Astaamaha filimada dahaarka leh ee sputtering

① Xakamaynta wanaagsan iyo ku celcelinta dhumucda filimka

In dhumucda filimka lagu xakameyn karo qiimo go'an waxaa loo yaqaan xakamaynta dhumucda filimka. Dhumucda filimka loo baahan yahay ayaa lagu celin karaa marar badan, taas oo loo yaqaan ku celcelinta dhumucda filimka. Sababtoo ah qulqulka qulqulka iyo qulqulka bartilmaameedka ee dahaarka faakuumka ayaa si gaar ah loo xakameyn karaa. Sidaa darteed, dhumucda filimka la buufiyay waa la xakamayn karaa, filimka leh dhumuc go'anna si kalsooni leh ayaa loo dhigi karaa. Intaa waxaa dheer, dahaarka buufinta wuxuu heli karaa filim leh dhumuc isku mid ah oo saaran dusha sare.

② Xidhmo xooggan oo u dhexeeya filimka iyo substrate

Tamarta atamka la buufiyay waa 1-2 darajo oo ka sarreeya ta atamka la uumi baxay. Beddelka tamarta ee atamka la buufiyay ee tamar sare leh ee ku jira substrate-ka ayaa aad uga sarreeya tan atamka la uumi baxay, taas oo dhalisa kulayl sare waxayna xoojisaa isku-xidhka u dhexeeya atamka la buufiyay iyo substrate-ka. Intaa waxaa dheer, atamka la buufiyay ee tamar sare leh waxay soo saaraan heerar kala duwan oo duritaan ah, iyagoo sameeya lakab faafin been abuur ah oo ku yaal substrate-ka. Intaa waxaa dheer, substrate-ka had iyo jeer waa la nadiifiyaa oo la dhaqaajiyaa gobolka plasma-ka inta lagu jiro habka sameynta filimka, kaas oo ka saaraya atamka la buufiyay ee leh isku-xidhka daciifka ah, isla markaana nadiifiya oo kiciya dusha sare ee substrate-ka. Sidaa darteed, filimka la buufiyay wuxuu leeyahay isku-xidh adag oo ku yaal substrate-ka.

③ Filim cusub oo ka duwan bartilmaameedka ayaa la diyaarin karaa

Haddii gaas falgal ah la soo geliyo inta lagu jiro buufinta si looga dhigo inuu la falgalo bartilmaameedka, filim cusub oo walxo ah ayaa la heli karaa oo gebi ahaanba ka duwan bartilmaameedka. Tusaale ahaan, silicon waxaa loo isticmaalaa bartilmaameedka buufinta, oksijiinta iyo argon-na waxaa la geliyaa qolka faakiyuumka. Ka dib buufinta, filimka dahaarka leh ee SiOz ayaa la heli karaa. Iyadoo la isticmaalayo titanium ahaan bartilmaameedka buufinta, nitrogen iyo argon ayaa la gelinayaa qolka faakiyuumka, filimka TiN-ka ee u eg dahabka ayaa la heli karaa ka dib buufinta.

④ Nadiifnimo sare iyo tayo wanaagsan oo filim ah

Maadaama aysan jirin qayb ka mid ah qalabka diyaarinta filimka xoqidda, qaybaha ku jira qalabka kululeeyaha laguma qasi doono lakabka filimka xoqidda. Khasaaraha dahaarka xoqidda ayaa ah in xawaaraha sameynta filimku uu ka hooseeyo kan dahaarka uumiga, heerkulka substrate-ka uu ka sarreeyo, ay fududahay in gaaska wasakhda ah uu saameeyo, qaab-dhismeedka qalabkuna uu ka adag yahay.

Maqaalkan waxaa daabacay Guangdong Zhenhua, oo ah soo saare ka tirsan shirkaddaqalabka dahaadhka faakuumka