① Iṣakoso to dara ati atunṣe ti sisanra fiimu
Bóyá a lè ṣàkóso sisanra fíìmù náà ní iye tí a ti pinnu tẹ́lẹ̀ ni a ń pè ní ìṣàkóso sisanra fíìmù náà. A lè tún sisanra fíìmù tí a nílò ṣe fún ọ̀pọ̀ ìgbà, èyí tí a ń pè ní àtúnṣe sisanra fíìmù náà. Nítorí pé a lè ṣàkóso sisanra fíìmù náà àti ìṣàn ìfọ́mọ́lẹ̀ ìfọ́mọ́lẹ̀ ìfọ́mọ́lẹ̀ náà lọ́tọ̀ọ̀tọ̀. Nítorí náà, sisanra fíìmù náà ṣeé ṣàkóso, a sì lè tọ́jú fíìmù náà pẹ̀lú sisanra tí a ti pinnu tẹ́lẹ̀. Ní àfikún, ìbòrí sputter náà lè gba fíìmù kan tí ó ní sisanra kan náà lórí ojú ńlá kan.
② Líle ìfàmọ́ra láàrín fíìmù àti ìṣàlẹ̀
Agbára àwọn átọ̀mù tí a ti tú jáde jẹ́ ìpele 1-2 ti ìwọ̀n gíga ju ti àwọn átọ̀mù tí a ti tú jáde lọ. Ìyípadà agbára ti àwọn átọ̀mù tí a ti tú jáde tí a gbé sórí ohun èlò náà ga ju ti àwọn átọ̀mù tí a ti tú jáde lọ, èyí tí ó ń mú ooru gíga wá tí ó sì ń mú kí ìsopọ̀ láàrín àwọn átọ̀mù tí a ti tú jáde àti ohun èlò náà pọ̀ sí i. Ní àfikún, àwọn átọ̀mù tí a ti tú jáde tí ó ní agbára gíga ń mú oríṣiríṣi ìwọ̀n abẹ́rẹ́ jáde, wọ́n ń ṣe ìpele pseudodiffusion lórí ohun èlò náà. Ní àfikún, a máa ń fọ ohun èlò náà mọ́ tí a sì ń ṣiṣẹ́ ní agbègbè plasma nígbà tí a bá ń ṣe fíìmù náà, èyí tí ó ń mú àwọn átọ̀mù tí ń tú jáde tí ó ní ìsopọ̀ tí kò lágbára kúrò, tí ó sì ń sọ ojú ilẹ̀ ohun èlò náà di mímọ́ tí ó sì ń mú kí ó ṣiṣẹ́. Nítorí náà, fíìmù tí a ti tú jáde ní ìsopọ̀ tí ó lágbára sí ohun èlò náà.
③ Fiimu ohun elo tuntun ti o yatọ si afojusun le ṣee pese
Tí a bá gbé gáàsì aṣeyọrí jáde nígbà tí a ń tú omi jáde láti mú kí ó máa ṣiṣẹ́ pẹ̀lú ohun tí a fẹ́, a lè rí fíìmù tuntun tí ó yàtọ̀ pátápátá sí ohun tí a fẹ́ lò. Fún àpẹẹrẹ, a máa ń lo silicon gẹ́gẹ́ bí ohun tí a fẹ́ lò, a sì máa ń fi oxygen àti argon sínú yàrá afẹ́fẹ́ papọ̀. Lẹ́yìn tí a bá ti tú omi jáde, a lè rí fíìmù afẹ́fẹ́ SiOz. Nípa lílo titanium gẹ́gẹ́ bí ohun tí a fẹ́ lò, a máa ń fi nitrogen àti argon sínú yàrá afẹ́fẹ́ papọ̀, a sì lè rí fíìmù TiN tí ó dàbí wúrà lẹ́yìn tí a bá ti tú omi jáde.
④ Iwa mimọ giga ati didara fiimu ti o dara
Nítorí pé kò sí èròjà ìgbóná nínú ẹ̀rọ ìpèsè fíìmù ìgbóná, àwọn èròjà ohun èlò ìgbóná ìgbóná kò ní dàpọ̀ mọ́ ìpele fíìmù ìgbóná ìgbóná. Àwọn àléébù ìbòrí ìgbóná ìgbóná ni pé iyára ìṣẹ̀dá fíìmù náà lọ́ra ju ti ìbòrí ìgbóná ìgbóná lọ, iwọ̀n otútù ìṣàn omi ga ju ti ìṣàn omi lọ, ó rọrùn láti ní ipa lórí gáàsì àìmọ́, àti ìṣètò ẹ̀rọ náà jẹ́ ohun tó díjú jù.
Atẹ̀jáde àpilẹ̀kọ yìí ni Guangdong Zhenhua, olùpèsè kan tiẹrọ ti a fi bo igbale
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-09-2023