① Пленка қалыңдығының жақсы басқарылуы және қайталануы
Қабықша қалыңдығын алдын ала белгіленген мәнде басқаруға болатындығы қабықша қалыңдығының басқарылу мүмкіндігі деп аталады. Қажетті қабықша қалыңдығын бірнеше рет қайталауға болады, бұл қабықша қалыңдығының қайталануы деп аталады. Себебі вакуумдық шашырату жабынының разряд тогы мен нысаналы тогын бөлек басқаруға болады. Сондықтан шашыратылған қабықшаның қалыңдығын басқаруға болады және алдын ала белгіленген қалыңдығы бар қабықшаны сенімді түрде жағуға болады. Сонымен қатар, шашырату жабыны үлкен бетке біркелкі қалыңдықтағы қабықша алуға мүмкіндік береді.
② Пленка мен негіз арасындағы берік адгезия
Шашыратылған атомдардың энергиясы буланған атомдарға қарағанда 1-2 есе жоғары. Субстратқа тұндырылған жоғары энергиялы шашыратылған атомдардың энергия түрлендіруі буланған атомдарға қарағанда әлдеқайда жоғары, бұл жоғары жылу шығарады және шашыратылған атомдар мен субстрат арасындағы адгезияны күшейтеді. Сонымен қатар, кейбір жоғары энергиялы шашыратылған атомдар әртүрлі дәрежедегі инъекцияны тудырады, субстратта жалған диффузия қабатын түзеді. Сонымен қатар, пленка түзу процесінде субстрат әрқашан плазма аймағында тазартылады және белсендіріледі, бұл әлсіз адгезиялы шашыратылған атомдарды жояды және субстрат бетін тазартады және белсендіреді. Сондықтан, шашыратылған пленка субстратқа күшті адгезияға ие.
③ Нысаннан өзгеше жаңа материалдық пленка дайындалуы мүмкін
Егер бүрку кезінде нысанамен әрекеттесу үшін реактивті газ енгізілсе, нысанадан мүлдем басқа жаңа материалдық пленка алынуы мүмкін. Мысалы, бүрку нысанасы ретінде кремний қолданылады, ал оттегі мен аргон вакуумдық камераға бірге қойылады. Бүркуден кейін SiOz оқшаулағыш пленка алынуы мүмкін. Титанды бүрку нысанасы ретінде пайдаланып, азот пен аргон вакуумдық камераға бірге қойылады, ал бүркуден кейін TiN фазалық алтын тәрізді пленка алынуы мүмкін.
④ Пленканың жоғары тазалығы және сапасы
Шашырату пленкасын дайындау құрылғысында тигель компоненті болмағандықтан, тигель қыздырғыш материалының компоненттері шашырату пленка қабатында араласпайды. Шашырату жабынының кемшіліктері - пленканың түзілу жылдамдығы булану жабынына қарағанда баяу, негіз температурасы жоғары, қоспа газының әсеріне оңай ұшырайды және құрылғының құрылымы күрделірек.
Бұл мақаланы өндіруші Гуандун Чжэньхуа жариялады.вакуумдық жабын жабдықтары
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 9 наурыз