Sifa za filamu za mipako ya kunyunyizia

① Udhibiti mzuri na uimara wa unene wa filamu

Ikiwa unene wa filamu unaweza kudhibitiwa kwa thamani iliyopangwa mapema inaitwa udhibiti wa unene wa filamu. Unene unaohitajika wa filamu unaweza kurudiwa mara nyingi, ambayo huitwa kurudiwa kwa unene wa filamu. Kwa sababu mkondo wa kutokwa na mkondo lengwa wa mipako ya kunyunyizia utupu unaweza kudhibitiwa kando. Kwa hivyo, unene wa filamu iliyonyunyiziwa unaweza kudhibitiwa, na filamu yenye unene uliopangwa mapema inaweza kuwekwa kwa uaminifu. Kwa kuongezea, mipako ya kunyunyizia inaweza kupata filamu yenye unene sawa kwenye uso mkubwa.

② Mshikamano mkubwa kati ya filamu na substrate

Nishati ya atomi zilizomwagika ni ya kiwango cha juu kwa 1-2 kuliko ile ya atomi zilizomwagika. Ubadilishaji wa nishati wa atomi zilizomwagika zenye nishati nyingi zilizowekwa kwenye substrate ni mkubwa zaidi kuliko ule wa atomi zilizomwagika, ambao hutoa joto la juu na huongeza mshikamano kati ya atomi zilizomwagika na substrate. Kwa kuongezea, baadhi ya atomi zilizomwagika zenye nishati nyingi hutoa viwango tofauti vya sindano, na kutengeneza safu ya pseudodiffusion kwenye substrate. Kwa kuongezea, substrate husafishwa na kuamilishwa kila wakati katika eneo la plasma wakati wa mchakato wa kutengeneza filamu, ambayo huondoa atomi zinazomwagika kwa mshikamano dhaifu, na husafisha na kuamilisha uso wa substrate. Kwa hivyo, filamu iliyomwagika ina mshikamano mkubwa kwenye substrate.

③ Filamu mpya ya nyenzo tofauti na ile inayolengwa inaweza kutayarishwa

Ikiwa gesi tendaji itaingizwa wakati wa kunyunyizia ili kuifanya iguse na shabaha, filamu mpya ya nyenzo tofauti kabisa na shabaha inaweza kupatikana. Kwa mfano, silicon hutumika kama shabaha ya kunyunyizia, na oksijeni na argon huwekwa kwenye chumba cha utupu pamoja. Baada ya kunyunyizia, filamu ya kuhami ya SiOz inaweza kupatikana. Kwa kutumia titani kama shabaha ya kunyunyizia, nitrojeni na argon huwekwa kwenye chumba cha utupu pamoja, na filamu ya awamu ya TiN inayofanana na dhahabu inaweza kupatikana baada ya kunyunyizia.

④ Usafi wa hali ya juu na ubora mzuri wa filamu

Kwa kuwa hakuna sehemu inayoweza kuchomwa kwenye kifaa cha kuandaa filamu ya kunyunyizia, vipengele vya nyenzo ya hita ya kunyunyizia havitachanganywa kwenye safu ya filamu ya kunyunyizia. Ubaya wa mipako ya kunyunyizia ni kwamba kasi ya kutengeneza filamu ni polepole kuliko ile ya mipako ya uvukizi, halijoto ya substrate ni ya juu, ni rahisi kuathiriwa na gesi ya uchafu, na muundo wa kifaa ni mgumu zaidi.

Makala hii imechapishwa na Guangdong Zhenhua, mtengenezaji wavifaa vya mipako ya utupu