Дар муқоиса бо дигар технологияҳои рӯйпӯшкунӣ, рӯйпӯши пошидани магнетронӣ бо хусусиятҳои зерин тавсиф мешавад: параметрҳои корӣ дорои диапазони калони танзими динамикӣ мебошанд, суръати ҷойгиршавии рӯйпӯш ва ғафсӣ (ҳолати минтақаи рӯйпӯшшуда)-ро ба осонӣ идора кардан мумкин аст ва барои таъмини якрангии рӯйпӯш маҳдудияти тарроҳӣ дар геометрияи ҳадафи магнетронӣ вуҷуд надорад; дар қабати плёнка мушкили зарраҳои қатраӣ вуҷуд надорад; қариб ҳамаи металлҳо, хӯлаҳо ва сафолҳоро метавон ба маводҳои мақсаднок табдил дод; ва маводи мақсаднокро метавон бо роҳи пошидани магнетронии DC ё RF истеҳсол кард, ки метавонад рӯйпӯшҳои металлӣ ё хӯлаи холисро бо таносуби дақиқ, инчунин плёнкаҳои реактивии металлӣ бо иштироки газ тавлид кунад. Тавассути пошидани DC ё RF, имконпазир аст, ки рӯйпӯшҳои металлӣ ё хӯлаи холисро бо таносуби дақиқ ва доимӣ, инчунин плёнкаҳои реактивии металлӣ бо иштироки газ тавлид кард, то ба талаботи гуногунии плёнкаи тунук ва дақиқии баланд ҷавобгӯ бошад. Параметрҳои маъмулии раванд барои рӯйпӯши пошидани магнетронӣ инҳоянд: фишори кории 0.1Pa; шиддати мақсаднок 300~700V; зичии қувваи мақсаднок 1~36W/cm².
Хусусиятҳои хоси пошидани магнетронӣ инҳоянд:
(1) Суръати баланди таҳшиншавӣ. Аз сабаби истифодаи электродҳои магнетронӣ, ҷараёни хеле калони ионии бомбабординги ҳадафро ба даст овардан мумкин аст, аз ин рӯ, суръати кандакории пошидан дар сатҳи ҳадаф ва суръати таҳшиншавии плёнка дар сатҳи субстрат хеле баланд аст.
(2) Самаранокии баланди барқ. Эҳтимолияти бархӯрди электронҳои камэнергия ва атомҳои газ баланд аст, аз ин рӯ суръати диссотсиатсияи газ хеле зиёд мешавад. Мувофиқан, импеданси гази холӣ (ё плазма) хеле кам мешавад. Аз ин рӯ, пошидани магнетронии DC дар муқоиса бо пошидани диполи DC, ҳатто агар фишори корӣ аз 1 ~ 10Pa то 10-210-1Pa кам карда шавад, шиддати пошидани магнетрон низ аз ҳазорҳо волт то садҳо волт кам мешавад, самаранокии пошидани магнетрон ва суръати таҳшиншавӣ ба таври назаррас афзоиш меёбад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 01 декабри соли 2023