ลักษณะเฉพาะของฟิล์มเคลือบสปัตเตอริง

① ควบคุมความหนาของฟิล์มได้ดีและทำซ้ำได้

สามารถควบคุมความหนาของฟิล์มได้ตามค่าที่กำหนดไว้หรือไม่ เรียกว่า ความสามารถในการควบคุมความหนาของฟิล์มความหนาของฟิล์มที่ต้องการสามารถทำซ้ำได้หลายครั้ง ซึ่งเรียกว่าความสามารถในการทำซ้ำความหนาของฟิล์ม เนื่องจากกระแสปล่อยและกระแสเป้าหมายของการเคลือบสปัตเตอริงแบบสุญญากาศสามารถควบคุมแยกกันได้ดังนั้นจึงสามารถควบคุมความหนาของฟิล์มสปัตเตอร์ได้ และฟิล์มที่มีความหนาที่กำหนดไว้ล่วงหน้าสามารถติดได้อย่างน่าเชื่อถือนอกจากนี้ การเคลือบสปัตเตอร์ยังได้ฟิล์มที่มีความหนาสม่ำเสมอบนพื้นผิวขนาดใหญ่

② การยึดเกาะที่แข็งแรงระหว่างฟิล์มและพื้นผิว

พลังงานของอะตอมที่สปัตเตอร์สูงกว่าพลังงานของอะตอมที่ระเหย 1-2 คำสั่งการแปลงพลังงานของอะตอมสปัตเตอร์พลังงานสูงที่สะสมบนซับสเตรตนั้นสูงกว่าอะตอมของสปัตเตอร์ที่ระเหยออกไปมาก ซึ่งสร้างความร้อนสูงกว่าและช่วยเพิ่มการยึดเกาะระหว่างอะตอมที่สปัตเตอร์กับซับสเตรตนอกจากนี้ อะตอมสปัตเตอริงพลังงานสูงบางชนิดยังสร้างระดับการฉีดที่แตกต่างกัน ก่อตัวเป็นชั้นเทียมปลอมบนซับสเตรตนอกจากนี้ สารตั้งต้นยังได้รับการทำความสะอาดและเปิดใช้งานอยู่เสมอในบริเวณพลาสมาในระหว่างกระบวนการขึ้นรูปฟิล์ม ซึ่งจะกำจัดอะตอมของสปัตเตอร์ที่มีการยึดเกาะที่อ่อนแอ และทำความสะอาดและกระตุ้นพื้นผิวของสารตั้งต้นดังนั้นฟิล์มสปัตเตอร์จึงยึดเกาะพื้นผิวได้ดี

③ สามารถเตรียมฟิล์มวัสดุใหม่ที่แตกต่างจากเป้าหมายได้

ถ้าก๊าซทำปฏิกิริยาถูกนำเข้ามาระหว่างการสปัตเตอร์เพื่อทำปฏิกิริยากับชิ้นงาน จะได้ฟิล์มวัสดุใหม่ที่แตกต่างจากชิ้นงานโดยสิ้นเชิงตัวอย่างเช่น ซิลิคอนถูกใช้เป็นเป้าหมายการสปัตเตอร์ และใส่ออกซิเจนและอาร์กอนเข้าไปในห้องสุญญากาศพร้อมกันหลังจากการสปัตเตอร์ จะได้ฟิล์มฉนวน SiOzการใช้ไททาเนียมเป็นเป้าหมายการสปัตเตอร์ ไนโตรเจนและอาร์กอนถูกใส่เข้าไปในห้องสุญญากาศด้วยกัน และจะได้ฟิล์มคล้ายทองคำของเฟส TiN หลังจากการสปัตเตอร์

④ ฟิล์มมีความบริสุทธิ์สูงและมีคุณภาพดี

เนื่องจากไม่มีส่วนประกอบของถ้วยใส่ตัวอย่างในอุปกรณ์เตรียมฟิล์มสปัตเตอร์ริ่ง ส่วนประกอบของวัสดุเครื่องทำความร้อนถ้วยใส่ตัวอย่างจะไม่ผสมในชั้นฟิล์มสปัตเตอร์ริ่งข้อเสียของการเคลือบแบบสปัตเตอริงคือความเร็วในการขึ้นรูปฟิล์มจะช้ากว่าการเคลือบแบบระเหย อุณหภูมิของพื้นผิวจะสูงกว่า ก๊าซที่ไม่บริสุทธิ์จะได้รับผลกระทบได้ง่าย และโครงสร้างอุปกรณ์จะซับซ้อนกว่า

บทความนี้เผยแพร่โดย Guangdong Zhenhua ผู้ผลิตอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ