① Dobra kontrola i powtarzalność grubości powłoki
Możliwość kontrolowania grubości warstwy do zadanej wartości nazywa się sterowalnością grubości warstwy. Wymagana grubość warstwy może być wielokrotnie powtarzana, co nazywa się powtarzalnością grubości warstwy. Wynika to z faktu, że prąd rozładowania i prąd docelowy powłoki napylanej próżniowo można kontrolować oddzielnie. Dzięki temu grubość napylanej warstwy jest kontrolowana, a warstwa o zadanej grubości może być niezawodnie nanoszona. Ponadto, powłoka napylana pozwala uzyskać warstwę o równomiernej grubości na dużej powierzchni.
② Silna przyczepność między folią a podłożem
Energia rozpylonych atomów jest o 1-2 rzędy wielkości wyższa niż energia atomów odparowanych. Konwersja energii wysokoenergetycznych atomów rozpylonych osadzanych na podłożu jest znacznie wyższa niż w przypadku atomów odparowanych, co generuje wyższe ciepło i poprawia przyczepność między rozpylonymi atomami a podłożem. Ponadto, niektóre wysokoenergetyczne atomy rozpylone wytwarzają różny stopień wtrysku, tworząc na podłożu warstwę pseudodyfuzyjną. Ponadto, podłoże jest zawsze czyszczone i aktywowane w obszarze plazmy podczas procesu formowania filmu, co usuwa rozpylone atomy o słabej przyczepności oraz oczyszcza i aktywuje powierzchnię podłoża. Dzięki temu rozpylona warstwa ma silną przyczepność do podłoża.
③ Można przygotować nowy materiał filmowy, różniący się od docelowego
Jeśli podczas rozpylania zostanie wprowadzony gaz reaktywny, aby wywołać reakcję z tarczą, można uzyskać nową warstwę materiału, całkowicie różniącą się od tarczy. Na przykład, krzem jest używany jako tarcza do rozpylania, a tlen i argon są wprowadzane razem do komory próżniowej. Po rozpylaniu można uzyskać warstwę izolacyjną SiOz. Używając tytanu jako tarczy do rozpylania, azot i argon są wprowadzane razem do komory próżniowej, a po rozpylaniu można uzyskać warstwę TiN o strukturze przypominającej złoto.
④ Wysoka czystość i dobra jakość filmu
Ponieważ urządzenie do przygotowywania powłoki rozpyłowej nie zawiera elementu tyglowego, składniki materiału grzejnego tygla nie zostaną zmieszane w warstwie powłoki rozpyłowej. Wadami powlekania rozpyłowego są: wolniejsze tempo formowania powłoki niż w przypadku powlekania przez odparowanie, wyższa temperatura podłoża, podatność na działanie zanieczyszczeń gazowych oraz bardziej złożona konstrukcja urządzenia.
Niniejszy artykuł został opublikowany przez Guangdong Zhenhua, producentasprzęt do powlekania próżniowego
Czas publikacji: 09-03-2023