① फिल्मच्या जाडीवर चांगले नियंत्रण आणि पुनरावृत्तीक्षमता
फिल्मची जाडी एका पूर्वनिश्चित मूल्यावर नियंत्रित केली जाऊ शकते की नाही याला फिल्म जाडी नियंत्रणीयता म्हणतात. आवश्यक असलेली फिल्मची जाडी अनेक वेळा पुन्हा मिळवता येते, याला फिल्म जाडी पुनरावृत्तीक्षमता म्हणतात. कारण व्हॅक्यूम स्पटरिंग कोटिंगमधील डिस्चार्ज करंट आणि टार्गेट करंट स्वतंत्रपणे नियंत्रित केले जाऊ शकतात. त्यामुळे, स्पटर केलेल्या फिल्मची जाडी नियंत्रणीय असते आणि पूर्वनिश्चित जाडीची फिल्म विश्वसनीयपणे जमा केली जाऊ शकते. याव्यतिरिक्त, स्पटर कोटिंगद्वारे मोठ्या पृष्ठभागावर एकसमान जाडीची फिल्म मिळवता येते.
② फिल्म आणि सब्सट्रेटमध्ये मजबूत आसंजन
स्पटर केलेल्या अणूंची ऊर्जा बाष्पीभवन झालेल्या अणूंपेक्षा १-२ पटीने जास्त असते. सब्सट्रेटवर जमा झालेल्या उच्च-ऊर्जा स्पटर केलेल्या अणूंचे ऊर्जा रूपांतरण बाष्पीभवन झालेल्या अणूंपेक्षा खूप जास्त असते, ज्यामुळे जास्त उष्णता निर्माण होते आणि स्पटर केलेले अणू व सब्सट्रेट यांच्यातील आसंजन वाढते. याव्यतिरिक्त, काही उच्च-ऊर्जा स्पटर केलेले अणू वेगवेगळ्या प्रमाणात इंजेक्शन निर्माण करतात, ज्यामुळे सब्सट्रेटवर एक छद्म-प्रसरण थर (pseudodiffusion layer) तयार होतो. तसेच, फिल्म तयार करण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान प्लाझ्मा क्षेत्रात सब्सट्रेट नेहमी स्वच्छ आणि सक्रिय केले जाते, ज्यामुळे कमी आसंजन असलेले स्पटरिंग अणू काढून टाकले जातात आणि सब्सट्रेटचा पृष्ठभाग शुद्ध व सक्रिय होतो. त्यामुळे, स्पटर केलेल्या फिल्मचे सब्सट्रेटशी मजबूत आसंजन होते.
③ लक्ष्यापेक्षा वेगळ्या नवीन मटेरियल फिल्म तयार केली जाऊ शकते.
स्पटरिंग दरम्यान लक्ष्यासोबत (टारगेटसोबत) अभिक्रिया घडवण्यासाठी जर अभिक्रियाशील वायू आत सोडला, तर लक्ष्यापेक्षा पूर्णपणे वेगळ्या नवीन पदार्थाची फिल्म मिळवता येते. उदाहरणार्थ, सिलिकॉनचा स्पटरिंग लक्ष्य म्हणून वापर केला जातो आणि ऑक्सिजन व आर्गॉन वायू एकत्र व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये सोडले जातात. स्पटरिंगनंतर, SiOz इन्सुलेटिंग फिल्म मिळवता येते. टायटॅनियमचा स्पटरिंग लक्ष्य म्हणून वापर करून, नायट्रोजन आणि आर्गॉन वायू एकत्र व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये सोडले जातात आणि स्पटरिंगनंतर TiN फेजची सोन्यासारखी फिल्म मिळवता येते.
④ फिल्मची उच्च शुद्धता आणि उत्तम गुणवत्ता
स्पटरिंग फिल्म तयार करण्याच्या उपकरणात क्रुसिबलचा घटक नसल्यामुळे, क्रुसिबल हीटरच्या पदार्थाचे घटक स्पटरिंग फिल्मच्या थरात मिसळत नाहीत. स्पटरिंग कोटिंगचे तोटे असे आहेत की, फिल्म तयार होण्याचा वेग इव्हॅपोरेशन कोटिंगपेक्षा कमी असतो, सब्सट्रेटचे तापमान जास्त असते, अशुद्ध वायूमुळे त्यावर सहज परिणाम होतो आणि उपकरणाची रचना अधिक गुंतागुंतीची असते.
हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ या उत्पादकाने प्रकाशित केला आहे.व्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणे
पोस्ट करण्याची वेळ: ०९-मार्च-२०२३