① Ho laola le ho pheta-pheta ha botenya ba filimi hantle
Hore na botenya ba filimi bo ka laoloa ka boleng bo reriloeng esale pele ho bitsoa taolo ea botenya ba filimi. Botenya ba filimi bo hlokahalang bo ka phetoa ka makhetlo a mangata, e leng se bitsoang pheteho ea botenya ba filimi. Hobane hona joale ea ho ntša metsi le hona joale e reriloeng ea seaparo sa vacuum sputtering li ka laoloa ka thoko. Ka hona, botenya ba filimi e sputtering bo ka laoloa, 'me filimi e nang le botenya bo reriloeng esale pele e ka beoa ka mokhoa o tšepahalang. Ho feta moo, seaparo sa sputter se ka fumana filimi e nang le botenya bo lekanang holim'a sebaka se seholo.
② Ho khomarela ho matla pakeng tsa filimi le substrate
Matla a liathomo tse qhalaneng a phahame ka makhetlo a 1-2 ho feta a liathomo tse qhalaneng. Phetoho ea matla ea liathomo tse qhalaneng tse nang le matla a phahameng tse behiloeng holim'a substrate e phahame haholo ho feta ea liathomo tse qhalaneng, e leng se hlahisang mocheso o phahameng le ho ntlafatsa ho khomarelana pakeng tsa liathomo tse qhalaneng le substrate. Ho phaella moo, liathomo tse ling tse qhalaneng tse nang le matla a phahameng li hlahisa maemo a fapaneng a ente, e leng se etsang lera la pseudodiffusion holim'a substrate. Ho phaella moo, substrate e lula e hloekisoa le ho kenngoa tšebetsong sebakeng sa plasma nakong ea ts'ebetso ea ho etsa filimi, e tlosang liathomo tse qhalaneng ka ho khomarela ho fokolang, 'me e hloekisa le ho kenya tšebetsong bokaholimo ba substrate. Ka hona, filimi e qhalaneng e na le ho khomarela ho matla ho substrate.
③ Filimi e ncha e fapaneng le e reretsoeng e ka lokisoa
Haeba khase e arabelang e kenngwa nakong ya ho phunya ho etsa hore e arabele le sepheo, filimi e ntjha e fapaneng ka ho felletseng le sepheo e ka fumanwa. Mohlala, silicon e sebediswa e le sepheo sa ho phunya, mme oksijene le argon di kenngwa ka kamoreng ya vacuum mmoho. Kamora ho phunya, filimi ya SiOz e sireletsang e ka fumanwa. Ho sebediswa titanium e le sepheo sa ho phunya, naetrojene le argon di kenngwa ka kamoreng ya vacuum mmoho, mme filimi e kang kgauta ya TiN e ka fumanwa kamora ho phunya.
④ Bohloeki bo phahameng le boleng bo botle ba filimi
Kaha ha ho na karolo e ka sebelisoang ho tjhesa mollong sesebediswa sa ho lokisa filimi e tjhesa mollong, dikarolo tsa thepa ya hitara e ka sebediswang ho tjhesa mollong di ke ke tsa kopanngwa lera la filimi e tjhesa mollong. Mathata a ho tjhesa mollong ke hore lebelo la ho etsa filimi le dieha ho feta la ho tjhesa mollong, mocheso wa substrate o phahame, ho bonolo ho angwa ke kgase e sa hlwekang, mme sebopeho sa sesebediswa se rarahane haholo.
Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke Guangdong Zhenhua, moetsi oalisebelisoa tsa ho roala ka vacuum
Nako ea poso: Hlakubele-09-2023