① Ny fifehezana tsara sy ny famerenana ny hatevin'ny sarimihetsika
Na azo fehezina amin'ny sanda voafaritra mialoha ny hatevin'ny sarimihetsika dia antsoina hoe fifehezana ny hatevin'ny sarimihetsika.Ny hatevin'ny sarimihetsika ilaina dia azo averina imbetsaka, izay antsoina hoe repeatability ny hatevin'ny sarimihetsika.Satria ny fivoahana amin'izao fotoana izao sy ny kendrena amin'ny vacuum sputtering coating dia azo fehezina misaraka.Noho izany, ny hatevin'ny sarimihetsika sputtered dia azo fehezina, ary ny sarimihetsika amin'ny hateviny efa voafaritra dia azo apetraka amin'ny fomba azo antoka.Ankoatra izany, ny sputter coating dia afaka mahazo sarimihetsika amin'ny hatevin'ny fanamiana amin'ny lehibe ambonin'ny.
② Adhesion mafy eo amin'ny sarimihetsika sy ny substrate
Ny herin'ny atôma mipoitra dia 1-2 litatra ambony kokoa noho ny an'ny atôma etona.Ny fiovan'ny angovo avy amin'ireo atôma mipoitra mahery vaika napetraka eo amin'ny substrate dia ambony lavitra noho ny an'ny atôma etona, izay miteraka hafanana ambony kokoa ary manatsara ny fifamatorana eo amin'ny atoma mipoitra sy ny substrate.Fanampin'izany, ny atôma mipoitra mahery vaika sasany dia mamokatra ambaratonga samihafa amin'ny tsindrona, mamorona sosona pseudodiffusion eo amin'ny substrate.Ankoatr'izay, ny substrate dia diovina sy mavitrika foana ao amin'ny faritry ny plasma mandritra ny dingan'ny fananganana sarimihetsika, izay manala ny atoma mipoitra amin'ny adhesion malemy, ary manadio sy manetsika ny substrate surface.Noho izany, ny sarimihetsika sputtered dia manana adhesion mafy amin'ny substrate.
③ Sarimihetsika vaovao tsy mitovy amin'ny tanjona azo omanina
Raha ampidirina mandritra ny fitsitsiana ny entona mihetsiketsika mba hampihetsika azy amin'ny kendrena, dia azo atao ny mahazo sarimihetsika vaovao tsy mitovy amin'ny tanjona.Ohatra, silisiôma no ampiasaina ho lasibatra sputtering, ary oksizenina sy argon dia apetraka ao amin'ny efitra banga.Taorian'ny sputtering, SiOz insulating sarimihetsika azo azo.Amin'ny fampiasana ny titane ho toy ny lasibatra sputtering, azota sy argon dia apetraka ao amin'ny efitrano banga miaraka, ary ny dingana TiN toy ny volamena sarimihetsika azo azo aorian'ny sputtering.
④ Avo madio sy tsara kalitao ny sarimihetsika
Koa satria tsy misy singa azo tsapain-tanana ao amin'ny fitaovana fanomanana sarimihetsika sputtering, dia tsy hifangaro ao amin'ny sosona sarimihetsika sputtering ireo singa amin'ny fitaovana fanamainana crucible.Ny tsy fahampian'ny sputtering coating dia ny hafainganam-pandehan'ny horonan-tsary dia miadana kokoa noho ny etona coating, ambony kokoa ny mari-pana amin'ny substrate, mora voan'ny entona maloto, ary sarotra kokoa ny firafitry ny fitaovana.
Ity lahatsoratra ity dia navoakan'i Guangdong Zhenhua, mpanamboatra nyfitaovana vacuum coating
Fotoana fandefasana: Mar-09-2023