Nā ʻano o nā kiʻiʻoniʻoni uhi sputtering

① Maikaʻi ka hoʻokele a me ka hana hou ʻana o ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni

Inā hiki ke hoʻomalu ʻia ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni ma kahi waiwai i hoʻoholo mua ʻia ua kapa ʻia ʻo ia ka mana o ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni. Hiki ke hana hou ʻia ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni i koi ʻia no nā manawa he nui, ʻo ia hoʻi ka hana hou ʻana o ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni. No ka mea, hiki ke hoʻomalu ʻokoʻa ʻia ke au hoʻokuʻu a me ke au i manaʻo ʻia o ka uhi ʻana o ka vacuum sputtering. No laila, hiki ke hoʻomalu ʻia ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni sputtered, a hiki ke waiho pono ʻia ke kiʻiʻoniʻoni me ka mānoanoa i hoʻoholo mua ʻia. Eia kekahi, hiki i ka uhi ʻana o ka sputter ke loaʻa i kahi kiʻiʻoniʻoni me ka mānoanoa like ma kahi ʻili nui.

② Hoʻopili ikaika ma waena o ke kiʻiʻoniʻoni a me ka substrate

ʻOi aku ka nui o ka ikehu o nā ʻātoma sputtered ma mua o nā ʻātoma evaporated. ʻOi aku ka nui o ka hoʻololi ʻana o ka ikehu o nā ʻātoma sputtered ikehu kiʻekiʻe i waiho ʻia ma luna o ka substrate ma mua o nā ʻātoma evaporated, kahi e hoʻoulu ai i ka wela kiʻekiʻe a hoʻonui i ka hoʻopili ʻana ma waena o nā ʻātoma sputtered a me ka substrate. Eia kekahi, hana kekahi mau ʻātoma sputtered ikehu kiʻekiʻe i nā kekelē like ʻole o ka injection, e hana ana i kahi papa pseudodiffusion ma ka substrate. Eia kekahi, hoʻomaʻemaʻe mau ʻia a hoʻāla ʻia ka substrate ma ka ʻāpana plasma i ka wā o ke kaʻina hana kiʻiʻoniʻoni, kahi e wehe ai i nā ʻātoma sputtering me ka hoʻopili nāwaliwali, a hoʻomaʻemaʻe a hoʻāla i ka ʻili substrate. No laila, he paʻa ka hoʻopili ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni sputtered i ka substrate.

③ Hiki ke hoʻomākaukau ʻia kahi kiʻiʻoniʻoni mea hou ʻokoʻa mai ka pahuhopu

Inā hoʻokomo ʻia ke kinoea reactive i ka wā o ka sputtering e hana ai me ka pahuhopu, hiki ke loaʻa kahi kiʻiʻoniʻoni mea hou i ʻokoʻa loa mai ka pahuhopu. No ka laʻana, hoʻohana ʻia ka silicon ma ke ʻano he pahuhopu sputtering, a hoʻokomo pū ʻia ka oxygen a me ka argon i loko o ke keʻena vacuum. Ma hope o ka sputtering, hiki ke loaʻa ka kiʻiʻoniʻoni insulating SiOz. Ma ka hoʻohana ʻana i ka titanium ma ke ʻano he pahuhopu sputtering, hoʻokomo pū ʻia ka nitrogen a me ka argon i loko o ke keʻena vacuum, a hiki ke loaʻa ka kiʻiʻoniʻoni like me ke gula TiN ma hope o ka sputtering.

④ Maʻemaʻe kiʻekiʻe a me ke ʻano maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni

ʻOiai ʻaʻohe ʻāpana ipu hoʻoheheʻe i loko o ka mea hoʻomākaukau kiʻiʻoniʻoni sputtering, ʻaʻole e hui pū ʻia nā ʻāpana o ka mea hoʻomehana ipu hoʻoheheʻe i loko o ka papa kiʻiʻoniʻoni sputtering. ʻO nā hemahema o ka uhi sputtering, ʻoi aku ka lohi o ka wikiwiki o ka hana ʻana i ka kiʻiʻoniʻoni ma mua o ka uhi evaporation, ʻoi aku ke kiʻekiʻe o ka mahana o ka substrate, maʻalahi ke hoʻopilikia ʻia e ke kinoea haumia, a ʻoi aku ka paʻakikī o ke ʻano o ka mea hana.

Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala e Guangdong Zhenhua, kahi mea hana onā lako hana uhi vacuum