① Пленка калынлыгының яхшы идарә ителүчәнлеге һәм кабатланучанлыгы
Пленка калынлыгын билгеләнгән кыйммәттә контрольдә тоту мөмкинлеге пленка калынлыгы белән идарә ителүчәнлек дип атала. Кирәкле пленка калынлыгын күп тапкыр кабатларга мөмкин, бу пленка калынлыгының кабатлануы дип атала. Чөнки вакуум сиптерү каплавының разряд агымы һәм максатчан агымы аерым контрольдә тотыла ала. Шуңа күрә сиптерелгән пленка калынлыгы контрольдә тотыла, һәм билгеләнгән калынлыктагы пленканы ышанычлы рәвештә урнаштырырга мөмкин. Моннан тыш, сиптерү каплавы зур өслектә бердәм калынлыктагы пленка алырга мөмкинлек бирә.
② Пленка һәм субстрат арасында нык ябышу
Сиптерелгән атомнарның энергиясе парга әйләнгән атомнарныкына караганда 1-2 тапкыр югарырак. Субстратка урнаштырылган югары энергияле сиптерелгән атомнарның энергиягә әйләнүе парга әйләнгән атомнарныкына караганда күпкә югарырак, бу югарырак җылылык тудыра һәм сиптерелгән атомнар белән субстрат арасындагы адгезияне көчәйтә. Моннан тыш, кайбер югары энергияле сиптерелгән атомнар төрле дәрәҗәдәге инъекцияләр ясый, субстратта псевдодиффузия катламы барлыкка китерә. Моннан тыш, пленка формалаштыру процессында субстрат һәрвакыт плазма өлкәсендә чистартыла һәм активлаша, бу сиптерелгән атомнарны зәгыйфь адгезия белән бетерә, субстрат өслеген чистарта һәм активлаштыра. Шуңа күрә сиптерелгән пленка субстратка көчле адгезиягә ия.
③ Максаттан аерылып торган яңа материал пленкасы әзерләнергә мөмкин
Әгәр сиптерү вакытында реактив газ кертелә һәм аны максат белән реакциягә кертелә икән, максаттан бөтенләй аерылып торган яңа материал пленкасы алынырга мөмкин. Мәсәлән, сиптерү максаты буларак кремний кулланыла, һәм кислород һәм аргон вакуум камерасына бергә куела. Сиптерүдән соң, SiOz изоляция пленкасы алынырга мөмкин. Сиптерү максаты буларак титан кулланып, азот һәм аргон вакуум камерасына бергә куела, һәм сиптерүдән соң фазалы TiN алтынсыман пленкасы алынырга мөмкин.
④ Пленканың югары сафлыгы һәм сыйфаты
Сиптерү пленкасын әзерләү җайланмасында тигель компоненты булмаганлыктан, тигель җылыткыч материалының компонентлары сиптерү пленка катламында кушылмаячак. Сиптерү каплавының кимчелекләре шунда: пленка формалашу тизлеге парга әйләндерү каплавына караганда акрынрак, нигез температурасы югарырак, катнашма газы тәэсиренә җиңел дучар була, һәм җайланма структурасы катлаулырак.
Бу мәкалә җитештерүче Гуандун Чжэньхуа тарафыннан бастырылган.вакуум каплау җиһазлары
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 9 марты