① የፊልም ውፍረት ጥሩ ቁጥጥር እና ተደጋጋሚነት
የፊልሙ ውፍረት በተወሰነ እሴት ቁጥጥር ሊደረግበት ይችል እንደሆነ የፊልም ውፍረት መቆጣጠሪያ ይባላል። የሚፈለገው የፊልም ውፍረት ለብዙ ጊዜ ሊደገም ይችላል፣ ይህም የፊልም ውፍረት ተደጋጋሚነት ይባላል። ምክንያቱም የቫክዩም ስፑተር ሽፋን የሚወጣው ፈሳሽ ፍሰት እና የታለመው ፍሰት ለየብቻ ሊቆጣጠሩት ይችላሉ። ስለዚህ፣ የተተፋው ፊልም ውፍረት ቁጥጥር ሊደረግበት የሚችል ሲሆን፣ የተወሰነ ውፍረት ያለው ፊልም በአስተማማኝ ሁኔታ ሊቀመጥ ይችላል። በተጨማሪም፣ የስፑተር ሽፋን በትልቅ ወለል ላይ ወጥ የሆነ ውፍረት ያለው ፊልም ማግኘት ይችላል።
② በፊልም እና በንጣፍ መካከል ጠንካራ ማጣበቂያ
የተተፉ አቶሞች ኃይል ከተተፉ አቶሞች በ1-2 መጠን ከፍ ያለ ነው። በንጥረ ነገሩ ላይ የተቀመጡት ከፍተኛ ኃይል ያላቸው የተተፉ አቶሞች የኃይል ልወጣ ከተተፉ አቶሞች በጣም ከፍ ያለ ሲሆን ይህም ከፍተኛ ሙቀት ይፈጥራል እና በተተፉ አቶሞች እና በንጥረ ነገሩ መካከል ያለውን ማጣበቂያ ያሻሽላል። በተጨማሪም፣ አንዳንድ ከፍተኛ ኃይል ያላቸው የተተፉ አቶሞች የተለያዩ የመርፌ ደረጃዎችን ያመነጫሉ፣ በንጥረ ነገሩ ላይ የውሸት ስርጭት ንብርብር ይፈጥራሉ። በተጨማሪም፣ በፊልም መፍጠሪያ ሂደት ውስጥ በፕላዝማ ክልል ውስጥ ሁልጊዜ ይጸዳል እና ይነቃቃል፣ ይህም ደካማ ማጣበቂያ ያላቸውን የተተፉ አቶሞችን ያስወግዳል፣ እና የንጥረ ነገሩን ወለል ያጸዳል እና ያነቃቃል። ስለዚህ የተተፉ ፊልም ከንጥረ ነገሩ ጋር ጠንካራ ማጣበቂያ አለው።
③ ከዒላማው የተለየ አዲስ የቁሳቁስ ፊልም ሊዘጋጅ ይችላል
በመርጨት ወቅት ምላሽ ሰጪ ጋዝ ከዒላማው ጋር እንዲገናኝ ከተደረገ፣ ከዒላማው ፈጽሞ የተለየ አዲስ የቁስ ፊልም ማግኘት ይቻላል። ለምሳሌ፣ ሲሊኮን እንደ መርጨት ኢላማ ጥቅም ላይ ይውላል፣ እና ኦክስጅን እና አርጎን በአንድ ላይ ወደ ቫክዩም ክፍሉ ይገባሉ። ከተረጨ በኋላ፣ የSiOz መከላከያ ፊልም ማግኘት ይቻላል። ቲታኒየም እንደ መርጨት ኢላማ በመጠቀም፣ ናይትሮጅን እና አርጎን በአንድ ላይ ወደ ቫክዩም ክፍሉ ይገባሉ፣ እና ደረጃ TiN የወርቅ መሰል ፊልም ከተረጨ በኋላ ማግኘት ይቻላል።
④ ከፍተኛ ንፅህና እና ጥሩ የፊልም ጥራት
በስፖንተር ፊልም ዝግጅት መሳሪያ ውስጥ የክሩሲብል አካል ስለሌለ፣ የክሩሲብል ማሞቂያ ቁሳቁስ ክፍሎች በስፖንተር ፊልም ንብርብር ውስጥ አይቀላቀሉም። የስፑተር ሽፋን ጉዳቶች የፊልም መፍጠሪያ ፍጥነት ከትነት ሽፋን ያነሰ መሆኑ፣ የንጣፉ የሙቀት መጠን ከፍ ያለ መሆኑ፣ በቆሻሻ ጋዝ በቀላሉ ሊጎዳ የሚችል መሆኑ እና የመሳሪያው መዋቅር የበለጠ ውስብስብ መሆኑ ነው።
ይህ ጽሑፍ የታተመው በጓንግዶንግ ዠንሁዋ አምራች ነው።የቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎች
የፖስታ ሰዓት፡- ማርች-09-2023

