① Inrialtacht maith agus in-atrialltacht tiús scannáin
Cibé an féidir tiús an scannáin a rialú ag luach réamhshocraithe, tugtar inrialaitheacht thiús scannáin air.Is féidir an tiús scannáin riachtanach a athdhéanamh go minic, ar a dtugtar atrialltacht tiús scannáin.Mar sin, tá tiús an scannáin sputtered inrialaithe, agus is féidir an scannán le tiús réamhshocraithe a thaisceadh go hiontaofa.Ina theannta sin, is féidir leis an sciath sputter scannán a fháil le tiús aonfhoirmeach ar dhromchla mór.
② Greamaitheacht láidir idir scannán agus tsubstráit
Tá fuinneamh na n-adamh sputtered 1-2 ord méadaíochta níos airde ná fuinneamh na n-adamh galaithe.Tá comhshó fuinnimh na n-adamh sputtered ardfhuinnimh a thaisceadh ar an tsubstráit i bhfad níos airde ná sin na n-adamh galaithe, rud a ghineann teas níos airde agus a fheabhsaíonn an greamaitheacht idir na hadaimh sputtered agus an tsubstráit.Ina theannta sin, táirgeann roinnt adamh sputtered ardfhuinnimh céimeanna éagsúla insteallta, rud a chruthaíonn ciseal pseudodiffusion ar an tsubstráit.Ina theannta sin, déantar an tsubstráit a ghlanadh agus a ghníomhachtú i gcónaí sa réigiún plasma le linn an phróisis foirmithe scannáin, rud a fhágann na hadaimh sputtering le greamaitheacht lag, agus a íonaíonn agus a ghníomhaíonn dromchla an tsubstráit.Dá bhrí sin, tá greamaitheacht láidir ag an scannán sputtered leis an tsubstráit.
③ Is féidir scannán ábhar nua difriúil ón sprioc a ullmhú
Má thugtar isteach gás imoibríoch le linn sputtering chun é a dhéanamh freagairt leis an sprioc, is féidir scannán ábhar nua atá difriúil go hiomlán ón sprioc a fháil.Mar shampla, úsáidtear sileacain mar sprioc sputtering, agus cuirtear ocsaigin agus argón isteach sa seomra folúis le chéile.Tar éis sputtering, is féidir scannán inslithe SiOz a fháil.Ag baint úsáide as tíotáiniam mar an sprioc sputtering, cuirtear nítrigin agus argón isteach sa seomra folúis le chéile, agus is féidir an scannán céim TiN ór-mhaith a fháil tar éis sputtering.
④ Ard-íonacht agus dea-chaighdeán scannáin
Ós rud é nach bhfuil aon chomhpháirt breogán sa ghléas ullmhúcháin scannán sputtering, ní dhéanfar comhpháirteanna an ábhair téitheoir breogán a mheascadh sa chiseal scannán sputtering.Is iad na míbhuntáistí a bhaineann le sciath sputtering ná go bhfuil luas foirmithe an scannáin níos moille ná an sciath galú, tá teocht an tsubstráit níos airde, tá sé éasca go mbeadh tionchar ag gás eisíontais, agus tá struchtúr an fheiste níos casta.
Tá an t-alt seo foilsithe ag Guangdong Zhenhua, monaróir detrealamh sciath bhfolús
Am poist: Mar-09-2023