① גוט קאַנטראָולאַביליטי און רעפּעאַטאַביליטי פון פילם גרעב
צי די פילם גרעב קענען זיין קאַנטראָולד אין אַ פּרידיטערמינד ווערט איז גערופן פילם גרעב קאַנטראָולאַביליטי.די פארלאנגט פילם גרעב קענען זיין ריפּיטיד פֿאַר פילע מאל, וואָס איז גערופן פילם גרעב ריפּיטאַביליטי. ווייַל די אָפּזאָגן קראַנט און ציל קראַנט פון וואַקוום ספּוטערינג קאָוטינג קענען זיין קאַנטראָולד סעפּעראַטלי.דעריבער, די גרעב פון ספּאַטערד פילם איז קאַנטראָולאַבאַל, און די פילם מיט פּרידיטערמינד גרעב קענען זיין רילייאַבלי אַוועקגענומען.אין דערצו, די ספּאַטער קאָוטינג קענען באַקומען אַ פילם מיט מונדיר גרעב אויף אַ גרויס ייבערפלאַך.
② שטאַרק אַדכיזשאַן צווישן פילם און סאַבסטרייט
די ענערגיע פון ספּאַטערד אַטאָמס איז 1-2 אָרדערס פון מאַגנאַטוד העכער ווי אַז פון יוואַפּערייטיד אַטאָמס.די ענערגיע קאַנווערזשאַן פון די הויך-ענערגיע ספּאַטערד אַטאָמס דאַפּאַזיטיד אויף די סאַבסטרייט איז פיל העכער ווי אַז פון די יוואַפּערייטיד אַטאָמס, וואָס דזשענערייץ העכער היץ און ענכאַנסיז די אַדכיזשאַן צווישן די ספּאַטערד אַטאָמס און די סאַבסטרייט.אין דערצו, עטלעכע הויך-ענערגיע ספּאַטערד אַטאָמס פּראָדוצירן פאַרשידענע ינדזשעקשאַן דיגריז, פאָרמינג אַ פּסעודאָדיפפוסיאָן שיכטע אויף די סאַבסטרייט.אין אַדישאַן, די סאַבסטרייט איז שטענדיק קלינד און אַקטיווייטיד אין די פּלאַזמע געגנט בעשאַס די פילם פאָרמינג פּראָצעס, וואָס רימוווז די ספּאַטערינג אַטאָמס מיט שוואַך אַדכיזשאַן, און פּיוראַפייז און אַקטאַווייץ די סאַבסטרייט ייבערפלאַך.דעריבער, די ספּאַטערד פילם האט שטאַרק אַדכיזשאַן צו די סאַבסטרייט.
③ ניו מאַטעריאַל פילם אַנדערש פון ציל קענען זיין צוגעגרייט
אויב ריאַקטיוו גאַז איז באַקענענ בעשאַס ספּאַטערינג צו מאַכן עס רעאַגירן מיט די ציל, אַ נייַ מאַטעריאַל פילם גאָר אַנדערש פון די ציל קענען זיין באקומען.פֿאַר בייַשפּיל, סיליציום איז געניצט ווי די ספּאַטערינג ציל, און זויערשטאָף און אַרגאָן זענען שטעלן אין די וואַקוום קאַמער צוזאַמען.נאָך ספּוטערינג, SiOz ינסאַלייטינג פילם קענען זיין באקומען.ניצן טיטאַניום ווי די ספּאַטערינג ציל, ניטראָגען און אַרגאָן זענען שטעלן אין די וואַקוום קאַמער צוזאַמען, און די פאַסע טין גאָלד-ווי פילם קענען זיין באקומען נאָך ספּוטערינג.
④ הויך ריינקייַט און גוט קוואַליטעט פון פילם
זינט עס איז קיין קרוסאַבאַל קאָמפּאָנענט אין די ספּוטערינג פילם צוגרייטונג מיטל, די קאַמפּאָונאַנץ פון די קרוסיבלע כיטער מאַטעריאַל וועט נישט זיין געמישט אין די ספּאַטערינג פילם שיכטע.די דיסאַדוואַנטידזשיז פון ספּאַטערינג קאָוטינג זענען אַז די פילם פאָרמינג גיכקייַט איז סלאָוער ווי אַז פון יוואַפּעריישאַן קאָוטינג, די סאַבסטרייט טעמפּעראַטור איז העכער, עס איז גרינג צו זיין אַפעקטאַד דורך טומע גאַז, און די סטרוקטור פון די מיטל איז מער קאָמפּליצירט.
דער אַרטיקל איז ארויס דורך גואַנגדאָנג זשענהואַ, אַ פאַבריקאַנט פוןוואַקוום קאָוטינג ויסריכט
פּאָסטן צייט: מערץ 09-2023