① 필름 두께의 우수한 제어성과 재현성
박막 두께를 미리 정해진 값으로 제어할 수 있는지 여부를 박막 두께 제어성이라고 합니다. 원하는 박막 두께를 여러 번 반복적으로 얻을 수 있는지 여부를 박막 두께 재현성이라고 합니다. 진공 스퍼터링 코팅은 방전 전류와 타겟 전류를 개별적으로 제어할 수 있기 때문에 스퍼터링된 박막의 두께를 제어할 수 있고, 미리 정해진 두께의 박막을 안정적으로 증착할 수 있습니다. 또한, 스퍼터링 코팅은 넓은 표면에 걸쳐 균일한 두께의 박막을 얻을 수 있습니다.
② 필름과 기판 사이의 강력한 접착력
스퍼터링된 원자의 에너지는 증발된 원자의 에너지보다 1~2배 더 높습니다. 기판에 증착된 고에너지 스퍼터링 원자의 에너지 변환 효율은 증발된 원자보다 훨씬 높아 더 많은 열을 발생시키고 스퍼터링된 원자와 기판 사이의 접착력을 향상시킵니다. 또한, 일부 고에너지 스퍼터링 원자는 다양한 정도로 주입되어 기판 위에 유사 확산층을 형성합니다. 뿐만 아니라, 박막 형성 과정 중 플라즈마 영역에서는 기판이 지속적으로 세척 및 활성화되므로 접착력이 약한 스퍼터링 원자가 제거되고 기판 표면이 정화 및 활성화됩니다. 따라서 스퍼터링된 박막은 기판에 강한 접착력을 갖습니다.
③ 목표와 다른 새로운 소재 필름을 제조할 수 있다
스퍼터링 과정에서 반응성 가스를 주입하여 타겟과 반응시키면 타겟과는 완전히 다른 새로운 물질 박막을 얻을 수 있습니다. 예를 들어, 실리콘을 스퍼터링 타겟으로 사용하고 진공 챔버에 산소와 아르곤을 함께 주입하면 스퍼터링 후 SiO₂ 절연막을 얻을 수 있습니다. 티타늄을 스퍼터링 타겟으로 사용하고 진공 챔버에 질소와 아르곤을 함께 주입하면 스퍼터링 후 TiN 금상 박막을 얻을 수 있습니다.
④ 고순도 및 우수한 품질의 필름
스퍼터링 박막 제조 장치에는 도가니 구성 요소가 없으므로 도가니 가열 재료의 구성 요소가 스퍼터링 박막층에 혼합되지 않습니다. 스퍼터링 코팅의 단점은 박막 형성 속도가 증착 코팅보다 느리고, 기판 온도가 높으며, 불순물 가스의 영향을 받기 쉽고, 장치 구조가 더 복잡하다는 것입니다.
이 기사는 제조업체인 광둥전화(Guangdong Zhenhua)에서 발행했습니다.진공 코팅 장비
게시 시간: 2023년 3월 9일