Ciri-ciri filem salutan percikan

① Kawalan dan pengulangan ketebalan filem yang baik

Sama ada ketebalan filem boleh dikawal pada nilai yang telah ditetapkan dipanggil kebolehkawalan ketebalan filem. Ketebalan filem yang diperlukan boleh diulang berkali-kali, yang dipanggil kebolehulangan ketebalan filem. Kerana arus nyahcas dan arus sasaran salutan percikan vakum boleh dikawal secara berasingan. Oleh itu, ketebalan filem percikan boleh dikawal, dan filem dengan ketebalan yang telah ditetapkan boleh dimendapkan dengan andal. Di samping itu, salutan percikan boleh mendapatkan filem dengan ketebalan yang seragam pada permukaan yang besar.

② Lekatan yang kuat antara filem dan substrat

Tenaga atom terpercik adalah 1-2 peringkat magnitud lebih tinggi daripada atom tersejat. Penukaran tenaga atom terpercik bertenaga tinggi yang termendap pada substrat adalah jauh lebih tinggi daripada atom tersejat, yang menghasilkan haba yang lebih tinggi dan meningkatkan lekatan antara atom terpercik dan substrat. Di samping itu, sesetengah atom terpercik bertenaga tinggi menghasilkan darjah suntikan yang berbeza, membentuk lapisan pseudodifusi pada substrat. Di samping itu, substrat sentiasa dibersihkan dan diaktifkan di kawasan plasma semasa proses pembentukan filem, yang menghilangkan atom terpercik dengan lekatan yang lemah, dan membersihkan serta mengaktifkan permukaan substrat. Oleh itu, filem terpercik mempunyai lekatan yang kuat pada substrat.

③ Filem bahan baharu yang berbeza daripada sasaran boleh disediakan

Jika gas reaktif diperkenalkan semasa percikan untuk membuatnya bertindak balas dengan sasaran, filem bahan baharu yang sama sekali berbeza daripada sasaran boleh diperolehi. Contohnya, silikon digunakan sebagai sasaran percikan, dan oksigen dan argon dimasukkan ke dalam ruang vakum bersama-sama. Selepas percikan, filem penebat SiOz boleh diperolehi. Menggunakan titanium sebagai sasaran percikan, nitrogen dan argon dimasukkan ke dalam ruang vakum bersama-sama, dan filem fasa seperti emas TiN boleh diperolehi selepas percikan.

④ Ketulenan tinggi dan kualiti filem yang baik

Oleh kerana tiada komponen mangkuk pijar dalam peranti penyediaan filem percikan, komponen bahan pemanas mangkuk pijar tidak akan dicampurkan dalam lapisan filem percikan. Kelemahan salutan percikan ialah kelajuan pembentukan filem lebih perlahan daripada salutan penyejatan, suhu substrat lebih tinggi, mudah terjejas oleh gas bendasing, dan struktur peranti lebih kompleks.

Artikel ini diterbitkan oleh Guangdong Zhenhua, sebuah pengeluarperalatan salutan vakum