① ఫిల్మ్ మందం యొక్క మంచి నియంత్రణ మరియు పునరావృతత
ఫిల్మ్ మందాన్ని ముందుగా నిర్ణయించిన విలువ వద్ద నియంత్రించగలగడాన్ని ఫిల్మ్ మందం నియంత్రణీయత అంటారు. అవసరమైన ఫిల్మ్ మందాన్ని చాలాసార్లు పునరావృతం చేయగలగడం, ఫిల్మ్ మందం పునరావృతత అంటారు. ఎందుకంటే వాక్యూమ్ స్పుటరింగ్ కోటింగ్ యొక్క డిశ్చార్జ్ కరెంట్ మరియు టార్గెట్ కరెంట్లను విడివిడిగా నియంత్రించవచ్చు. అందువల్ల, స్పుటర్డ్ ఫిల్మ్ యొక్క మందం నియంత్రించదగినదిగా ఉంటుంది మరియు ముందుగా నిర్ణయించిన మందంతో కూడిన ఫిల్మ్ను విశ్వసనీయంగా డిపాజిట్ చేయవచ్చు. అదనంగా, స్పుటర్ కోటింగ్ ద్వారా ఒక పెద్ద ఉపరితలంపై ఏకరీతి మందంతో కూడిన ఫిల్మ్ను పొందవచ్చు.
② ఫిల్మ్ మరియు సబ్స్ట్రేట్ మధ్య బలమైన అంటుకునే గుణం
స్పుటర్ చేయబడిన పరమాణువుల శక్తి, ఆవిరి చేయబడిన పరమాణువుల శక్తి కంటే 1-2 పరిమాణ క్రమాలు ఎక్కువగా ఉంటుంది. సబ్స్ట్రేట్పై నిక్షిప్తం చేయబడిన అధిక-శక్తి స్పుటర్ పరమాణువుల శక్తి మార్పిడి, ఆవిరి చేయబడిన పరమాణువుల కంటే చాలా ఎక్కువగా ఉంటుంది. ఇది అధిక ఉష్ణాన్ని ఉత్పత్తి చేసి, స్పుటర్ పరమాణువులకు మరియు సబ్స్ట్రేట్కు మధ్య అంటుకునే గుణాన్ని పెంచుతుంది. అదనంగా, కొన్ని అధిక-శక్తి స్పుటర్ పరమాణువులు వివిధ స్థాయిలలో ఇంజెక్షన్ను ఉత్పత్తి చేసి, సబ్స్ట్రేట్పై ఒక సూడోడిఫ్యూజన్ పొరను ఏర్పరుస్తాయి. అంతేకాకుండా, ఫిల్మ్ ఏర్పడే ప్రక్రియలో ప్లాస్మా ప్రాంతంలో సబ్స్ట్రేట్ నిరంతరం శుభ్రపరచబడి, ఉత్తేజితం చేయబడుతుంది. ఇది బలహీనమైన అంటుకునే గుణం గల స్పుటరింగ్ పరమాణువులను తొలగించి, సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలాన్ని శుద్ధి చేసి, ఉత్తేజపరుస్తుంది. అందువల్ల, స్పుటర్ చేయబడిన ఫిల్మ్ సబ్స్ట్రేట్కు బలంగా అంటుకుంటుంది.
③ లక్ష్యానికి భిన్నమైన కొత్త మెటీరియల్ ఫిల్మ్ను తయారు చేయవచ్చు
స్పుటరింగ్ సమయంలో రియాక్టివ్ గ్యాస్ను ప్రవేశపెట్టి, దానిని టార్గెట్తో చర్య జరిపిస్తే, టార్గెట్కు పూర్తిగా భిన్నమైన ఒక కొత్త మెటీరియల్ ఫిల్మ్ను పొందవచ్చు. ఉదాహరణకు, సిలికాన్ను స్పుటరింగ్ టార్గెట్గా ఉపయోగించి, ఆక్సిజన్ మరియు ఆర్గాన్లను కలిపి వాక్యూమ్ ఛాంబర్లో ఉంచుతారు. స్పుటరింగ్ తర్వాత, SiOz ఇన్సులేటింగ్ ఫిల్మ్ను పొందవచ్చు. టైటానియంను స్పుటరింగ్ టార్గెట్గా ఉపయోగించి, నైట్రోజన్ మరియు ఆర్గాన్లను కలిపి వాక్యూమ్ ఛాంబర్లో ఉంచితే, స్పుటరింగ్ తర్వాత TiN ఫేజ్ గోల్డ్-లైక్ ఫిల్మ్ను పొందవచ్చు.
④ అధిక స్వచ్ఛత మరియు మంచి నాణ్యత గల ఫిల్మ్
స్పుటరింగ్ ఫిల్మ్ తయారీ పరికరంలో క్రూసిబుల్ భాగం ఉండదు కాబట్టి, క్రూసిబుల్ హీటర్ పదార్థంలోని భాగాలు స్పుటరింగ్ ఫిల్మ్ పొరలో కలవవు. స్పుటరింగ్ కోటింగ్ యొక్క ప్రతికూలతలు ఏమిటంటే, ఫిల్మ్ ఏర్పడే వేగం ఎవాపరేషన్ కోటింగ్ కంటే నెమ్మదిగా ఉంటుంది, సబ్స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత ఎక్కువగా ఉంటుంది, ఇది మలిన వాయువుల వల్ల సులభంగా ప్రభావితమవుతుంది మరియు పరికర నిర్మాణం మరింత సంక్లిష్టంగా ఉంటుంది.
ఈ వ్యాసం గ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా అనే తయారీదారుచే ప్రచురించబడింది.వాక్యూమ్ కోటింగ్ పరికరాలు
పోస్ట్ చేసిన సమయం: మార్చి-09-2023