① Khả năng kiểm soát và độ lặp lại tốt của độ dày màng phim
Khả năng kiểm soát độ dày màng ở một giá trị định trước được gọi là khả năng kiểm soát độ dày màng. Độ dày màng yêu cầu có thể được lặp lại nhiều lần, điều này được gọi là khả năng lặp lại độ dày màng. Bởi vì dòng điện phóng và dòng điện mục tiêu của quá trình phủ màng bằng phương pháp phún xạ chân không có thể được điều khiển riêng biệt. Do đó, độ dày của màng phún xạ có thể được kiểm soát, và màng có độ dày định trước có thể được lắng đọng một cách đáng tin cậy. Ngoài ra, phương pháp phủ màng bằng phún xạ có thể thu được một lớp màng có độ dày đồng nhất trên một diện tích lớn.
② Độ bám dính cao giữa màng phim và chất nền
Năng lượng của các nguyên tử bắn phá cao hơn từ 1 đến 2 bậc độ lớn so với năng lượng của các nguyên tử bay hơi. Sự chuyển đổi năng lượng của các nguyên tử bắn phá năng lượng cao được lắng đọng trên chất nền cao hơn nhiều so với các nguyên tử bay hơi, điều này tạo ra nhiệt lượng cao hơn và tăng cường độ bám dính giữa các nguyên tử bắn phá và chất nền. Ngoài ra, một số nguyên tử bắn phá năng lượng cao tạo ra các mức độ tiêm khác nhau, hình thành một lớp khuếch tán giả trên chất nền. Thêm vào đó, chất nền luôn được làm sạch và hoạt hóa trong vùng plasma trong quá trình tạo màng, giúp loại bỏ các nguyên tử bắn phá có độ bám dính yếu, đồng thời làm sạch và hoạt hóa bề mặt chất nền. Do đó, màng bắn phá có độ bám dính mạnh với chất nền.
③ Có thể chuẩn bị màng vật liệu mới khác với mục tiêu.
Nếu đưa khí phản ứng vào trong quá trình phún xạ để tạo phản ứng với vật liệu đích, có thể thu được một lớp màng vật liệu mới hoàn toàn khác với vật liệu đích. Ví dụ, sử dụng silicon làm vật liệu đích phún xạ, và cho oxy và argon vào buồng chân không cùng nhau. Sau khi phún xạ, có thể thu được màng cách điện SiOz. Sử dụng titan làm vật liệu đích phún xạ, cho nitơ và argon vào buồng chân không cùng nhau, và có thể thu được màng TiN có cấu trúc giống vàng sau khi phún xạ.
④ Độ tinh khiết cao và chất lượng phim tốt
Do thiết bị chuẩn bị màng bằng phương pháp lắng đọng phún xạ không có bộ phận nồi nung, nên các thành phần của vật liệu gia nhiệt nồi nung sẽ không bị lẫn vào lớp màng phún xạ. Nhược điểm của phương pháp phủ phún xạ là tốc độ tạo màng chậm hơn so với phương pháp phủ bay hơi, nhiệt độ chất nền cao hơn, dễ bị ảnh hưởng bởi khí tạp chất và cấu trúc thiết bị phức tạp hơn.
Bài viết này được xuất bản bởi Guangdong Zhenhua, một nhà sản xuất củathiết bị phủ chân không
Thời gian đăng bài: 09/03/2023