ویژگی های فیلم های پوششی کندوپاشی

① قابلیت کنترل و تکرارپذیری خوب ضخامت فیلم

این که آیا ضخامت فیلم را می توان در یک مقدار از پیش تعیین شده کنترل کرد، قابلیت کنترل ضخامت فیلم نامیده می شود.ضخامت فیلم مورد نیاز را می توان چندین بار تکرار کرد که به آن تکرارپذیری ضخامت فیلم می گویند. زیرا جریان تخلیه و جریان هدف پوشش کندوپاش خلاء را می توان به طور جداگانه کنترل کرد.بنابراین، ضخامت فیلم پراکنده قابل کنترل است و فیلم با ضخامت از پیش تعیین شده را می توان به طور قابل اعتماد رسوب داد.علاوه بر این، پوشش کندوپاش می تواند یک فیلم با ضخامت یکنواخت در یک سطح بزرگ به دست آورد.

② چسبندگی قوی بین فیلم و بستر

انرژی اتم های پراکنده شده 1-2 مرتبه بزرگتر از اتم های تبخیر شده است.تبدیل انرژی اتم‌های پرانرژی پرانرژی رسوب‌شده روی زیرلایه بسیار بیشتر از اتم‌های تبخیر شده است که گرمای بیشتری تولید می‌کند و چسبندگی بین اتم‌های پراکنده شده و بستر را افزایش می‌دهد.علاوه بر این، برخی از اتم‌های پرانرژی پرانرژی، درجات مختلفی از تزریق را تولید می‌کنند و یک لایه شبه انتشار روی بستر تشکیل می‌دهند.علاوه بر این، بستر همیشه در طول فرآیند تشکیل فیلم در ناحیه پلاسما تمیز و فعال می شود که اتم های کندوپاش را با چسبندگی ضعیف حذف می کند و سطح بستر را تصفیه و فعال می کند.بنابراین، فیلم پراکنده چسبندگی قوی به بستر دارد.

③ فیلم مواد جدید متفاوت از هدف را می توان تهیه کرد

اگر گاز راکتیو در حین کندوپاش وارد شود تا با هدف واکنش نشان دهد، می‌توان یک لایه ماده جدید کاملاً متفاوت از هدف به دست آورد.به عنوان مثال، سیلیکون به عنوان هدف کندوپاش استفاده می شود و اکسیژن و آرگون با هم در محفظه خلاء قرار می گیرند.پس از کندوپاش، می توان فیلم عایق SiOz را بدست آورد.با استفاده از تیتانیوم به عنوان هدف کندوپاش، نیتروژن و آرگون با هم در محفظه خلاء قرار می گیرند و پس از کندوپاش می توان فیلم طلا مانند فاز TiN را بدست آورد.

④ خلوص بالا و کیفیت خوب فیلم

از آنجایی که هیچ جزء بوته ای در دستگاه تهیه فیلم کندوپانی وجود ندارد، اجزای ماده گرم کننده بوته در لایه فیلم کندوپاش مخلوط نمی شوند.معایب پوشش کندوپاش این است که سرعت تشکیل فیلم کندتر از پوشش تبخیری است، دمای بستر بالاتر است، به راحتی تحت تأثیر گاز ناخالصی قرار می گیرد و ساختار دستگاه پیچیده تر است.

این مقاله توسط Guangdong Zhenhua منتشر شده استتجهیزات پوشش خلاء