① Kontrolkirin û dubarebûna qelewbûna fîlimê baş
Ma qalindahiya fîlimê dikare bi nirxek pêşwext were kontrol kirin, jê re tê gotin kontrolkirina stûrahiya fîlimê.Qûrahiya fîlimê ya pêdivî dikare gelek caran were dubare kirin, ku jê re dubarebûna qalindahiya fîlimê tê gotin. Ji ber ku tîrêjiya dakêşanê û heyama armancê ya pêlava şûştina valahiya dikare ji hev cuda were kontrol kirin.Ji ber vê yekê, qalindahiya fîlima rijandin tê kontrol kirin, û fîlima bi qalindahiya pêşwextkirî dikare bi pêbawer were razandin.Wekî din, pêlava sputter dikare li ser rûyek mezin fîlimek bi qalindahiya yekbûyî bistîne.
② Adhesionek xurt di navbera fîlim û substratê de
Enerjiya atomên rijandine 1-2 rêzik ji ya atomên hilkirî zêdetir e.Veguheztina enerjiyê ya atomên bi enerjiyê yên bilind ên ku li ser substratê hatine razandin ji ya atomên hilmikî pir zêdetir e, ku germahiya bilindtir çêdike û girêdana di navbera atomên şilbûyî û substratê de zêde dike.Digel vê yekê, hin atomên bi enerjiya bilind ên rijandin dereceyên cûda yên derzîlêdanê hilberînin, li ser substratê qatek pseudodiffuzyonê çê dikin.Digel vê yekê, substrat di pêvajoya çêkirina fîlimê de her gav li devera plazmayê tê paqij kirin û aktîf kirin, ku atomên şilandinê bi adhezyonek qels radike, û rûyê substratê paqij dike û çalak dike.Ji ber vê yekê, fîlima şilandî xwedan girêdanek xurt a bi substratê ye.
③ Fîlma materyalê ya nû ji armancê cûda dikare were amadekirin
Ger gaza reaktîf di dema rijandinê de were danîn da ku ew bi armancê re reaksiyonê çêbike, fîlimek materyalek nû ya ku bi tevahî ji armancê cûda ye were bidestxistin.Mînakî, silicon wekî armanca avêtinê tê bikar anîn, û oksîjen û argon bi hev re di hundurê odeya valahiya de têne danîn.Piştî şilandinê, fîlima insulasyona SiOz dikare were bidestxistin.Bi karanîna tîtanyûmê wekî mebesta avêtinê, nîtrojen û argon bi hev re di hundurê jûreya valahiya de têne danîn, û qonaxa TiN-a fîlima zêr-zêr dikare piştî rijandinê were bidestxistin.
④ Paqijiya bilind û qalîteya baş a fîlimê
Ji ber ku di cîhaza amadekirina fîlimê ya rijandinê de hêmanek xapînok tune ye, dê pêkhateyên maddeya germkerê ya xapînok di tebeqeya fîlimê de neyên tevlihev kirin.Dezawantajên xêzkirina rijandinê ev e ku leza çêkirina fîlimê ji ya pêlava evaporkirinê hêdîtir e, germahiya substratê bilindtir e, bandorkirina gaza nepaqijiyê hêsan e, û strukturê amûrê tevlihevtir e.
Ev gotar ji hêla Guangdong Zhenhua, hilberînerek ve hatî weşandinalavên valahiya nixumandinê
Dema şandinê: Mar-09-2023