የማግኔትሮን ስፕቱተርንግ ሽፋን ባህሪያት ምዕራፍ 1

ከሌሎች የሽፋን ቴክኖሎጂዎች ጋር ሲነጻጸር፣ የማግኔትሮን ስፐተርቲንግ ሽፋን በሚከተሉት ባህሪያት ተለይቶ ይታወቃል፡ የስራ መለኪያዎች የሽፋን ማስቀመጫ ፍጥነት እና ውፍረት (የተሸፈነው አካባቢ ሁኔታ) በቀላሉ ሊቆጣጠሩት ይችላሉ፣ እና የማግኔትሮን ኢላማ ጂኦሜትሪ ላይ ምንም አይነት የዲዛይን ገደብ የለም፤ ​​በፊልም ንብርብር ውስጥ የጠብታ ቅንጣቶች ችግር የለም፤ ​​ሁሉም ማለት ይቻላል ብረቶች፣ ቅይጥ እና ሴራሚክስ ወደ ኢላማ ቁሳቁሶች ሊሠሩ ይችላሉ፤ እና የታለመው ቁሳቁስ በዲሲ ወይም አርኤፍ ማግኔትሮን ስፐተርቲንግ ሊመረት ይችላል፣ ይህም በትክክለኛ ጥምርታ ንፁህ ብረት ወይም ቅይጥ ሽፋኖችን እንዲሁም ከጋዝ ተሳትፎ ጋር የብረት ምላሽ ሰጪ ፊልሞችን ማመንጨት ይችላል። በዲሲ ወይም አርኤፍ ስፐተርቲንግ አማካኝነት፣ ቀጭን የፊልም ልዩነት እና ከፍተኛ ትክክለኛነት መስፈርቶችን ለማሟላት ትክክለኛ እና ቋሚ ጥምርታ ያላቸው ንፁህ ብረት ወይም ቅይጥ ሽፋኖችን እንዲሁም ከጋዝ ተሳትፎ ጋር የብረት ምላሽ ሰጪ ፊልሞችን ማመንጨት ይቻላል። ለማግኔትሮን ስፐተርቲንግ ሽፋን የተለመዱ የሂደት መለኪያዎች፡ የ0.1ፓ የስራ ግፊት፤ የ300~700V ኢላማ ቮልቴጅ፤ የ1~36W/cm² ኢላማ የኃይል ጥግግት።

የማግኔትሮን ስፕተርዲንግ ልዩ ባህሪያት የሚከተሉት ናቸው:

(1) ከፍተኛ የመቀመጫ መጠን። በማግኔትሮን ኤሌክትሮዶች አጠቃቀም ምክንያት፣ በጣም ትልቅ የዒላማ ቦምብ ፍንዳታ አዮን ጅረት ማግኘት ይቻላል፣ ስለዚህ በዒላማው ወለል ላይ ያለው የስፕተር የመቅዳት ፍጥነት እና በንጣፍ ወለል ላይ ያለው የፊልም የመቀመጫ መጠን ሁለቱም በጣም ከፍተኛ ናቸው።

(2) ከፍተኛ የኃይል ቆጣቢነት። ዝቅተኛ ኃይል ያላቸው ኤሌክትሮኖች እና የጋዝ አቶሞች የግጭት ዕድል ከፍተኛ ነው፣ ስለዚህ የጋዝ መበታተን መጠን በእጅጉ ይጨምራል። በዚህ መሠረት፣ የፈሳሽ ጋዝ (ወይም ፕላዝማ) ኢምፔዳንስ በእጅጉ ይቀንሳል። ስለዚህ፣ የዲሲ ማግኔትሮን ስፕተርንግ ከዲሲ ዲፖል ስፕተርንግ ጋር ሲነጻጸር፣ የስራ ግፊቱ ከ1~10Pa ወደ 10-210-1Pa ስፕተርንግ ቮልቴጅ ቢቀንስም ከሺዎች ቮልት ወደ በመቶዎች የሚቆጠሩ ቮልት ይቀንሳል፣ የስፕተር ቅልጥፍና እና የማስቀመጫ መጠን በመጠን ቅደም ተከተሎች ይጨምራል።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ