Beýleki örtük tehnologiýalary bilen deňeşdirilende, magnetron püskürtme örtügi aşakdaky aýratynlyklar bilen häsiýetlendirilýär: işçi parametrleri örtük çökündisiniň tizliginiň we galyňlygynyň (örtülýän meýdanyň ýagdaýynyň) uly dinamiki sazlama aralygyna eýedir we örtügiň birmeňzeşligini üpjün etmek üçin magnetron nyşanynyň geometriýasynda dizaýn çäklendirmesi ýok; plýonka gatlagynda damja bölejikleriniň bolmagy meselesi ýok; diýen ýaly ähli metallar, erginler we keramika nyşana materiallara öwrülip bilner; we nyşana material DC ýa-da RF magnetron püskürtme arkaly öndürilip bilner, bu bolsa takyk gatnaşykly arassa metal ýa-da ergin örtüklerini, şeýle hem gazyň gatnaşmagynda metal reaksiýa plýonkalaryny döredip biler. DC ýa-da RF püskürtme arkaly inçe plýonka dürlüliginiň we ýokary takyklygyň talaplaryny kanagatlandyrmak üçin takyk we hemişelik gatnaşykly arassa metal ýa-da ergin örtüklerini, şeýle hem gazyň gatnaşmagynda metal reaksiýa plýonkalaryny döretmek mümkin. Magnetron püskürtme örtügi üçin adaty proses parametrleri: işçi basyşy 0,1Pa; maksatly naprýaženiýe 300 ~ 700V; maksatly güýç dykyzlygy 1 ~ 36W / sm².
Magnetron püskürtmesiniň aýratyn aýratynlyklary:
(1) Ýokary çökündi tizligi. Magnetron elektrodlarynyň ulanylmagy sebäpli, nyşana bombardman ionynyň örän uly akymyny alyp bolýar, şonuň üçin nyşana ýüzündäki püskürtme tizligi we substrat ýüzündäki plýonka çökündi tizligi örän ýokarydyr.
(2) Ýokary energiýa netijeliligi. Pes energiýaly elektronlaryň we gaz atomlarynyň çaknyşma ähtimallygy ýokary, şonuň üçin gazyň dissosiasiýa tizligi ep-esli ýokarlanýar. Şoňa görä, boşaldylýan gazyň (ýa-da plazmanyň) impedansy ep-esli azalýar. Şonuň üçin, DC magnitron püskürtmesi DC dipol püskürtmesi bilen deňeşdirilende, iş basyşy 1 ~ 10Pa-dan 10-210-1Pa-a çenli azalsa-da, püskürtme naprýaženiýesi hem müňlerçe woltdan ýüzlerçe wolt çenli azalýar, püskürtme netijeliligi we çökündi tizligi birnäçe esse ýokarlanýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 1-nji dekabry