me vakum
Koha e postimit: Mar-09-2023