ลักษณะของฟิล์มเคลือบแบบสปัตเตอร์ริ่ง

① สามารถควบคุมและกำหนดความหนาของฟิล์มได้อย่างแม่นยำและสม่ำเสมอ

ความสามารถในการควบคุมความหนาของฟิล์มให้คงที่ตามค่าที่กำหนดไว้เรียกว่า ความสามารถในการทำซ้ำความหนาของฟิล์ม ส่วนความสามารถในการทำซ้ำความหนาของฟิล์มได้นั้น สามารถควบคุมได้ซ้ำหลายครั้ง เนื่องจากกระแสไฟฟ้าในการปล่อยประจุและกระแสไฟฟ้าที่เป้าหมายของการเคลือบแบบสปัตเตอร์ในสุญญากาศ ดังนั้นความหนาของฟิล์มที่ได้จากการสปัตเตอร์จึงสามารถควบคุมได้ และสามารถสร้างฟิล์มที่มีความหนาตามที่กำหนดไว้ได้อย่างน่าเชื่อถือ นอกจากนี้ การเคลือบแบบสปัตเตอร์ยังสามารถสร้างฟิล์มที่มีความหนาสม่ำเสมอทั่วพื้นผิวขนาดใหญ่ได้อีกด้วย

② การยึดเกาะที่แข็งแรงระหว่างฟิล์มและพื้นผิว

พลังงานของอะตอมที่เกิดจากการสปัตเตอร์นั้นสูงกว่าพลังงานของอะตอมที่เกิดจากการระเหยถึง 1-2 เท่า การแปลงพลังงานของอะตอมพลังงานสูงที่เกิดจากการสปัตเตอร์และตกตะกอนบนพื้นผิวนั้นสูงกว่าอะตอมที่เกิดจากการระเหยมาก ซึ่งก่อให้เกิดความร้อนสูงกว่าและเพิ่มการยึดเกาะระหว่างอะตอมที่เกิดจากการสปัตเตอร์กับพื้นผิว นอกจากนี้ อะตอมพลังงานสูงบางส่วนที่เกิดจากการสปัตเตอร์จะทำให้เกิดการแทรกซึมในระดับต่างๆ กัน ก่อให้เกิดชั้นการแพร่กระจายเทียมบนพื้นผิว ยิ่งไปกว่านั้น พื้นผิวจะถูกทำความสะอาดและกระตุ้นในบริเวณพลาสมาในระหว่างกระบวนการขึ้นรูปฟิล์ม ซึ่งจะกำจัดอะตอมที่เกิดจากการสปัตเตอร์ที่มีการยึดเกาะอ่อน และทำให้พื้นผิวของวัสดุบริสุทธิ์และพร้อมใช้งาน ดังนั้น ฟิล์มที่ได้จากการสปัตเตอร์จึงมีการยึดเกาะที่แข็งแรงกับพื้นผิว

③ สามารถเตรียมฟิล์มวัสดุใหม่ที่แตกต่างจากเป้าหมายได้

หากมีการเติมก๊าซที่ทำปฏิกิริยาได้เข้าไปในระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์ เพื่อให้เกิดปฏิกิริยากับเป้าหมาย จะสามารถสร้างฟิล์มวัสดุใหม่ที่แตกต่างจากเป้าหมายได้อย่างสิ้นเชิง ตัวอย่างเช่น หากใช้ซิลิคอนเป็นเป้าหมายในการสปัตเตอร์ และใส่ก๊าซออกซิเจนและอาร์กอนเข้าไปในห้องสุญญากาศพร้อมกัน หลังจากสปัตเตอร์แล้วจะได้ฟิล์มฉนวน SiO2 หรือหากใช้ไทเทเนียมเป็นเป้าหมายในการสปัตเตอร์ และใส่ก๊าซไนโตรเจนและอาร์กอนเข้าไปในห้องสุญญากาศพร้อมกัน จะได้ฟิล์ม TiN ที่มีลักษณะคล้ายทองคำหลังจากสปัตเตอร์

④ ฟิล์มมีความบริสุทธิ์สูงและคุณภาพดี

เนื่องจากอุปกรณ์เตรียมฟิล์มแบบสปัตเตอร์ไม่มีส่วนประกอบของเบ้าหลอม ดังนั้นส่วนประกอบของวัสดุทำความร้อนเบ้าหลอมจึงจะไม่ผสมเข้าไปในชั้นฟิล์มแบบสปัตเตอร์ ข้อเสียของการเคลือบแบบสปัตเตอร์คือ ความเร็วในการสร้างฟิล์มช้ากว่าการเคลือบแบบระเหย อุณหภูมิของพื้นผิวสูงกว่า มีโอกาสได้รับผลกระทบจากก๊าซเจือปนได้ง่าย และโครงสร้างของอุปกรณ์ซับซ้อนกว่า

บทความนี้เผยแพร่โดยบริษัท Guangdong Zhenhua ผู้ผลิตสินค้าอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศ