① سٺي controllability ۽ فلم ٿلهي جي repeatability
ڇا فلم جي ٿلهي کي اڳواٽ مقرر ڪيل قيمت تي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو، فلم جي ٿلهي کي ڪنٽرول قابليت سڏيو ويندو آهي.گهربل فلم جي ٿلهي کي ڪيترائي ڀيرا ورجائي سگهجي ٿو، جنهن کي فلم ٿلهي ريپٽيبلٽي چيو ويندو آهي. ڇو ته ويڪيوم اسپٽرنگ ڪوٽنگ جي ڊسچارج ڪرنٽ ۽ ٽارگيٽ ڪرنٽ کي الڳ الڳ ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو.تنهن ڪري، ٿلهي فلم جي ٿلهي کي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو، ۽ فلم اڳ ۾ مقرر ٿيل ٿلهي سان معتبر طور تي جمع ڪري سگهجي ٿو.ان کان سواء، اسپٽر ڪوٽنگ هڪ وڏي سطح تي يونيفارم ٿلهي سان فلم حاصل ڪري سگهي ٿي.
② فلم ۽ substrate جي وچ ۾ مضبوط adhesion
ڦاٽل ايٽم جي توانائي 1-2 آرڊر جي شدت آهي ان کان وڌيڪ بخار ٿيل ايٽمس جي ڀيٽ ۾.ذيلي ذيلي ذخيري تي جمع ٿيل اعلي توانائي واري اسپٽر ٿيل ايٽمن جي توانائي جي تبديلي، بخاري ٿيل ايٽمن جي ڀيٽ ۾ تمام گهڻو آهي، جيڪو وڌيڪ گرمي پيدا ڪري ٿو ۽ ڦٽيل ايٽمن ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ آسنجن کي وڌائي ٿو.ان کان علاوه، ڪجهه تيز توانائي وارا ائٽم انجيڪشن جا مختلف درجا پيدا ڪن ٿا، سبسٽريٽ تي هڪ pseudodiffusion پرت ٺاهيندا آهن.ان کان علاوه، فلم ٺاهڻ جي عمل دوران پلازما علائقي ۾ سبسٽريٽ هميشه صاف ۽ چالو ڪيو ويندو آهي، جيڪو ڪمزور ايٽم کي هٽائي ٿو، ۽ ذيلي سطح جي سطح کي صاف ۽ چالو ڪري ٿو.تنهن ڪري، اسپٽر ٿيل فلم کي ذيلي ذخيري سان مضبوط آسنجن آهي.
③ نئين مواد جي فلم ٽارگيٽ کان مختلف تيار ڪري سگهجي ٿو
جيڪڏهن رد عمل واري گيس کي ڦاٽڻ دوران متعارف ڪرايو وڃي ته اهو ٽارگيٽ سان رد عمل پيدا ڪري، هڪ نئين مادي فلم حاصل ڪري سگهجي ٿي جيڪا ٽارگيٽ کان مڪمل طور تي مختلف هجي.مثال طور، سلڪون استعمال ڪيو ويندو آهي اسپٽرنگ ٽارگيٽ طور، ۽ آڪسيجن ۽ آرگن گڏجي ويڪيوم چيمبر ۾ رکيا ويندا آهن.sputtering کان پوء، SiOz موصل فلم حاصل ڪري سگهجي ٿو.ٽائيٽينيم کي ڦٽڻ واري هدف جي طور تي استعمال ڪندي، نائٽروجن ۽ آرگن کي ويڪيوم چيمبر ۾ گڏ ڪيو ويندو آهي، ۽ اسٽيج TiN سون جهڙي فلم حاصل ڪري سگهجي ٿي.
④ اعلي پاڪائي ۽ فلم جي سٺي معيار
جيئن ته اسپٽرنگ فلم جي تياري واري ڊوائيس ۾ ڪو به بنيادي جزو نه آهي، ان ڪري سُٽڻ واري فلم جي پرت ۾ ڪرسيبل هيٽر مواد جا حصا نه ملندا.اسپٽرنگ ڪوٽنگ جا نقصان هي آهن ته فلم ٺاهڻ جي رفتار evaporation ڪوٽنگ جي ڀيٽ ۾ سست آهي، ذيلي ذخيري جو گرمي پد وڌيڪ آهي، اهو ناپاڪ گيس کان متاثر ٿيڻ آسان آهي، ۽ ڊوائيس جي جوڙجڪ وڌيڪ پيچيده آهي.
هي مضمون گوانگڊونگ زينوا پاران شايع ٿيل آهي، هڪ ٺاهيندڙويڪيوم ڪوٽنگ جو سامان
پوسٽ ٽائيم: مارچ-09-2023