① Iṣakoso to dara ati atunṣe ti sisanra fiimu
Boya sisanra fiimu le jẹ iṣakoso ni iye ti a ti pinnu tẹlẹ ni a pe ni iṣakoso sisanra fiimu.Awọn sisanra fiimu ti a beere ni a le tun fun ọpọlọpọ igba, eyi ti a npe ni sisanra fiimu ni atunṣe atunṣe.Nitori pe ifasilẹ ti o wa lọwọlọwọ ati ti o wa ni ibi-afẹde ti wiwa sputtering igbale le ni iṣakoso lọtọ.Nitorinaa, sisanra ti fiimu sputtered jẹ iṣakoso, ati fiimu pẹlu sisanra ti a ti pinnu tẹlẹ le wa ni ipamọ ni igbẹkẹle.Ni afikun, awọn sputter ti a bo le gba a fiimu pẹlu aṣọ sisanra lori kan ti o tobi dada.
② Adhesion ti o lagbara laarin fiimu ati sobusitireti
Agbara ti awọn ọta sputtered jẹ 1-2 awọn aṣẹ ti titobi ti o ga ju ti awọn ọta ti a gbe kuro.Iyipada agbara ti awọn itọmu sputtered agbara giga ti a fi silẹ sori sobusitireti jẹ ti o ga pupọ ju ti awọn ọta ti o yọ kuro, eyiti o ṣe ina ooru ti o ga julọ ati mu ifaramọ laarin awọn ọta sputtered ati sobusitireti.Ni afikun, diẹ ninu awọn ọta ti o ni agbara-giga ṣe agbejade awọn iwọn oriṣiriṣi ti abẹrẹ, ti o n ṣe fẹlẹfẹlẹ pseudodiffusion lori sobusitireti.Ni afikun, sobusitireti nigbagbogbo ti mọtoto ati mu ṣiṣẹ ni agbegbe pilasima lakoko ilana iṣelọpọ fiimu, eyiti o yọ awọn ọta sputtering pẹlu ifaramọ alailagbara, ati sọ di mimọ ati mu dada sobusitireti ṣiṣẹ.Nitorina, awọn sputtered fiimu ni o ni lagbara adhesion si sobusitireti.
③ Fiimu ohun elo tuntun ti o yatọ si ibi-afẹde ni a le pese
Ti o ba jẹ pe gaasi ifaseyin ti wa ni idasilẹ lakoko sisọ lati jẹ ki o fesi pẹlu ibi-afẹde, fiimu ohun elo tuntun ti o yatọ patapata si ibi-afẹde le ṣee gba.Fun apẹẹrẹ, silikoni ni a lo bi ibi-afẹde sputtering, ati atẹgun ati argon ni a fi sinu iyẹwu igbale papọ.Lẹhin sputtering, SiOz insulating fiimu le ṣee gba.Lilo titanium bi ibi-afẹde sputtering, nitrogen ati argon ti wa ni fi sinu iyẹwu igbale papọ, ati pe ipele TiN ti o dabi fiimu le ṣee gba lẹhin itọka.
④ Didara to gaju ati didara fiimu
Niwọn igba ti ko si paati crucible ninu ẹrọ igbaradi fiimu sputtering, awọn paati ti ohun elo igbona crucible kii yoo dapọ ni Layer fiimu sputtering.Awọn aila-nfani ti ibora sputtering ni pe iyara ṣiṣẹda fiimu jẹ losokepupo ju ti ti a bo evaporation, iwọn otutu sobusitireti ga, o rọrun lati ni ipa nipasẹ gaasi aimọ, ati pe eto ẹrọ jẹ eka sii.
Nkan yii jẹ atẹjade nipasẹ Guangdong Zhenhua, olupese tiigbale ti a bo ẹrọ
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-09-2023