① Ezigbo njikwa na repeatability nke ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri
A na-akpọ ma ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ ọ ga-ekwe omume ịchịkwa ya na uru a kara aka, njikwa ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ. Enwere ike imegharị ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ ugboro ugboro, nke a na-akpọkwa mgbanwe ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ. N'ihi na enwere ike ijikwa ugbu a na-agbapụta na ugbu a na-agbapụta nke mkpuchi oghere dị iche iche. Ya mere, a na-achịkwa ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri ahụ a gbapụrụ agbahapụ, a pụkwara itinye ihe nkiri ahụ nwere ọkpụrụkpụ a kara aka n'ụzọ a pụrụ ịtụkwasị obi. Na mgbakwunye, mkpuchi sputter ahụ nwere ike nweta ihe nkiri nwere ọkpụrụkpụ otu n'elu nnukwu elu.
② Ike njikọta n'etiti ihe nkiri na ihe mkpuchi
Ike nke atọm ndị a gbapụrụ agbapụ dị oke elu karịa nke atọm ndị a gbapụrụ agbapụ. Mgbanwe ike nke atọm ndị a gbapụrụ agbapụ dị elu karịa nke atọm ndị a gbapụrụ agbapụ, nke na-emepụta okpomọkụ dị elu ma na-eme ka nrapado dị n'etiti atọm ndị a gbapụrụ agbapụ na ihe ndị a gbapụrụ agbapụ dịkwuo mma. Na mgbakwunye, ụfọdụ atọm ndị a gbapụrụ agbapụ dị elu na-emepụta ogo dị iche iche nke ntụtụ, na-emepụta oyi akwa pseudodiffusion na ihe ndị a gbapụrụ agbapụ. Na mgbakwunye, a na-ehicha ma na-arụ ọrụ ihe ndị a mgbe niile na mpaghara plasma n'oge usoro nhazi ihe nkiri ahụ, nke na-ewepụ atọm ndị a gbapụrụ agbapụ na njikọ na-adịghị ike, ma na-eme ka elu ihe ndị a gbapụrụ agbapụ dị ọcha ma na-eme ka ọ rụọ ọrụ. Ya mere, ihe nkiri ahụ a gbapụrụ agbapụ nwere nrapado siri ike na ihe ndị a gbapụrụ agbapụ.
③ Enwere ike ịkwadebe ihe nkiri ihe ọhụrụ dị iche na ebumnuche
Ọ bụrụ na e tinye gas na-emegharị ahụ n'oge a na-agbapụta mmiri iji mee ka ọ meghachi omume na ihe a na-agbapụta mmiri, enwere ike nweta ihe mkpuchi ihe ọhụrụ dị iche na ihe a na-agbapụta mmiri. Dịka ọmụmaatụ, a na-eji silicon eme ihe dị ka ihe a na-agbapụta mmiri, a na-etinyekwa oxygen na argon n'ime ụlọ ikuku ahụ ọnụ. Mgbe a gbapụtasịrị mmiri ahụ, a pụrụ inweta ihe mkpuchi SiOz. Site na iji titanium dị ka ihe a na-agbapụta mmiri, a na-etinye nitrogen na argon n'ime ụlọ ikuku ahụ ọnụ, a pụkwara inweta ihe mkpuchi TiN dị ka ọlaedo mgbe a gbapụtasịrị mmiri ahụ.
④ Ịdị ọcha dị elu na ezigbo mma nke ihe nkiri
Ebe ọ bụ na ọ dịghị ihe dị mkpa n'ime ihe eji eme ihe nkiri ahụ, a gaghị agwakọta ihe ndị dị na ihe na-ekpo ọkụ n'ime oyi akwa ihe nkiri ahụ. Ihe ọghọm nke mkpuchi ahụ bụ na ọsọ nke ihe nkiri ahụ dị nwayọ karịa nke mkpuchi ikuku, okpomọkụ nke substrate dị elu, ọ dị mfe ịnweta gas na-adịghị ọcha, na nhazi ngwaọrụ ahụ dị mgbagwoju anya karị.
Guangdong Zhenhua, onye na-emepụta ihe na-ebipụta akụkọ aakụrụngwa mkpuchi agụụ
Oge ozi: Maachị-09-2023