Boshqa qoplama texnologiyalari bilan taqqoslaganda, magnetronli purkash qoplamasi quyidagi xususiyatlar bilan tavsiflanadi: ish parametrlari qoplamaning cho'kish tezligi va qalinligi (qoplangan maydonning holati) ning katta dinamik sozlash diapazoniga ega bo'lib, osongina boshqarilishi mumkin va qoplamaning bir xilligini ta'minlash uchun magnetron nishonining geometriyasida dizayn cheklovi yo'q; plyonka qatlamida tomchi zarrachalari muammosi yo'q; deyarli barcha metallar, qotishmalar va keramika maqsadli materiallarga aylantirilishi mumkin; va maqsadli material DC yoki RF magnetronli purkash orqali ishlab chiqarilishi mumkin, bu aniq nisbatga ega sof metall yoki qotishma qoplamalarini, shuningdek, gaz ishtirokidagi metall reaktiv plyonkalarni yaratishi mumkin. DC yoki RF purkash orqali yupqa plyonka xilma-xilligi va yuqori aniqlik talablariga javob berish uchun aniq va doimiy nisbatlarga ega sof metall yoki qotishma qoplamalarini, shuningdek, gaz ishtirokidagi metall reaktiv plyonkalarni yaratish mumkin. Magnetronli purkash qoplamasi uchun odatiy jarayon parametrlari: ish bosimi 0,1Pa; maqsadli kuchlanish 300 ~ 700V; maqsadli quvvat zichligi 1 ~ 36W / sm².
Magnetronli purkashning o'ziga xos xususiyatlari quyidagilardir:
(1) Yuqori cho'kish tezligi. Magnetron elektrodlaridan foydalanish tufayli juda katta nishon bombardimon ion oqimi olinishi mumkin, shuning uchun nishon yuzasida purkash tezligi va substrat yuzasida plyonka cho'kish tezligi juda yuqori.
(2) Yuqori energiya samaradorligi. Kam energiyali elektronlar va gaz atomlarining to'qnashuv ehtimoli yuqori, shuning uchun gaz dissotsiatsiyasi tezligi sezilarli darajada oshadi. Shunga ko'ra, chiqindi gazining (yoki plazmaning) empedansi sezilarli darajada kamayadi. Shuning uchun, doimiy tok magnetronli purkash bilan DC dipolli purkash bilan solishtirganda, ish bosimi 1 ~ 10Pa dan 10-210-1Pa gacha kamaytirilsa ham, purkash kuchlanishi minglab voltdan yuzlab voltgacha kamayadi, purkash samaradorligi va cho'kish tezligi kattalik buyurtmalariga oshiriladi.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2023-yil 1-dekabr