① ఫిల్మ్ మందం యొక్క మంచి నియంత్రణ మరియు పునరావృత సామర్థ్యం
ఫిలిం మందాన్ని ముందుగా నిర్ణయించిన విలువతో నియంత్రించవచ్చా లేదా అనేది ఫిల్మ్ మందం నియంత్రణ అని పిలుస్తారు.అవసరమైన ఫిల్మ్ మందం చాలా సార్లు పునరావృతమవుతుంది, దీనిని ఫిల్మ్ మందం రిపీటబిలిటీ అంటారు. ఎందుకంటే వాక్యూమ్ స్పుట్టరింగ్ పూత యొక్క డిచ్ఛార్జ్ కరెంట్ మరియు టార్గెట్ కరెంట్ విడిగా నియంత్రించబడతాయి.అందువల్ల, స్పుటర్డ్ ఫిల్మ్ యొక్క మందం నియంత్రించబడుతుంది మరియు ముందుగా నిర్ణయించిన మందంతో ఫిల్మ్‌ను విశ్వసనీయంగా జమ చేయవచ్చు.అదనంగా, స్పుటర్ పూత పెద్ద ఉపరితలంపై ఏకరీతి మందంతో ఒక చలనచిత్రాన్ని పొందవచ్చు.
② ఫిల్మ్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య బలమైన సంశ్లేషణ
ఆవిరైన పరమాణువుల శక్తి కంటే 1-2 ఆర్డర్‌ల పరిమాణం ఎక్కువగా ఉంటుంది.సబ్‌స్ట్రేట్‌పై నిక్షిప్తం చేయబడిన అధిక-శక్తి స్పుటర్డ్ అణువుల శక్తి మార్పిడి ఆవిరైన అణువుల కంటే చాలా ఎక్కువగా ఉంటుంది, ఇది అధిక వేడిని ఉత్పత్తి చేస్తుంది మరియు స్పుటర్డ్ అణువులు మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య సంశ్లేషణను పెంచుతుంది.అదనంగా, కొన్ని అధిక-శక్తి స్పుటర్డ్ అణువులు వివిధ స్థాయిల ఇంజెక్షన్‌ను ఉత్పత్తి చేస్తాయి, ఇవి ఉపరితలంపై సూడోడిఫ్యూజన్ పొరను ఏర్పరుస్తాయి.అదనంగా, ఫిల్మ్ ఏర్పడే ప్రక్రియలో ప్లాస్మా ప్రాంతంలో సబ్‌స్ట్రేట్ ఎల్లప్పుడూ శుభ్రం చేయబడుతుంది మరియు సక్రియం చేయబడుతుంది, ఇది బలహీనమైన సంశ్లేషణతో స్పుట్టరింగ్ అణువులను తొలగిస్తుంది మరియు ఉపరితల ఉపరితలాన్ని శుద్ధి చేస్తుంది మరియు సక్రియం చేస్తుంది.అందువలన, sputtered చిత్రం ఉపరితల బలమైన సంశ్లేషణ ఉంది.
③ లక్ష్యానికి భిన్నంగా కొత్త మెటీరియల్ ఫిల్మ్‌ను సిద్ధం చేయవచ్చు
రియాక్టివ్ వాయువు లక్ష్యంతో ప్రతిస్పందించడానికి స్పుట్టరింగ్ సమయంలో ప్రవేశపెట్టినట్లయితే, లక్ష్యం నుండి పూర్తిగా భిన్నమైన కొత్త మెటీరియల్ ఫిల్మ్‌ను పొందవచ్చు.ఉదాహరణకు, సిలికాన్ స్పుట్టరింగ్ లక్ష్యంగా ఉపయోగించబడుతుంది మరియు ఆక్సిజన్ మరియు ఆర్గాన్ వాక్యూమ్ చాంబర్‌లో కలిసి ఉంచబడతాయి.స్పుట్టరింగ్ తర్వాత, SiOz ఇన్సులేటింగ్ ఫిల్మ్ పొందవచ్చు.టైటానియంను స్పుట్టరింగ్ లక్ష్యంగా ఉపయోగించి, నైట్రోజన్ మరియు ఆర్గాన్‌లు వాక్యూమ్ చాంబర్‌లో కలిసి ఉంచబడతాయి మరియు స్పుట్టరింగ్ తర్వాత దశ TiN బంగారం లాంటి ఫిల్మ్‌ను పొందవచ్చు.
④ అధిక స్వచ్ఛత మరియు సినిమా నాణ్యత
స్పుట్టరింగ్ ఫిల్మ్ తయారీ పరికరంలో క్రూసిబుల్ భాగం లేనందున, క్రూసిబుల్ హీటర్ మెటీరియల్ యొక్క భాగాలు స్పుట్టరింగ్ ఫిల్మ్ లేయర్‌లో కలపబడవు.స్పుట్టరింగ్ పూత యొక్క ప్రతికూలతలు ఏమిటంటే, ఫిల్మ్ ఫార్మింగ్ వేగం బాష్పీభవన పూత కంటే నెమ్మదిగా ఉంటుంది, ఉపరితల ఉష్ణోగ్రత ఎక్కువగా ఉంటుంది, ఇది అశుద్ధ వాయువు ద్వారా సులభంగా ప్రభావితమవుతుంది మరియు పరికర నిర్మాణం మరింత క్లిష్టంగా ఉంటుంది.
ఈ కథనాన్ని తయారీదారు గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా ప్రచురించారువాక్యూమ్ పూత పరికరాలు
పోస్ట్ సమయం: మార్చి-09-2023