① राम्रो नियन्त्रण र फिल्म मोटाई को दोहोरिने योग्यता
फिल्मको मोटाईलाई पूर्वनिर्धारित मानमा नियन्त्रण गर्न सकिन्छ कि भनेर फिलिम मोटाई कन्ट्रोलेबिलिटी भनिन्छ।आवश्यक फिल्म मोटाई धेरै पटक दोहोर्याउन सकिन्छ, जसलाई फिल्म मोटाई पुनरावृत्ति भनिन्छ। किनभने भ्याकुम स्पटरिंग कोटिंगको डिस्चार्ज करन्ट र लक्षित करन्ट अलग-अलग नियन्त्रण गर्न सकिन्छ।त्यसकारण, स्पटर गरिएको फिल्मको मोटाई नियन्त्रण योग्य छ, र पूर्वनिर्धारित मोटाईको साथ फिल्म भरपर्दो रूपमा जम्मा गर्न सकिन्छ।थप रूपमा, स्पटर कोटिंगले ठूलो सतहमा समान मोटाईको साथ फिल्म प्राप्त गर्न सक्छ।
② फिल्म र सब्सट्रेट बीच बलियो आसंजन
स्पटर गरिएको परमाणुहरूको ऊर्जा वाष्पीकरण परमाणुहरूको भन्दा 1-2 अर्डरको परिमाण बढी हुन्छ।सब्सट्रेटमा जम्मा गरिएको उच्च-ऊर्जा स्पटर्ड परमाणुहरूको ऊर्जा रूपान्तरण वाष्पीकरण गरिएका परमाणुहरूको भन्दा धेरै बढी हुन्छ, जसले उच्च ताप उत्पन्न गर्छ र स्पटर गरिएको परमाणुहरू र सब्सट्रेट बीचको आसंजन बढाउँछ।थप रूपमा, केही उच्च-ऊर्जा स्पटर्ड परमाणुहरूले सब्सट्रेटमा स्यूडोडिफ्यूजन तह बनाउँदै विभिन्न डिग्री इन्जेक्सनहरू उत्पादन गर्छन्।थप रूपमा, सब्सट्रेट सँधै सफा गरिन्छ र फिलिम गठन प्रक्रियाको क्रममा प्लाज्मा क्षेत्रमा सक्रिय हुन्छ, जसले कमजोर आसंजनको साथ स्पटरिंग एटमहरू हटाउँदछ, र सब्सट्रेट सतहलाई शुद्ध र सक्रिय गर्दछ।त्यसकारण, स्पटर गरिएको फिल्मको सब्सट्रेटमा बलियो आसंजन हुन्छ।
③ लक्ष्य भन्दा फरक नयाँ सामग्री फिल्म तयार गर्न सकिन्छ
यदि प्रतिक्रियात्मक ग्यास स्पटरिंगको समयमा यसलाई लक्ष्यसँग प्रतिक्रिया गर्नको लागि प्रस्तुत गरियो भने, लक्ष्य भन्दा पूर्ण रूपमा फरक नयाँ सामग्री प्राप्त गर्न सकिन्छ।उदाहरणका लागि, सिलिकनलाई स्पटरिङ लक्ष्यको रूपमा प्रयोग गरिन्छ, र अक्सिजन र आर्गनलाई भ्याकुम च्याम्बरमा सँगै राखिन्छ।स्पटरिंग पछि, SiOz इन्सुलेट फिल्म प्राप्त गर्न सकिन्छ।स्पटरिङ लक्ष्यको रूपमा टाइटेनियम प्रयोग गरेर, नाइट्रोजन र आर्गनलाई भ्याकुम च्याम्बरमा सँगै राखिन्छ, र फेज TiN सुन जस्तो फिल्म स्पटरिङ पछि प्राप्त गर्न सकिन्छ।
④ उच्च शुद्धता र फिल्मको राम्रो गुणस्तर
स्पटरिङ फिलिम तयारी यन्त्रमा कुनै क्रुसिबल कम्पोनेन्ट नभएकोले, क्रुसिबल हिटर सामग्रीका कम्पोनेन्टहरू स्पटरिङ फिल्म लेयरमा मिसाइने छैन।स्पटरिङ कोटिंगको बेफाइदाहरू यो हो कि फिल्म बनाउने गति बाष्पीकरण कोटिंग भन्दा ढिलो हुन्छ, सब्सट्रेटको तापक्रम उच्च हुन्छ, यो अशुद्ध ग्यासबाट प्रभावित हुन सजिलो हुन्छ, र उपकरणको संरचना अधिक जटिल हुन्छ।
यो लेख गुआंग्डोंग Zhenhua, एक निर्माता द्वारा प्रकाशित छभ्याकुम कोटिंग उपकरण
पोस्ट समय: मार्च-०९-२०२३