① Film qalinligining yaxshi boshqarilishi va takrorlanishi
Plyonka qalinligini oldindan belgilangan qiymatda boshqarish mumkinmi yoki yo'qmi, bu plyonka qalinligini boshqarish deb ataladi. Kerakli plyonka qalinligini ko'p marta takrorlash mumkin, bu plyonka qalinligini takrorlash deb ataladi. Chunki vakuumli purkash qoplamasining chiqarish oqimi va maqsadli oqimi alohida boshqarilishi mumkin. Shuning uchun purkalgan plyonkaning qalinligi boshqarilishi mumkin va oldindan belgilangan qalinlikdagi plyonka ishonchli tarzda qo'yilishi mumkin. Bundan tashqari, purkash qoplamasi katta sirtda bir xil qalinlikdagi plyonka olishi mumkin.
② Film va substrat o'rtasida kuchli yopishish
Puflagan atomlarning energiyasi bug'langan atomlarnikidan 1-2 daraja yuqori. Substratga joylashtirilgan yuqori energiyali puflagan atomlarning energiya konversiyasi bug'langan atomlarnikidan ancha yuqori, bu esa yuqori issiqlik hosil qiladi va puflagan atomlar va substrat o'rtasidagi yopishishni kuchaytiradi. Bundan tashqari, ba'zi yuqori energiyali puflagan atomlar turli darajadagi in'ektsiyani hosil qiladi va substratda psevdodiffuziya qatlamini hosil qiladi. Bundan tashqari, plyonka hosil qilish jarayonida substrat har doim plazma mintaqasida tozalanadi va faollashadi, bu esa zaif yopishishga ega puflagan atomlarni olib tashlaydi va substrat yuzasini tozalaydi va faollashtiradi. Shuning uchun, puflagan plyonka substratga kuchli yopishishga ega.
③ Nishondan farqli yangi material plyonkasini tayyorlash mumkin
Agar purkash paytida reaktiv gaz kiritilib, uni nishon bilan reaksiyaga kirishtirsa, nishondan butunlay farq qiladigan yangi material plyonkasi olinishi mumkin. Masalan, purkash nishoni sifatida kremniy ishlatiladi va kislorod va argon vakuum kamerasiga birgalikda qo'yiladi. Puflagandan so'ng, SiOz izolyatsion plyonkasi olinishi mumkin. Titanni purkash nishoni sifatida ishlatib, azot va argon vakuum kamerasiga birgalikda qo'yiladi va purkagandan so'ng fazali TiN oltinga o'xshash plyonkasi olinishi mumkin.
④ Yuqori soflik va plyonkaning yaxshi sifati
Purkash plyonkasini tayyorlash moslamasida tigel komponenti yo'qligi sababli, tigel isitgich materialining tarkibiy qismlari purkash plyonka qatlamida aralashtirilmaydi. Purkash qoplamasining kamchiliklari shundaki, plyonka hosil bo'lish tezligi bug'lanish qoplamasiga qaraganda sekinroq, substrat harorati yuqoriroq, aralashma gazining ta'siriga oson tushadi va qurilma tuzilishi murakkabroq.
Ushbu maqola ishlab chiqaruvchi Guangdong Zhenhua tomonidan nashr etilganvakuumli qoplama uskunalari
Nashr vaqti: 2023-yil 9-mart