① Kyakkyawan sarrafawa da kuma sake maimaita kauri na fim
Ko za a iya sarrafa kauri fim ɗin a ƙimar da aka ƙayyade ana kiransa da ikon sarrafa kauri fim ɗin. Ana iya maimaita kauri fim ɗin da ake buƙata sau da yawa, wanda ake kira maimaituwa da kauri fim ɗin. Domin ana iya sarrafa kwararar fitarwa da kuma kwararar manufa ta murfin sputtering na injin daban. Saboda haka, ana iya sarrafa kauri na fim ɗin sputter, kuma ana iya ajiye fim ɗin da kauri da aka ƙayyade da aminci. Bugu da ƙari, murfin sputter zai iya samun fim mai kauri iri ɗaya a kan babban saman.
② Mannewa mai ƙarfi tsakanin fim da substrate
Ƙarfin ƙwayoyin zarra masu fitar da iska ya fi girma sau 1-2 fiye da na ƙwayoyin zarra masu fitar da iska. Juyawar makamashin ƙwayoyin zarra masu fitar da iska mai ƙarfi da aka ajiye a kan ƙwayar zarra ya fi na ƙwayoyin zarra masu fitar da iska, wanda ke haifar da zafi mai yawa kuma yana haɓaka mannewa tsakanin ƙwayoyin zarra masu fitar da iska da kuma ƙwayar zarra. Bugu da ƙari, wasu ƙwayoyin zarra masu fitar da iska mai ƙarfi suna samar da matakai daban-daban na allura, suna samar da layin pseudodiffusion akan ƙwayar zarra. Bugu da ƙari, ana tsaftace ƙwayar zarra koyaushe kuma ana kunna ta a yankin plasma yayin aikin samar da fim, wanda ke cire ƙwayoyin zarra masu fitar da iska mai rauni, kuma yana tsarkakewa da kunna saman ƙwayar zarra. Saboda haka, fim ɗin da aka fitar yana da mannewa mai ƙarfi ga ƙwayar zarra.
③ Ana iya shirya sabon fim ɗin kayan da ya bambanta da manufa
Idan aka shigar da iskar gas mai amsawa yayin fesawa don ya yi aiki da abin da aka nufa, za a iya samun sabon fim ɗin abu wanda ya bambanta da abin da aka nufa. Misali, ana amfani da silicon a matsayin abin da ake nufawa na fesawa, kuma ana saka iskar oxygen da argon a cikin ɗakin fesawa tare. Bayan fesawa, ana iya samun fim ɗin rufe SiOz. Ta amfani da titanium a matsayin abin da ake nufawa na fesawa, ana saka nitrogen da argon a cikin ɗakin fesawa tare, kuma ana iya samun fim ɗin TiN mai kama da zinare bayan fesawa.
④ Tsarkakakken fim da ingancinsa mai kyau
Tunda babu wani abu mai kama da na'urar shirya fim ɗin, ba za a haɗa abubuwan da ke cikin kayan dumama bututun ba a cikin layin fim ɗin. Rashin kyawun murfin bututun shine saurin samar da fim ɗin ya fi na murfin ƙafewa ƙasa, zafin substrate ya fi girma, iskar ƙazanta tana da sauƙin shafar ta, kuma tsarin na'urar ya fi rikitarwa.
An buga wannan labarin ne daga Guangdong Zhenhua, wani kamfanin kera na'urorinkayan aikin shafa injin
Lokacin Saƙo: Maris-09-2023