① Қобилияти хуби идоракунӣ ва такроршавандагии ғафсии филм
Оё ғафсии плёнкаро дар арзиши пешакӣ муайяншуда назорат кардан мумкин аст, ки ин қобилияти идорашавандагии ғафсии плёнка номида мешавад. Ғафсии зарурии плёнкаро метавон чандин маротиба такрор кард, ки инро такроршавандагии ғафсии плёнка меноманд. Зеро ҷараёни холӣ ва ҷараёни мақсадноки рӯйпӯши пошидани вакуумӣ алоҳида идора карда мешаванд. Аз ин рӯ, ғафсии плёнкаи пошидашуда идорашаванда аст ва плёнка бо ғафсии пешакӣ муайяншуда метавонад боэътимод гузошта шавад. Илова бар ин, рӯйпӯши пошида метавонад плёнкаеро бо ғафсии якхела дар сатҳи калон ба даст орад.
② Часпиши қавӣ байни плёнка ва субстрат
Энергияи атомҳои пошидашуда нисбат ба атомҳои бухоршуда 1-2 дараҷа зиёдтар аст. Табдилёбии энергияи атомҳои пошидашудаи энергияи баланд, ки дар зеризамин ҷойгир шудаанд, нисбат ба атомҳои бухоршуда хеле баландтар аст, ки гармии баландтарро ба вуҷуд меорад ва часпиши байни атомҳои пошидашуда ва зеризаминро афзоиш медиҳад. Илова бар ин, баъзе атомҳои пошидашудаи энергияи баланд дараҷаҳои гуногуни тазриқро ба вуҷуд меоранд ва қабати псевдодиффузияро дар зеризамин ташкил медиҳанд. Илова бар ин, зеризамин ҳамеша дар минтақаи плазма тоза ва фаъол мешавад, ки атомҳои пошидашударо бо часпиши заиф хориҷ мекунад ва сатҳи зеризаминиро тоза ва фаъол мекунад. Аз ин рӯ, зеризаминии пошидашуда ба зеризамин часпиши қавӣ дорад.
③ Плёнкаи маводи нав, ки аз ҳадаф фарқ мекунад, метавонад омода карда шавад
Агар ҳангоми пошидан гази реактивӣ ворид карда шавад, то он бо ҳадаф реаксия кунад, плёнкаи нави маводи аз ҳадаф комилан фарқкунанда ба даст оварда мешавад. Масалан, кремний ҳамчун ҳадафи пошидан истифода мешавад ва оксиген ва аргон якҷоя ба камераи вакуумӣ гузошта мешаванд. Пас аз пошидан, плёнкаи изолятсионии SiOz ба даст оварда мешавад. Бо истифода аз титан ҳамчун ҳадафи пошидан, нитроген ва аргон якҷоя ба камераи вакуумӣ гузошта мешаванд ва пас аз пошидан плёнкаи тилломонанди фазаи TiN ба даст оварда мешавад.
④ Покӣ ва сифати баланди филм
Азбаски дар дастгоҳи тайёр кардани плёнкаи пошиданӣ ҷузъи тигель мавҷуд нест, ҷузъҳои маводи гармкунаки тигель дар қабати плёнкаи пошиданӣ омехта намешаванд. Камбудиҳои рӯйпӯши пошиданӣ дар он аст, ки суръати ташаккули плёнка нисбат ба рӯйпӯши бухоршавӣ сусттар аст, ҳарорати субстрат баландтар аст, ба осонӣ аз гази ифлосӣ таъсир мерасонад ва сохтори дастгоҳ мураккабтар аст.
Ин мақола аз ҷониби ширкати Guangdong Zhenhua, истеҳсолкунанда нашр шудааст.таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ
Вақти нашр: 09 марти соли 2023