Uiga o ata tifaga ufiufi sputtering

① Lelei le puleaina ma le toe faia o le mafiafia o le ata tifaga

O le mafai ona pulea le mafiafia o le ata tifaga i se tau ua uma ona fuafuaina e ta'ua o le puleaina o le mafiafia o le ata tifaga. E mafai ona toe faia le mafiafia o le ata tifaga e mana'omia mo le tele o taimi, lea e ta'ua o le toe faia o le mafiafia o le ata tifaga. Aua e mafai ona pulea eseese le tafe o le tafe ma le tafe fa'atatau o le ufiufi o le vacuum sputtering. O le mea lea, e mafai ona pulea le mafiafia o le ata tifaga sputtered, ma e mafai ona fa'apipi'i ma le fa'atuatuaina le ata tifaga ma le mafiafia ua uma ona fuafuaina. E le gata i lea, e mafai e le ufiufi sputter ona maua se ata tifaga e mafiafia tutusa i luga o se fogaeleele tele.

② Pipii malosi i le va o le ata tifaga ma le substrate

O le malosi o atoma ua fa'asu'isu'i e 1-2 fa'atonuga o le malosi e sili atu nai lo atoma ua fa'apuna. O le liua o le malosi o atoma ua fa'asu'i ...

③ E mafai ona saunia se ata tifaga fou e ese mai le sini

Afai e fa'aofiina le kesi tali atu i le taimi o le sputtering ina ia tali atu ai ma le sini, e mafai ona maua se ata fou e matua ese lava mai le sini. Mo se fa'ata'ita'iga, e fa'aaogaina le silicon e fai ma sini sputtering, ma tu'u fa'atasi le okesene ma le argon i totonu o le potu vacuum. A mae'a le sputtering, e mafai ona maua le ata SiOz insulating. I le fa'aaogaina o le titanium e fai ma sini sputtering, e tu'u fa'atasi le nitrogen ma le argon i totonu o le potu vacuum, ma e mafai ona maua le ata TiN auro-e pei o le vaega pe a uma le sputtering.

④ Mama maualuga ma lelei le tulaga o le ata tifaga

Talu ai e leai se vaega o le ogaumu i totonu o le masini e saunia ai le ata tifaga sputtering, o vaega o le mea e fa'avevela ai le ogaumu o le a le fa'afefiloi i totonu o le vaega o le ata tifaga sputtering. O mea le lelei o le ufiufi sputtering o le saoasaoa o le fausiaina o le ata tifaga e telegese nai lo le ufiufi e fa'amamago, e maualuga atu le vevela o le substrate, e faigofie ona a'afia i le kesi leaga, ma e sili atu ona lavelave le fausaga o le masini.

O lenei tusiga ua lomia e Guangdong Zhenhua, o se kamupani gaosi oloameafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le ea