① Киноны зузааныг хянах болон давтах чадвар сайтай
Киноны зузааныг урьдчилан тодорхойлсон утгаар хянах боломжтой эсэхийг киноны зузааныг хянах чадвар гэж нэрлэдэг. Шаардлагатай киноны зузааныг олон удаа давтаж болох бөгөөд үүнийг киноны зузааны давталт гэж нэрлэдэг. Учир нь вакуум цацалтын бүрхүүлийн цэнэг алдалтын гүйдэл ба зорилтот гүйдлийг тусад нь хянах боломжтой. Тиймээс цацагдсан киноны зузааныг хянах боломжтой бөгөөд урьдчилан тодорхойлсон зузаантай киног найдвартай нааж болно. Үүнээс гадна, цацагдсан кино нь том гадаргуу дээр жигд зузаантай кино гаргаж авах боломжтой.
2 Кино болон суурь хоёрын хооронд хүчтэй наалддаг
Шүршигч атомуудын энерги нь ууршсан атомуудынхаас 1-2 дахин их байдаг. Субстрат дээр хуримтлагдсан өндөр энергитэй шүршигч атомуудын энергийн хувиргалт нь ууршсан атомуудынхаас хамаагүй өндөр байдаг бөгөөд энэ нь илүү өндөр дулаан үүсгэж, шүршигч атомууд болон субстратын хоорондох наалдацыг нэмэгдүүлдэг. Үүнээс гадна, зарим өндөр энергитэй шүршигч атомууд өөр өөр түвшний тарилга үүсгэж, субстрат дээр псевдодиффузийн давхарга үүсгэдэг. Үүнээс гадна, хальс үүсгэх явцад субстратыг плазмын хэсэгт үргэлж цэвэрлэж, идэвхжүүлдэг бөгөөд энэ нь сул наалдацтай шүршигч атомуудыг арилгаж, субстратын гадаргууг цэвэршүүлж, идэвхжүүлдэг. Тиймээс шүршигч хальс нь субстратад хүчтэй наалддаг.
③ Байгаас өөр шинэ материалын хальс бэлтгэж болно
Хэрэв шүрших явцад реактив хий нэвтрүүлж, байтай урвалд орвол байнаас огт өөр шинэ материалын хальс гаргаж авах боломжтой. Жишээлбэл, цахиурыг шүрших бай болгон ашиглаж, хүчилтөрөгч болон аргоныг вакуум камерт хамт хийнэ. Шүршисний дараа SiOz тусгаарлагч хальс гаргаж авах боломжтой. Титаныг шүрших бай болгон ашиглаж, азот болон аргоныг вакуум камерт хамт хийж, шүршисний дараа TiN фазын алт шиг хальс гаргаж авах боломжтой.
④ Өндөр цэвэршилттэй, сайн чанартай хальс
Шүршигч хальс бэлтгэх төхөөрөмжид тигелийн бүрэлдэхүүн хэсэг байхгүй тул тигелийн халаагчийн материалын бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь шүршигч хальсны давхаргад холилдохгүй. Шүршигч бүрхүүлийн сул тал нь хальс үүсгэх хурд нь ууршуулах бүрхүүлээс удаан, суурь температур өндөр, хольцын хийд амархан өртдөг, төхөөрөмжийн бүтэц нь илүү төвөгтэй байдаг.
Энэ нийтлэлийг үйлдвэрлэгч Гуандун Жэнхуа нийтэлсэн.вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 3-р сарын 9