የሚረጭ ሽፋን ፊልሞች ባህሪያት

① የፊልም ውፍረት ጥሩ ቁጥጥር እና ተደጋጋሚነት

የፊልም ውፍረት አስቀድሞ በተወሰነ ዋጋ መቆጣጠር ይቻል እንደሆነ የፊልም ውፍረት መቆጣጠሪያ ይባላል።የሚፈለገው የፊልም ውፍረት ለብዙ ጊዜ ሊደገም ይችላል፣ይህም የፊልም ውፍረት ተደጋጋሚነት ይባላል።ምክንያቱም የቫኩም ስፑተርን ሽፋን የሚለቀቀውን የአሁኑን እና የዒላማውን ፍሰት ለየብቻ መቆጣጠር ይቻላል።ስለዚህ, የተረጨው ፊልም ውፍረት መቆጣጠር ይቻላል, እና አስቀድሞ የተወሰነ ውፍረት ያለው ፊልም በአስተማማኝ ሁኔታ ሊቀመጥ ይችላል.በተጨማሪም, የ sputter ሽፋን በትልቅ ወለል ላይ አንድ አይነት ውፍረት ያለው ፊልም ማግኘት ይችላል.

② በፊልም እና በንጥረ ነገሮች መካከል ጠንካራ ማጣበቅ

የተረጨ አተሞች ሃይል ከተነኑ አተሞች 1-2 ትዕዛዝ ከፍ ያለ ነው።በንጥረቱ ላይ የተቀመጡት ከፍተኛ ኃይል ያላቸው የተረፉ አተሞች የኢነርጂ ለውጥ ከተለቀቁት አተሞች በጣም ከፍ ያለ ሲሆን ይህም ከፍተኛ ሙቀትን ያመነጫል እና በተበተኑ አተሞች እና በንጥረ ነገሮች መካከል ያለውን ትስስር ያሻሽላል።በተጨማሪም, አንዳንድ ከፍተኛ-ኃይል sputtered አተሞች ወደ substrate ላይ pseudodiffusion ንብርብር በመፍጠር, መርፌ የተለያዩ ዲግሪ ለማምረት.በተጨማሪም, substrate ሁልጊዜ ochyschenye እና ፕላዝማ ክልል ውስጥ aktyvyzyruet ፊልሙ ሂደት ውስጥ, ደካማ ታደራለች ጋር sputtering አተሞች ያስወግደዋል, እና ያጸዳል እና substrate ወለል ገቢር.ስለዚህ, የተረጨው ፊልም በንጣፉ ላይ ጠንካራ ማጣበቂያ አለው.

③ ከዒላማው የተለየ አዲስ የቁስ ፊልም ሊዘጋጅ ይችላል።

ከዒላማው ጋር ምላሽ እንዲሰጥ በሚተፋበት ጊዜ ምላሽ ሰጪ ጋዝ ከገባ፣ ከዒላማው ፈጽሞ የተለየ አዲስ የቁስ ፊልም ማግኘት ይቻላል።ለምሳሌ፣ ሲሊከን እንደ መፈልፈያ ዒላማ ጥቅም ላይ ይውላል፣ እና ኦክስጅን እና አርጎን በአንድ ላይ ወደ ቫክዩም ክፍል ውስጥ ይቀመጣሉ።ከተረጨ በኋላ የሲኦዝ መከላከያ ፊልም ማግኘት ይቻላል.ቲታኒየምን እንደ መፈልፈያ ኢላማ በመጠቀም ናይትሮጅን እና አርጎን በአንድ ላይ ወደ ቫክዩም ቻምበር ውስጥ እንዲገቡ ይደረጋሉ እና የፋይል ቲን ወርቅ መሰል ፊልም ከተረጨ በኋላ ሊገኝ ይችላል።

④ ከፍተኛ ንፅህና እና ጥሩ የፊልም ጥራት

በሚተፋው የፊልም ዝግጅት መሳሪያ ውስጥ ምንም ዓይነት የከርሰ ምድር አካል ስለሌለ የሙቀቱ ማሞቂያ ቁሳቁስ ክፍሎች በተቀባው ፊልም ንብርብር ውስጥ አይቀላቀሉም.የ sputtering ሽፋን ጉዳቶች የፊልም መፈጠር ፍጥነት ከእንፋሎት ሽፋን የበለጠ ቀርፋፋ ነው ፣ የሙቀት መጠኑ ከፍ ያለ ነው ፣ በቆሻሻ ጋዝ በቀላሉ ሊነካ ይችላል ፣ እና የመሣሪያው መዋቅር የበለጠ የተወሳሰበ ነው።

ይህ ጽሑፍ በጓንግዶንግ ዠንዋ፣ በአምራቹ ታትሟልየቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች