① ការគ្រប់គ្រងបានល្អ និងការធ្វើម្តងទៀតនៃកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត
ថាតើកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងតាមតម្លៃដែលបានកំណត់ទុកជាមុនឬអត់នោះ ត្រូវបានគេហៅថា ការគ្រប់គ្រងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត។ កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដែលត្រូវការអាចត្រូវបានធ្វើម្តងទៀតច្រើនដង ដែលត្រូវបានគេហៅថា ការធ្វើឡើងវិញនូវកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត។ ដោយសារតែចរន្តបញ្ចេញ និងចរន្តគោលដៅនៃថ្នាំកូតបាញ់ថ្នាំក្នុងសុញ្ញកាសអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយឡែកពីគ្នា។ ដូច្នេះ កម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តបាញ់ថ្នាំអាចគ្រប់គ្រងបាន ហើយខ្សែភាពយន្តដែលមានកម្រាស់ដែលបានកំណត់ទុកជាមុនអាចត្រូវបានដាក់ដោយភាពជឿជាក់។ លើសពីនេះ ថ្នាំកូតបាញ់ថ្នាំអាចទទួលបានខ្សែភាពយន្តដែលមានកម្រាស់ឯកសណ្ឋាននៅលើផ្ទៃធំមួយ។
② ភាពស្អិតជាប់ខ្លាំងរវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម
ថាមពលនៃអាតូមដែលរលាយមានកម្រិតខ្ពស់ជាងអាតូមហួត 1-2 លំដាប់។ ការបំប្លែងថាមពលនៃអាតូមដែលរលាយមានថាមពលខ្ពស់ដែលដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោមគឺខ្ពស់ជាងអាតូមហួត ដែលបង្កើតកំដៅខ្ពស់ជាង និងបង្កើនភាពស្អិតរវាងអាតូមដែលរលាយ និងស្រទាប់ខាងក្រោម។ លើសពីនេះ អាតូមដែលរលាយមានថាមពលខ្ពស់មួយចំនួនបង្កើតកម្រិតនៃការចាក់ខុសៗគ្នា ដែលបង្កើតជាស្រទាប់សាយភាយក្លែងក្លាយនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ លើសពីនេះ ស្រទាប់ខាងក្រោមតែងតែត្រូវបានសម្អាត និងធ្វើឱ្យសកម្មនៅក្នុងតំបន់ប្លាស្មាក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ដែលយកអាតូមដែលរលាយដែលមានភាពស្អិតខ្សោយចេញ ហើយបន្សុទ្ធ និងធ្វើឱ្យផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមសកម្ម។ ដូច្នេះ ខ្សែភាពយន្តដែលរលាយមានភាពស្អិតខ្លាំងទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម។
③ ខ្សែភាពយន្តសម្ភារៈថ្មីខុសពីគោលដៅអាចត្រូវបានរៀបចំ
ប្រសិនបើឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មត្រូវបានណែនាំក្នុងអំឡុងពេលបាញ់ថ្នាំដើម្បីធ្វើឱ្យវាមានប្រតិកម្មជាមួយគោលដៅ វាអាចទទួលបានខ្សែភាពយន្តសម្ភារៈថ្មីដែលខុសគ្នាទាំងស្រុងពីគោលដៅ។ ឧទាហរណ៍ ស៊ីលីកុនត្រូវបានប្រើជាគោលដៅបាញ់ថ្នាំ ហើយអុកស៊ីសែន និងអារហ្គនត្រូវបានដាក់ចូលទៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលីជាមួយគ្នា។ បន្ទាប់ពីបាញ់ថ្នាំរួច អាចទទួលបានខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់ SiOz។ ដោយប្រើទីតានីញ៉ូមជាគោលដៅបាញ់ថ្នាំ អាសូត និងអារហ្គនត្រូវបានដាក់ចូលទៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលីជាមួយគ្នា ហើយខ្សែភាពយន្ត TiN ដំណាក់កាលមាសអាចទទួលបានបន្ទាប់ពីការបាញ់ថ្នាំរួច។
④ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងគុណភាពល្អនៃខ្សែភាពយន្ត
ដោយសារតែមិនមានសមាសធាតុ crucible នៅក្នុងឧបករណ៍រៀបចំខ្សែភាពយន្ត sputtering សមាសធាតុនៃសម្ភារៈកំដៅ crucible នឹងមិនត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នានៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត sputtering ទេ។ គុណវិបត្តិនៃថ្នាំកូត sputtering គឺថាល្បឿនបង្កើតខ្សែភាពយន្តយឺតជាងថ្នាំកូតហួត សីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមខ្ពស់ជាង វាងាយនឹងរងផលប៉ះពាល់ដោយឧស្ម័នមិនបរិសុទ្ធ ហើយរចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍កាន់តែស្មុគស្មាញ។
អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយ Guangdong Zhenhua ដែលជាក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលី
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែមីនា-០៩-២០២៣