① 우수한 제어성 및 도막두께 반복성
막두께를 소정의 값으로 제어할 수 있는지 여부를 막두께 제어성이라고 한다.필요한 막 두께는 여러 번 반복될 수 있으며, 이를 막 두께 반복성이라고 합니다. 진공 스퍼터링 코팅의 방전 전류와 목표 전류를 개별적으로 제어할 수 있기 때문입니다.따라서, 스퍼터링된 막의 두께를 제어할 수 있고, 일정 두께의 막이 확실하게 증착될 수 있다.또한, 스퍼터 코팅은 넓은 표면에 균일한 두께의 막을 얻을 수 있다.
② Film과 기판의 강력한 접착력
스퍼터링된 원자의 에너지는 증발된 원자보다 1-2배 더 높습니다.기판에 증착된 고에너지 스퍼터링 원자의 에너지 변환은 증발된 원자보다 훨씬 높으며, 이는 더 높은 열을 발생시키고 스퍼터링된 원자와 기판 사이의 접착력을 향상시킵니다.또한 일부 고에너지 스퍼터 원자는 서로 다른 주입 정도를 생성하여 기판에 의사확산층을 형성합니다.또한, 기판은 성막 공정 동안 플라즈마 영역에서 항상 세척 및 활성화되어 접착력이 약한 스퍼터링 원자를 제거하고 기판 표면을 정화 및 활성화합니다.따라서 스퍼터링된 필름은 기판에 강한 접착력을 갖습니다.
③ 타겟과 다른 신소재 필름 제작 가능
스퍼터링 시 반응성 가스를 도입하여 타겟과 반응시키면 타겟과는 전혀 다른 새로운 물질막을 얻을 수 있다.예를 들어 스퍼터링 타겟으로 실리콘을 사용하고 진공 챔버에 산소와 아르곤을 함께 넣습니다.스퍼터링 후 SiOz 절연막을 얻을 수 있다.티타늄을 스퍼터링 타겟으로 사용하여 질소와 아르곤을 함께 진공 챔버에 넣고 스퍼터링 후 위상 TiN 금과 같은 필름을 얻을 수 있습니다.
④ 고순도 및 우수한 필름 품질
스퍼터링 필름 준비 장치에는 도가니 구성 요소가 없기 때문에 도가니 히터 재료의 구성 요소는 스퍼터링 필름 층에서 혼합되지 않습니다.스퍼터링 코팅의 단점은 증발 코팅보다 성막 속도가 느리고 기판 온도가 높으며 불순물 가스의 영향을 받기 쉽고 장치 구조가 복잡하다는 것입니다.
이 기사는 제조업체인 Guangdong Zhenhua에서 발행한 것입니다.진공 코팅 장비
게시 시간: 2023년 3월 9일