① ਚੰਗੀ ਨਿਯੰਤਰਣਯੋਗਤਾ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਦੀ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ
ਕੀ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਇੱਕ ਪੂਰਵ-ਨਿਰਧਾਰਤ ਮੁੱਲ 'ਤੇ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਨੂੰ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਕੰਟਰੋਲੇਬਿਲਟੀ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਲੋੜੀਂਦੀ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਕਈ ਵਾਰ ਦੁਹਰਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨੂੰ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਕਿਉਂਕਿ ਵੈਕਿਊਮ ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਡਿਸਚਾਰਜ ਕਰੰਟ ਅਤੇ ਟਾਰਗੇਟ ਕਰੰਟ ਨੂੰ ਵੱਖਰੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੰਟਰੋਲ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।ਇਸ ਲਈ, ਸਪਟਰਡ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਨਿਯੰਤਰਣਯੋਗ ਹੈ, ਅਤੇ ਪੂਰਵ-ਨਿਰਧਾਰਤ ਮੋਟਾਈ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਨੂੰ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਢੰਗ ਨਾਲ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸਪਟਰ ਕੋਟਿੰਗ ਇੱਕ ਵੱਡੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇਕਸਾਰ ਮੋਟਾਈ ਵਾਲੀ ਇੱਕ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।
② ਫਿਲਮ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਮਜ਼ਬੂਤ ਅਸਥਾਨ
ਸਪਟਰ ਕੀਤੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੀ ਊਰਜਾ ਭਾਫ਼ ਵਾਲੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨਾਲੋਂ 1-2 ਆਰਡਰ ਦੀ ਤੀਬਰਤਾ ਵੱਧ ਹੈ।ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਸਪਟਰਡ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦਾ ਊਰਜਾ ਪਰਿਵਰਤਨ ਭਾਫ਼ ਵਾਲੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨਾਲੋਂ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਉੱਚੀ ਤਾਪ ਪੈਦਾ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਸਪਟਰ ਕੀਤੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਚਿਪਕਣ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ।ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਕੁਝ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਪਰਮਾਣੂ ਟੀਕੇ ਦੀਆਂ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਡਿਗਰੀਆਂ ਪੈਦਾ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਇੱਕ ਸੂਡੋਡਿਫਿਊਜ਼ਨ ਪਰਤ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਘਟਾਓਣਾ ਨੂੰ ਹਮੇਸ਼ਾ ਸਾਫ਼ ਅਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਮਜ਼ੋਰ ਅਡਿਸ਼ਨ ਦੇ ਨਾਲ ਸਪਟਰਿੰਗ ਪਰਮਾਣੂ ਨੂੰ ਹਟਾ ਦਿੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ ਨੂੰ ਸ਼ੁੱਧ ਅਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਕਰਦਾ ਹੈ।ਇਸ ਲਈ, ਸਪਟਰਡ ਫਿਲਮ ਦਾ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨਾਲ ਮਜ਼ਬੂਤ ਅਸਥਾਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ.
③ ਟੀਚੇ ਤੋਂ ਵੱਖਰੀ ਨਵੀਂ ਸਮੱਗਰੀ ਫਿਲਮ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ
ਜੇਕਰ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸ ਨੂੰ ਟੀਚੇ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਨ ਲਈ ਪੇਸ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਟੀਚੇ ਤੋਂ ਬਿਲਕੁਲ ਵੱਖਰੀ ਇੱਕ ਨਵੀਂ ਸਮੱਗਰੀ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ।ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਸਿਲਿਕਨ ਨੂੰ ਸਪਟਰਿੰਗ ਟੀਚੇ ਵਜੋਂ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਆਕਸੀਜਨ ਅਤੇ ਆਰਗਨ ਨੂੰ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਇਕੱਠੇ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਸਪਟਰਿੰਗ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਸਿਓਜ਼ ਇਨਸੁਲੇਟਿੰਗ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ.ਸਪਟਰਿੰਗ ਟੀਚੇ ਵਜੋਂ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਅਤੇ ਆਰਗਨ ਨੂੰ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਇਕੱਠੇ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਪੜਾਅ TiN ਸੋਨੇ ਵਰਗੀ ਫਿਲਮ ਸਪਟਰਿੰਗ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ।
④ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਦੀ ਚੰਗੀ ਗੁਣਵੱਤਾ
ਕਿਉਂਕਿ ਸਪਟਰਿੰਗ ਫਿਲਮ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਯੰਤਰ ਵਿੱਚ ਕੋਈ ਕਰੂਸੀਬਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਕ੍ਰੂਸੀਬਲ ਹੀਟਰ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਭਾਗਾਂ ਨੂੰ ਸਪਟਰਿੰਗ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਵਿੱਚ ਨਹੀਂ ਮਿਲਾਇਆ ਜਾਵੇਗਾ।ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਇਹ ਹਨ ਕਿ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਗਤੀ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੋਟਿੰਗ ਨਾਲੋਂ ਹੌਲੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਵੱਧ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਸ਼ੁੱਧ ਗੈਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੋਣਾ ਆਸਾਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਡਿਵਾਈਸ ਬਣਤਰ ਵਧੇਰੇ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
ਇਹ ਲੇਖ Guangdong Zhenhua, ਦੇ ਇੱਕ ਨਿਰਮਾਤਾ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈਵੈਕਿਊਮ ਪਰਤ ਉਪਕਰਣ
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਮਾਰਚ-09-2023