پۈركۈگۈچ قاپلاش پىلاستىنكىلىرىنىڭ ئالاھىدىلىكلىرى

① پىلاستىنكا قېلىنلىقىنىڭ ياخشى كونترول قىلىنىشى ۋە تەكرارلىنىشى

پىلاستىنكا قېلىنلىقىنى بەلگىلەنگەن قىممەتتە كونترول قىلغىلى بولامدۇ يوق، بۇ پىلاستىنكا قېلىنلىقىنى كونترول قىلغىلى بولامدۇ دېگەنلىك. تەلەپ قىلىنىدىغان پىلاستىنكا قېلىنلىقىنى نۇرغۇن قېتىم تەكرارلىغىلى بولىدۇ، بۇ پىلاستىنكا قېلىنلىقىنى تەكرارلىغىلى بولامدۇ دېگەنلىك. چۈنكى ۋاكۇئۇم پۈركۈش قاپلىمىسىنىڭ چىقىرىش ئېقىمى ۋە نىشان ئېقىمىنى ئايرىم كونترول قىلغىلى بولىدۇ. شۇڭا، پۈركۈلگەن پىلاستىنكىنىڭ قېلىنلىقىنى كونترول قىلغىلى بولىدۇ، ھەمدە بەلگىلەنگەن قېلىنلىقتىكى پىلاستىنكىنى ئىشەنچلىك ھالدا چاپلىغىلى بولىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، پۈركۈش قاپلىمىسى چوڭ يۈزىدە بىردەك قېلىنلىقتىكى پىلاستىنكىغا ئېرىشەلەيدۇ.

2 پىلاستىنكا بىلەن ئاساسىي قاتلام ئوتتۇرىسىدىكى كۈچلۈك يېپىشىشچانلىق

پۈركۈلگەن ئاتوملارنىڭ ئېنېرگىيەسى پارغا ئايلانغان ئاتوملارغا قارىغاندا 1-2 دەرىجە يۇقىرى. ئاساسىي قاتلامغا قويۇلغان يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك پۈركۈلگەن ئاتوملارنىڭ ئېنېرگىيە ئايلاندۇرۇش دەرىجىسى پارغا ئايلانغان ئاتوملارغا قارىغاندا خېلىلا يۇقىرى بولۇپ، بۇ يۇقىرى ئىسسىقلىق ھاسىل قىلىدۇ ۋە پۈركۈلگەن ئاتوملار بىلەن ئاساسىي قاتلام ئوتتۇرىسىدىكى يېپىشىشنى كۈچەيتىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، بەزى يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك پۈركۈلگەن ئاتوملار ئوخشىمىغان دەرىجىدە ئوكۇل قىلىش ھاسىل قىلىپ، ئاساسىي قاتلامدا ساختا تارقىلىش قەۋىتى ھاسىل قىلىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، ئاساسىي قاتلام پىلاستىنكا شەكىللەندۈرۈش جەريانىدا ھەمىشە پلازما رايونىدا تازىلىنىپ، ئاكتىپلىشىدۇ، بۇ ئاجىز يېپىشىشچانلىققا ئىگە پۈركۈلگەن ئاتوملارنى يوقىتىدۇ، ئاساسىي قاتلام يۈزىنى پاكىزلايدۇ ۋە ئاكتىپلاشتۇرىدۇ. شۇڭا، پۈركۈلگەن پىلاستىنكا ئاساسىي قاتلامغا كۈچلۈك يېپىشىشقا ئىگە.

③ نىشاندىن پەرقلىق يېڭى ماتېرىيال پىلاستىنكىسى تەييارلىغىلى بولىدۇ

ئەگەر پۈركۈش جەريانىدا ئاكتىپ گازنى نىشان بىلەن رېئاكسىيەگە كىرگۈزۈش ئارقىلىق نىشاندىن پۈتۈنلەي پەرقلىق يېڭى ماتېرىيال پەردىسى ھاسىل قىلغىلى بولىدۇ. مەسىلەن، كرېمنىي پۈركۈش نىشانى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ، ئوكسىگېن ۋە ئارگون بىرلىكتە ۋاكۇئۇم كامېراسىغا قويۇلىدۇ. پۈركۈشتىن كېيىن، SiOz ئىزولياتسىيە پەردىسى ھاسىل قىلغىلى بولىدۇ. تىتان پۈركۈش نىشانى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىپ، ئازوت ۋە ئارگون بىرلىكتە ۋاكۇئۇم كامېراسىغا قويۇلىدۇ، پۈركۈشتىن كېيىن TiN ئالتۇنغا ئوخشاش باسقۇچلۇق پەردىسى ھاسىل قىلغىلى بولىدۇ.

④ يۇقىرى ساپلىق ۋە ياخشى سۈپەتلىك فىلىم

پۈركۈگۈچ پىلاستىنكا تەييارلاش ئۈسكۈنىسىدە قېپىق تەركىبى بولمىغاچقا، قېپىق ئىسسىتقۇچ ماتېرىيالىنىڭ تەركىبلىرى پۈركۈگۈچ پىلاستىنكا قەۋىتىگە ئارىلاشمايدۇ. پۈركۈگۈچ قاپلاشنىڭ كەمچىلىكى شۇكى، پىلاستىنكا شەكىللىنىش سۈرئىتى پارغا ئايلاندۇرۇش قاپلاش سۈرئىتىگە قارىغاندا ئاستا، ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى يۇقىرى، ئارىلاشما گازنىڭ تەسىرىگە ئاسان ئۇچرايدۇ ۋە ئۈسكۈنە قۇرۇلمىسى مۇرەككەپ.

بۇ ماقالە ئىشلەپچىقارغۇچى گۇاڭدۇڭ جېنخۇا تەرىپىدىن نەشر قىلىندى.ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى