① Azo fehezina tsara sy azo averimberina ny hatevin'ny sarimihetsika
Ny hoe azo fehezina amin'ny sanda voafaritra mialoha ny hatevin'ny sarimihetsika dia antsoina hoe fahafahana mifehy ny hatevin'ny sarimihetsika. Azo averina imbetsaka ny hatevin'ny sarimihetsika ilaina, izay antsoina hoe fahafahana mamerina ny hatevin'ny sarimihetsika. Satria azo fehezina misaraka ny courant discharge sy ny courant target an'ny vacuum sputtering coating. Noho izany, azo fehezina ny hatevin'ny sarimihetsika sputtering, ary azo apetraka amin'ny fomba azo antoka ny sarimihetsika manana hatevina voafaritra mialoha. Ankoatra izany, ny coating sputter dia afaka mahazo sarimihetsika mitovy hatevina amin'ny velarana lehibe.
② Firaikitra matanjaka eo amin'ny sarimihetsika sy ny substrate
Ny angovon'ny atôma miparitaka dia avo 1-2 heny noho ny an'ny atôma miparitaka. Ny fiovan'ny angovon'ny atôma miparitaka angovo avo lenta napetraka eo amin'ny substrate dia avo lavitra noho ny an'ny atôma miparitaka, izay miteraka hafanana ambony kokoa ary mampitombo ny fifikirana eo amin'ny atôma miparitaka sy ny substrate. Ankoatra izany, ny atôma miparitaka angovo avo lenta sasany dia mamokatra ambaratonga samihafa amin'ny tsindrona, ka mamorona sosona pseudodiffusion eo amin'ny substrate. Ankoatra izany, ny substrate dia diovina sy ampiasaina foana ao amin'ny faritra plasma mandritra ny fizotran'ny famoronana sarimihetsika, izay manala ny atôma miparitaka miaraka amin'ny fifikirana malemy, ary manadio sy mampiasa ny velaran'ny substrate. Noho izany, ny sarimihetsika miparitaka dia manana fifikirana matanjaka amin'ny substrate.
③ Azo omanina ny sarimihetsika fitaovana vaovao tsy mitovy amin'ny tanjona
Raha ampidirina mandritra ny sputtering ny entona mihetsika mba hampihetsika azy amin'ny lasibatra, dia azo atao ny mahazo sarimihetsika fitaovana vaovao hafa tanteraka amin'ny lasibatra. Ohatra, ny silisiôma dia ampiasaina ho lasibatra sputtering, ary ny oksizenina sy ny argon dia ampidirina miaraka ao amin'ny efitrano banga. Aorian'ny sputtering, dia azo atao ny mahazo sarimihetsika insulating SiOz. Amin'ny fampiasana ny titane ho lasibatra sputtering, ny azota sy ny argon dia ampidirina miaraka ao amin'ny efitrano banga, ary azo atao ny mahazo sarimihetsika mitovy amin'ny volamena TiN aorian'ny sputtering.
④ Madio tsara sy tsara kalitao ny sarimihetsika
Koa satria tsy misy singa mety levona ao amin'ny fitaovana fanomanana sarimihetsika miparitaka, dia tsy hifangaro ao anatin'ny sosona sarimihetsika miparitaka ireo singa ao amin'ny fitaovana fanafanana lafaoro miparitaka. Ny fatiantoka amin'ny coating miparitaka dia ny hafainganam-pandehan'ny famoronana sarimihetsika miadana kokoa noho ny an'ny coating etona, ny mari-pana ambony kokoa amin'ny substrate, ny mora voakasiky ny entona maloto, ary ny firafitry ny fitaovana dia sarotra kokoa.
Navoakan'ny Guangdong Zhenhua, mpanamboatra ity lahatsoratra ityfitaovana fanosotra banga
Fotoana fandefasana: 09 Martsa 2023